वैक्यूम कोटिंग मशीनों की सामान्य खराबी और रखरखाव की रणनीतियाँ
वैक्यूम कोटिंग तकनीक, जो सटीक विनिर्माण के क्षेत्र में एक मुख्य तकनीक है, इलेक्ट्रॉनिक्स, प्रकाशिकी, ऑटोमोटिव, एयरोस्पेस और अन्य उद्योगों में व्यापक रूप से लागू होती है। यह वैक्यूम वातावरण में सब्सट्रेट की सतह पर धातु, अधातु और अन्य सामग्रियों को जमा करती है, जिससे घर्षण प्रतिरोध, संक्षारण रोकथाम और ऑप्टिकल गुणों वाली फिल्में बनती हैं। वैक्यूम कोटिंग मशीनें इस प्रक्रिया को साकार करने के लिए प्रमुख उपकरण हैं, जिनकी संरचना जटिल और उच्च परिशुद्धता की आवश्यकताएं होती हैं। वे वैक्यूम सिस्टम, कोटिंग सिस्टम, इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम और सहायक सिस्टम जैसे कई मुख्य मॉड्यूल को कवर करती हैं। लंबी अवधि के उच्च-भार संचालन के दौरान, पर्यावरण, संचालन और घिसाव जैसे कारकों से प्रभावित होकर, उपकरण विभिन्न विफलताओं के लिए प्रवण होता है, जो न केवल कोटिंग की गुणवत्ता और उत्पादन दक्षता को प्रभावित करता है, बल्कि उपकरण के सेवा जीवन को भी छोटा कर सकता है। इसलिए, वैक्यूम कोटिंग मशीनों की सामान्य विफलताओं का गहन विश्लेषण और वैज्ञानिक और मानकीकृत रखरखाव रणनीतियों का निर्माण स्थिर उत्पादन सुनिश्चित करने और संचालन और रखरखाव की लागत को कम करने के लिए बहुत महत्वपूर्ण है।
यह लेख, वैक्यूम कोटिंग मशीनों के कार्य सिद्धांत और व्यावहारिक अनुप्रयोग परिदृश्यों के आधार पर, विभिन्न सामान्य विफलताओं के प्रकटीकरण, कारणों और समाधानों का व्यवस्थित रूप से विश्लेषण करता है, और व्यापक रखरखाव बिंदुओं का सारांश प्रस्तुत करता है। यह प्रासंगिक ऑपरेटरों और रखरखाव कर्मियों के लिए संदर्भ प्रदान करता है, जिससे उपकरण संचालन की स्थिरता और उत्पादन दक्षता बढ़ाने में मदद मिलती है।
I. वैक्यूम कोटिंग मशीन का मुख्य कार्य सिद्धांत
वैक्यूम कोटिंग मशीन का मुख्य कार्य तर्क वैक्यूम पंप समूह के माध्यम से सील वैक्यूम चैंबर के अंदर दबाव को आवश्यक वैक्यूम स्तर तक कम करना है। फिर, वाष्पीकरण, स्पटरिंग और आयन प्लेटिंग जैसी विधियों का उपयोग करके, कोटिंग सामग्री को गैसीय या प्लाज्मा अवस्था में परिवर्तित किया जाता है, जिससे यह सब्सट्रेट सतह पर समान रूप से जमा हो जाती है और एक सघन फिल्म बनती है। उपकरण का सामान्य संचालन वैक्यूम सिस्टम के सीलिंग प्रदर्शन, कोटिंग सिस्टम की स्थिरता, इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम की सटीकता और सहायक सिस्टम के समन्वय पर निर्भर करता है। किसी भी मॉड्यूल में कोई भी असामान्यता उपकरण की विफलता या उप-मानक कोटिंग गुणवत्ता का कारण बनेगी।
II. वैक्यूम कोटिंग मशीनों की सामान्य खराबी और उनके समाधान
वैक्यूम कोटिंग मशीन की खराबी मुख्य रूप से चार प्रमुख मॉड्यूल में होती है: वैक्यूम सिस्टम, कोटिंग सिस्टम, इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम और सहायक सिस्टम। इनमें से, वैक्यूम सिस्टम और कोटिंग सिस्टम की खराबी की दर सबसे अधिक होती है और यह सीधे प्रक्रिया प्रभाव को प्रभावित करती है। इसलिए, उन पर विशेष ध्यान देने की आवश्यकता है।
(1) वैक्यूम सिस्टम की सामान्य खराबी
