2025-12-30
진공 코팅 기계는 마이크로 전자공학, 광학, 태양 에너지, 장식 제조 등 첨단 기술 분야에서 널리 사용되는 중요