वैक्यूम सिस्टम वैक्यूम कोटिंग मशीन का मुख्य घटक है। इसका मुख्य कार्य चैंबर के भीतर एक उच्च वैक्यूम वातावरण बनाए रखना है, जिससे कोटिंग सामग्री का सुचारू जमाव सुनिश्चित हो सके और फिल्म परत की गुणवत्ता पर हवा की अशुद्धियों के प्रभाव को कम किया जा सके। सामान्य खराबी में निर्धारित वैक्यूम स्तर तक पहुंचने में विफलता, वैक्यूम स्तर में अचानक गिरावट और वैक्यूम पंप शुरू करने में असमर्थता शामिल है।
वैक्यूम स्तर निर्धारित मान तक नहीं पहुँच पाता:
यह वैक्यूम सिस्टम में सबसे आम खराबी है, जो उपकरण शुरू होने के बाद वैक्यूम गेज के प्रक्रिया आवश्यकताओं से लगातार अधिक मान दिखाने के रूप में प्रकट होती है, कोटिंग के लिए आवश्यक उच्च वैक्यूम स्थिति प्राप्त करने में असमर्थ। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- सीलिंग रिंग का पुराना होना, फटना या अनुचित स्थापना, जिसके परिणामस्वरूप खराब कैविटी सीलिंग और हवा का रिसाव होता है;
- ढीले पाइप कनेक्शन या छोटे दरारें जिससे वैक्यूम रिसाव होता है;
- वैक्यूम चैंबर की दीवार पर सुई के छेद, वेल्डिंग दोष या गंभीर आंतरिक संदूषण जो वैक्यूम निष्कर्षण दक्षता को प्रभावित करते हैं;
- वैक्यूम पंप में संदूषण, अपर्याप्त तेल स्तर या पंप बॉडी घटकों का घिसाव, जिसके परिणामस्वरूप वैक्यूम पंपिंग क्षमता में कमी आती है;
- गेज ट्यूब का संदूषण, क्षति या अमान्य अंशांकन, जिसके परिणामस्वरूप रीडिंग विचलन होता है।
समाधान:
- सबसे पहले, सीलिंग रिंग की जाँच करें। सीलिंग रिंग को नियमित रूप से साफ करें और हर 6-12 महीने में बदलें। स्थापना के दौरान एक तंग और क्षतिग्रस्त फिट सुनिश्चित करें।
- रिसाव बिंदुओं का पता लगाने के लिए हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर लीक डिटेक्टर का उपयोग करें, ढीले पाइपलाइनों को कसें, दरारें, पिनहोल आदि की मरम्मत करें, और मरम्मत के बाद रिसाव के लिए फिर से जाँच करें।
- वैक्यूम चैंबर की आंतरिक दीवार पर अवशिष्ट कोटिंग सामग्री और अशुद्धियों को नियमित रूप से साफ करें। आवश्यकतानुसार दबाव परीक्षण करें।
- वैक्यूम पंप के तेल स्तर और गुणवत्ता की जाँच करें। हर 200-500 कार्य घंटों में वैक्यूम तेल बदलें, तेल स्तर को स्केल लाइन से ऊपर रखें। यदि पंप बॉडी के घटक घिसे हुए हैं, तो समय पर मरम्मत या बदलें।
- वैक्यूम गेज ट्यूब को नियमित रूप से साफ करें। हर 12 महीने में एक बार कैलिब्रेट करें। यदि क्षतिग्रस्त हो तो तुरंत बदलें।
2. वैक्यूम स्तर में अचानक गिरावट:
यह उपकरण के संचालन के दौरान वैक्यूम स्तर में तेज गिरावट के रूप में प्रकट होता है, जो प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा नहीं करता है। यह अक्सर कोटिंग परत में पिनहोल और रंगीन धब्बे जैसे दोषों के साथ होता है। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- पंप बॉडी की विफलता, जैसे डिफ्यूजन पंप का अधिक गरम होना या मैकेनिकल पंप के रोटर का जाम होना;
- वैक्यूम चैंबर के अंदर गंभीर संदूषण, अवशिष्ट पदार्थों के वाष्पीकरण से गैस में वृद्धि होती है;
- अपर्याप्त शीतलन जल प्रवाह, जिससे पंप बॉडी अधिक गरम हो जाती है और वैक्यूम निष्कर्षण की दक्षता प्रभावित होती है;
- वाष्पीकरण स्रोत जल पथ और उच्च-वोल्टेज इलेक्ट्रोड सीलिंग क्षेत्र पर सीलिंग गास्केट को नुकसान, जिसके परिणामस्वरूप रिसाव होता है;
- उच्च वाल्व, प्री-वाल्व आदि की खराबी, सीलिंग विफलता का कारण बनती है।
समाधान:
- तुरंत सभी हीटिंग स्रोतों को बंद कर दें, वैक्यूम तोड़ने के लिए नाइट्रोजन शुरू करें, और समस्या निवारण से पहले चैंबर को ठंडा होने दें;
- वैक्यूम पंप की संचालन स्थिति की जाँच करें, डिफ्यूजन पंप को सालाना साफ करें और विशेष तेल बदलें। यदि मैकेनिकल पंप अटक जाता है या असामान्य आवाज करता है, तो समय पर उसे खोलकर मरम्मत करें;
- वैक्यूम चैंबर को नियमित रूप से साफ करें। हर 50 कोटिंग चक्र के बाद, अवशिष्ट दूषित पदार्थों को हटाने के लिए चैंबर पर आर्गन आयन एचिंग करें;
- शीतलन जल सर्किट की जाँच करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि प्रवाह दर 5L/min से कम नहीं है, पाइपलाइन में रुकावटों को दूर करें, और शीतलन प्रणाली के सामान्य संचालन को सुनिश्चित करें;
- क्षतिग्रस्त सीलिंग गास्केट को बदलें, वाल्वों का निरीक्षण और रखरखाव करें ताकि विश्वसनीय सीलिंग सुनिश्चित हो सके।
3. वैक्यूम पंप शुरू नहीं होता:
यह पंप बॉडी द्वारा स्टार्ट बटन दबाने के बाद कोई प्रतिक्रिया न होने के रूप में प्रकट होता है, और यह वैक्यूम पंपिंग स्थिति में प्रवेश नहीं कर सकता है। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- बिजली की विफलता, जैसे अस्थिर वोल्टेज, सर्किट शॉर्ट सर्किट, या फ्यूज का पिघलना;
- मोटर क्षति या ओवरहीटिंग सुरक्षा ट्रिगर;
- पंप के अंदर तेल का गंभीर संदूषण या अपर्याप्त तेल स्तर, जिसके परिणामस्वरूप पंप बॉडी अटक जाती है;
- रिले और कॉन्टैक्टर में खराबी, जले हुए या अटके हुए संपर्कों के साथ।
समाधान:
- सबसे पहले, बिजली लाइनों और वोल्टेज स्थिरता की जाँच करें। सुनिश्चित करें कि वोल्टेज उतार-चढ़ाव ±5% के भीतर है। पिघले हुए फ्यूज को बदलें।
- यदि मोटर अधिक गरम हो रही है, तो पंप बॉडी को ठंडा होने दें और फिर उसे फिर से शुरू करें। यदि मोटर क्षतिग्रस्त है, तो उसे तुरंत बदलें।
- वैक्यूम पंप के तेल स्तर और गुणवत्ता की जाँच करें। दूषित वैक्यूम तेल को बदलें और मानक स्तर तक फिर से भरें।
- रिले और कॉन्टैक्टर की जाँच करें। सामान्य सर्किट चालन सुनिश्चित करने के लिए खराब घटकों की मरम्मत या उन्हें बदलें।
(2) कोटिंग सिस्टम की सामान्य खराबी
कोटिंग सिस्टम को कोटिंग सामग्री को गैसीय या प्लाज्मा अवस्था में परिवर्तित करने और उसे सब्सट्रेट सतह पर जमा करने के लिए जिम्मेदार है। इसकी विफलताएं मुख्य रूप से कोटिंग परत के गुणवत्ता मानकों के अनुपालन में न होने के रूप में प्रकट होती हैं, जैसे कोटिंग परत का अलग होना, असमान मोटाई और कोटिंग गुणवत्ता का खराब होना, जो सीधे उत्पादों की योग्यता दर को प्रभावित करता है।
फिल्म परत का अलग होना:
यह फिल्म परत के सब्सट्रेट सतह से अलग होने और बड़े पैच में छिलने के रूप में प्रकट होता है, जिसमें बहुत खराब आसंजन होता है। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- सब्सट्रेट सतह का संदूषण, जैसे तेल के दाग, नमी, धूल और अन्य अशुद्धियों की उपस्थिति;
- कोटिंग से पहले सब्सट्रेट की अपर्याप्त बेकिंग और सफाई, जिसके परिणामस्वरूप सब्सट्रेट सतह पर एक ऑक्साइड परत बनती है;
- फिल्म परत में अत्यधिक तनाव, जो सब्सट्रेट के थर्मल विस्तार गुणांक से मेल नहीं खाता है;
- वाष्पीकरण स्रोत और स्पटरिंग लक्ष्य की स्थिति में विचलन, जिसके परिणामस्वरूप असमान फिल्म परत जमाव होता है;
- और आयन स्रोत का सामान्य संचालन न होना, अपर्याप्त प्री-कोटिंग बॉम्बार्डमेंट सफाई के साथ।
समाधान:
- सब्सट्रेट के प्री-ट्रीटमेंट को मजबूत करें, अल्ट्रासोनिक सफाई (डीआयनीकृत पानी + अल्कोहल) को आयन बॉम्बार्डमेंट (बायस - 800V से -1200V, अवधि 5-15 मिनट) के साथ मिलाकर सब्सट्रेट सतह की सफाई को परमाणु स्तर तक सुनिश्चित करें;
- कोटिंग से पहले, सब्सट्रेट को पूरी तरह से बेक करें, धातु सब्सट्रेट को आंतरिक तनाव जारी करने के लिए 150-200℃ तक गर्म करें, और विरूपण को रोकने के लिए प्लास्टिक सब्सट्रेट को 80℃ से नीचे नियंत्रित करें;
- प्रक्रिया मापदंडों को अनुकूलित करें, फिल्म परत के तनाव को कम करने के लिए कोटिंग सामग्री और सब्सट्रेट के बीच मिलान को समायोजित करें;
- वाष्पीकरण स्रोत और लक्ष्य की स्थिति को समायोजित करें, सब्सट्रेट के केंद्र के साथ संरेखण सुनिश्चित करें, सब्सट्रेट को ठीक करने के लिए टूलिंग फिक्स्चर का उपयोग करें, बाधा से बचें;
- आयन स्रोत की संचालन स्थिति की जाँच करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि कोटिंग से पहले प्री-बॉम्बार्डमेंट सफाई पूरी हो गई है।
2. असमान झिल्ली परत की मोटाई:
यह एक ही सब्सट्रेट सतह पर या विभिन्न सब्सट्रेट सतहों पर झिल्ली परत की मोटाई में ±5% से अधिक के विचलन के रूप में प्रकट होता है, जो प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा नहीं करता है। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- जमाव स्रोत का विचलन या क्रूसिबल की अस्थिर घूर्णन गति;
- सब्सट्रेट का मजबूती से तय न होना या बाधित होना, घूमने वाले तंत्र की खराबी;
- चुंबकीय और विद्युत क्षेत्रों से हस्तक्षेप के कारण बीम का विक्षेपण;
- मोटाई मीटर (क्रिस्टल नियंत्रण उपकरण) के अंशांकन की विफलता, जांच की स्थिति में विचलन या संदूषण;
- प्रक्रिया मापदंडों में उतार-चढ़ाव, जैसे अस्थिर वाष्पीकरण दर और असमान गैस प्रवाह।
समाधान:
- सब्सट्रेट के केंद्र के साथ संरेखित करने के लिए जमाव स्रोत की स्थिति को समायोजित करें, क्रूसिबल की घूर्णन गति की जाँच करें, घूमने वाले तंत्र में किसी भी खराबी की मरम्मत करें;
- सब्सट्रेट को सुरक्षित करने के लिए टूलिंग फिक्स्चर का उपयोग करें, किसी भी बाधा से बचें, और सब्सट्रेट के समान घूर्णन को सुनिश्चित करें;
- विद्युत चुम्बकीय कॉइल के मापदंडों की जाँच करें, बीम प्रक्षेपवक्र को अनुकूलित करें, और विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप को कम करें;
- मानक फिल्म मोटाई शीट का उपयोग करके हर तिमाही में क्रिस्टल नियंत्रक उपकरण को कैलिब्रेट करें, जांच की सतह को साफ करें, और सब्सट्रेट से 5-10 सेमी की इष्टतम स्थिति में जांच को समायोजित करें;
- स्थिर वाष्पीकरण दर और गैस प्रवाह दर सुनिश्चित करने के लिए बिजली आपूर्ति वोल्टेज को स्थिर करें, और गैस प्रवाह मीटर की सटीकता त्रुटि को ±1% के भीतर नियंत्रित करें।
3. फिल्म की गुणवत्ता में गिरावट:
यह फिल्म परत पर पिनहोल, रंगीन धब्बे, धुंधलापन और अन्य दोषों के रूप में प्रकट होता है, और चमक, कठोरता और घर्षण प्रतिरोध जैसे प्रदर्शन संकेतक मानकों को पूरा नहीं करते हैं। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- वैक्यूम चैंबर को पूरी तरह से खाली नहीं किया गया है, और जल वाष्प और ऑक्सीजन जैसी अवशिष्ट अशुद्धियाँ मौजूद हैं;
- कोटिंग प्रक्रिया के दौरान हवा का रिसाव गैस संदूषण का कारण बनता है;
- फिल्म सामग्री नमी को अवशोषित करती है या अशुद्धियाँ रखती है, और वाष्पीकरण और स्पटरिंग के दौरान प्रदूषक उत्पन्न होते हैं;
- फिलामेंट और बीम सिस्टम असामान्य है, जिसके परिणामस्वरूप कोटिंग सामग्री का अपर्याप्त आयनीकरण होता है;
- हीटिंग सिस्टम विफल हो जाता है, जिससे सब्सट्रेट तापमान निर्धारित मान तक नहीं पहुँच पाता या अत्यधिक उतार-चढ़ाव करता है।
समाधान:
- कोटिंग से पहले, वैक्यूम चैंबर को ≤ 5*10⁻⁴ Pa के दबाव तक खाली करें और वैक्यूम चैंबर में अवशिष्ट गैस को हटाने के लिए बेकिंग करें;
- सभी सीलिंग इंटरफेस का निरीक्षण करें, हवा के रिसाव को रोकने के लिए पुरानी सीलिंग घटकों को बदलें;
- उपयोग से पहले वैक्यूम चैंबर में कोटिंग सामग्री को प्री-मेल्ट करें ताकि नमी और अशुद्धियों को दूर किया जा सके, और योग्य शुद्ध कोटिंग सामग्री का चयन करें;
- फिलामेंट की स्थिति की जाँच करें, जले हुए या पुराने फिलामेंट को बदलें, सुनिश्चित करें कि स्थापना की स्थिति केंद्रित है, प्री-मेल्टिंग के बाद बीम लिमिटर को शून्य पर रीसेट करें और फिर शुरू करें;
- हीटिंग तत्वों, तापमान नियंत्रक और थर्मोकपल का निरीक्षण करें, शॉर्ट सर्किट या खराब संपर्क के मुद्दों की मरम्मत करें, तापमान नियंत्रक के पीआईडी पैरामीटर को फिर से ट्यून करें, सब्सट्रेट की केंद्रीय स्थिति में थर्मोकपल को समायोजित करें, और सालाना कैलिब्रेट करें।
(III) इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम की सामान्य खराबी
इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम वैक्यूम कोटिंग मशीन का "मस्तिष्क" है, जो विभिन्न मॉड्यूल के संचालन का समन्वय करने के लिए जिम्मेदार है। इसकी विफलताएं मुख्य रूप से ऑपरेशन पैनल की प्रतिक्रिया न देना, असामान्य पैरामीटर डिस्प्ले और प्रोग्राम नियंत्रण खोना के रूप में प्रकट होती हैं, जिसके परिणामस्वरूप उपकरण सामान्य रूप से संचालित नहीं हो पाता है।
सामान्य खराबी और समाधान:
यदि ऑपरेशन पैनल प्रतिक्रिया नहीं देता है या पैरामीटर डिस्प्ले असामान्य है, तो यह आमतौर पर कंट्रोल बोर्ड के नम या धूल से ढके होने, सेंसर कनेक्शन के ढीले या क्षतिग्रस्त होने, या सॉफ्टवेयर प्रोग्राम के क्रैश होने के कारण होता है। समाधान: कंट्रोल बोर्ड को नम और धूल से बचाने के लिए सूखे संपीड़ित हवा से कंट्रोल कैबिनेट को नियमित रूप से साफ करें; सेंसर लाइनों की जाँच करें, ढीले कनेक्टरों की मरम्मत करें, और खराब सेंसर को बदलें; सामान्य प्रोग्राम संचालन को बहाल करने के लिए सिस्टम को पुनरारंभ करें या कंट्रोल सॉफ्टवेयर को पुनः स्थापित करें। जब प्रोग्राम नियंत्रण से बाहर हो जाता है और प्रक्रिया मापदंडों को समायोजित नहीं किया जा सकता है, तो यह आमतौर पर पीएलसी औद्योगिक कंप्यूटर विफलता, संचार रुकावट, या इन्वर्टर विफलता के कारण होता है। समाधान: पीएलसी संचालन स्थिति की जाँच करें, संचार लाइनों का समस्या निवारण करें, संचार रुकावट की समस्याओं की मरम्मत करें; इन्वर्टर की जाँच करें, ओवरलोड, ओवरवोल्टेज, ओवरकरंट और अन्य अलार्म जानकारी की जाँच करें, और खराब घटकों की मरम्मत या उन्हें बदलें।
(4) सहायक सिस्टम की सामान्य खराबी
सहायक प्रणालियों में शीतलन प्रणाली, गैस आपूर्ति प्रणाली आदि शामिल हैं। यद्यपि वे कोटिंग की मुख्य प्रक्रिया में सीधे भाग नहीं लेते हैं, वे उपकरण के सामान्य संचालन और कोटिंग की गुणवत्ता के लिए महत्वपूर्ण हैं। सामान्य खराबी इस प्रकार हैं:
1. शीतलन प्रणाली की विफलता:
यह उपकरण के संचालन के दौरान पंप बॉडी, लक्ष्य सामग्री और हीटिंग घटकों के अधिक गरम होने के रूप में प्रकट होता है, और यहां तक कि ओवरहीटिंग सुरक्षा को ट्रिगर करके मशीन को रोक देता है। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- शीतलन जल में जल स्तर बहुत कम होना, खराब जल गुणवत्ता के कारण शीतलन दक्षता में कमी;
- शीतलन पाइपलाइन में रुकावट या मोड़, खराब जल प्रवाह;
- पंप की विफलता, हीट एक्सचेंजर अवरुद्ध;
- वाल्व का अनुचित खुलना या आकस्मिक बंद होना।
समाधान:
- शीतलन जल के जल स्तर की नियमित रूप से जाँच करें, शीतलन जल को फिर से भरें, और शैवाल वृद्धि और स्केलिंग को रोकने के लिए शीतलन जल को नियमित रूप से बदलें;
- शीतलन पाइपलाइन में रुकावटों को दूर करें, मुड़ी हुई पाइपलाइनों को सीधा करें ताकि जल प्रवाह सुचारू हो सके;
- पंप की संचालन स्थिति की जाँच करें, खराब पंप की मरम्मत या उसे बदलें, और हीट एक्सचेंजर में रुकावटों को साफ करें;
- वाल्वों के खुलने की डिग्री की जाँच करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि वे पूरी तरह से खुले हैं।
2. गैस आपूर्ति प्रणाली की विफलता:
यह अस्थिर प्रक्रिया गैस प्रवाह और आपूर्ति करने में असमर्थता के रूप में प्रकट होता है, जिसके परिणामस्वरूप कोटिंग प्रक्रिया में रुकावट या फिल्म परत की संरचना में विचलन होता है। मुख्य कारणों में शामिल हैं:
- मास फ्लो कंट्रोलर (MFC) अंशांकन की विफलता या क्षति;
- गैस पथ में रुकावट या रिसाव;
- अपर्याप्त गैस शुद्धता और दबाव कम करने वाले वाल्व की खराबी।
समाधान:
- मास फ्लो कंट्रोलर को नियमित रूप से कैलिब्रेट करें, खराब घटकों की मरम्मत या उन्हें बदलें;
- गैस पथ का निरीक्षण करें, रुकावटों को दूर करें, रिसाव बिंदुओं की पहचान करें और कसें;
- योग्य शुद्धता वाली प्रक्रिया गैस का चयन करें, दबाव कम करने वाले वाल्व की जाँच करें, और स्थिर दबाव सुनिश्चित करें।
III. वैक्यूम कोटिंग मशीनों के लिए वैज्ञानिक रखरखाव रणनीतियाँ
वैक्यूम कोटिंग मशीनों के रखरखाव को "रोकथाम पहले, रोकथाम और उपचार का संयोजन" के सिद्धांत का पालन करना चाहिए। दैनिक रखरखाव, नियमित रखरखाव और विशेष रखरखाव के माध्यम से, संभावित विफलताओं का समय पर पता लगाया जा सकता है, जिससे उपकरण का सेवा जीवन बढ़ाया जा सकता है और स्थिर उत्पादन सुनिश्चित किया जा सकता है। रखरखाव कार्य में उपकरण के सभी मॉड्यूल शामिल होने चाहिए, जिसमें घिसाव-प्रवण घटकों और मुख्य प्रणालियों पर विशेष ध्यान दिया जाना चाहिए।
(1) दैनिक रखरखाव (दैनिक स्टार्टअप से पहले और शटडाउन के बाद)
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प्री-कमीशनिंग निरीक्षण:
- जाँच करें कि उपकरण की बिजली आपूर्ति और वायरिंग सामान्य है, और कोई क्षति या ढीलापन तो नहीं है;
- वैक्यूम पंप के तेल स्तर और गुणवत्ता की जाँच करें, यह सुनिश्चित करें कि तेल स्तर मानक पैमाने के भीतर है और तेल स्पष्ट है, बिना धुंधलापन के;
- जाँच करें कि सीलिंग रिंग बरकरार और साफ हैं, और कोई उम्र बढ़ने या क्षति तो नहीं है;
- शीतलन प्रणाली की जाँच करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि शीतलन जल पर्याप्त है और जल प्रवाह सुचारू है;
- गैस आपूर्ति प्रणाली की जाँच करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि गैस का दबाव स्थिर है और गैस पथ में कोई रिसाव नहीं है;
- जाँच करें कि उपकरण सामान्य स्टैंडबाय स्थिति में है, यह पुष्टि करने के लिए ऑपरेशन पैनल मापदंडों की जाँच करें।
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पोस्ट-शटडाउन रखरखाव:
- उपकरण की सभी बिजली आपूर्ति, गैस वाल्व और शीतलन जल वाल्व बंद करें;
- वैक्यूम चैंबर की आंतरिक दीवारों, वर्कपीस होल्डर और अवलोकन खिड़की को साफ करें, किसी भी शेष कोटिंग सामग्री और अशुद्धियों को हटाने के लिए आइसोप्रोपिल अल्कोहल में डूबी हुई लिंट-फ्री कपड़े का उपयोग करें;
- उपकरण की सतह पर धूल साफ करें, सर्किट और पाइपलाइनों को व्यवस्थित करें;
- उपकरण की संचालन स्थिति, विफलताओं और प्रक्रिया मापदंडों को रिकॉर्ड करें, और एक संचालन फ़ाइल स्थापित करें।
(2) नियमित रखरखाव (साप्ताहिक, मासिक, त्रैमासिक, वार्षिक)
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साप्ताहिक रखरखाव:
- वैक्यूम पंप की संचालन स्थिति की जाँच करें, पंप बॉडी से किसी भी असामान्य आवाज या कंपन को सुनें, और पंप बॉडी की सतह की धूल साफ करें;
- सीलों का निरीक्षण करें, निर्जल इथेनॉल से सीलिंग रिंग को साफ करें, सीलिंग प्रदर्शन को बढ़ाने के लिए विशेष चिकनाई ग्रीस लगाएं;
- शीतलन पाइपलाइन की जाँच करें, फिल्टर में रुकावटों को दूर करें;
- बेस फिक्स्चर का निरीक्षण करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि वे सुरक्षित रूप से तय किए गए हैं और बिना विरूपण के हैं।
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मासिक रखरखाव:
- वैक्यूम पंप तेल बदलें और पंप बॉडी की आंतरिक अशुद्धियों को साफ करें;
- वैक्यूम गेज ट्यूब का निरीक्षण करें, उसे साफ और कैलिब्रेट करें;
- हीटिंग तत्वों और थर्मोकपल की जाँच करें ताकि सुरक्षित कनेक्शन और सामान्य संचालन सुनिश्चित हो सके;
- गैस पाइपलाइनों को साफ करें और किसी भी रिसाव बिंदु की पहचान करें;
- वैक्यूम चैंबर की एक व्यापक सफाई करें, और यदि आवश्यक हो तो आर्गन आयन एचिंग करें।
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त्रैमासिक रखरखाव:
- वाष्पीकरण स्रोत और लक्ष्य सामग्री की स्थिति का निरीक्षण करें, घिसे हुए या समाप्त हो चुके लक्ष्य सामग्री और वाष्पीकरण जहाजों को बदलें;
- सटीकता सुनिश्चित करने के लिए फिल्म मोटाई मीटर और मास फ्लो कंट्रोलर को कैलिब्रेट करें;
- इलेक्ट्रिकल कंट्रोल सिस्टम की जाँच करें, कंट्रोल बोर्ड और सेंसर को साफ करें, और वायरिंग कनेक्शन को कसें;
- शीतलन प्रणाली की जाँच करें, हीट एक्सचेंजर में आंतरिक जमाव को साफ करें, और पुरानी शीतलन जल पाइपों को बदलें।
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वार्षिक रखरखाव:
- उपकरण का एक व्यापक डिस्सेप्लर निरीक्षण करें, घिसे हुए सील, बेयरिंग, फिलामेंट और अन्य आसानी से क्षतिग्रस्त होने वाले घटकों को बदलें;
- वैक्यूम पंप के आंतरिक रोटर और ब्लेड का निरीक्षण करें, घिसे हुए भागों की मरम्मत करें;
- सटीक मापदंडों को सुनिश्चित करने के लिए सभी उपकरणों और मीटरों को कैलिब्रेट करें;
- उपकरण पर नो-लोड ऑपरेशन परीक्षण और प्रक्रिया सत्यापन करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि यह प्रदर्शन मानकों को पूरा करता है;
- संचालन प्रक्रियाओं को मानकीकृत करने के लिए ऑपरेटरों को पेशेवर प्रशिक्षण प्रदान करें।
(3) विशेष रखरखाव (विफल होने की संभावना वाले घटकों और विशिष्ट कार्य परिस्थितियों के लिए)
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घिसाव-प्रवण घटकों के लिए विशेष रखरखाव:
- घिसाव-प्रवण घटक, जैसे सीलिंग रिंग, फिलामेंट, लक्ष्य सामग्री, वाष्पीकरण नाव, आदि, का उपयोग आवृत्ति और घिसाव की स्थिति के अनुसार अतिरिक्त पुर्जों के साथ पूर्व-भंडारण किया जाना चाहिए, और घटक क्षति के कारण उपकरण बंद होने से बचने के लिए समय पर बदला जाना चाहिए;
- घटकों की स्थापना की स्थिति की नियमित रूप से जाँच करें ताकि उचित स्थापना सुनिश्चित हो सके और अनुचित स्थापना के कारण होने वाली विफलताओं से बचा जा सके।
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विशेष स्थिति रखरखाव:
- उच्च तापमान, उच्च आर्द्रता और धूल भरे वातावरण में संचालित होने वाले उपकरणों के लिए, रखरखाव चक्र को छोटा किया जाना चाहिए, और बढ़ी हुई सीलिंग सुरक्षा और सफाई कार्य किया जाना चाहिए;
- शीतलन प्रणालियों और वैक्यूम प्रणालियों के निरीक्षण की आवृत्ति बढ़ाई जानी चाहिए ताकि पर्यावरणीय कारकों के कारण होने वाली उपकरण विफलताओं को रोका जा सके;
- उपकरण की आंतरिक सूखापन और सफाई सुनिश्चित करने के लिए उपकरण पर नियमित नमी-रोधी और धूल-रोधी उपचार किए जाने चाहिए।
(4) सुरक्षा रखरखाव सावधानियां
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रखरखाव से पहले,
उपकरण की सभी बिजली आपूर्ति को डिस्कनेक्ट किया जाना चाहिए, गैस वाल्व बंद होने चाहिए, और वैक्यूम चैंबर के अंदर दबाव जारी किया जाना चाहिए ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि उपकरण एक सुरक्षित स्थिति में है। जलने से बचने के लिए संचालन से पहले उच्च-तापमान घटकों को ठंडा होने दें।
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रखरखाव प्रक्रिया के दौरान,
ऑपरेटरों को सुरक्षात्मक दस्ताने, चश्मे और अन्य सुरक्षा उपकरण पहनने चाहिए ताकि कोटिंग के टुकड़ों के छलकने और रासायनिक अभिकर्मकों के संपर्क से बचा जा सके।
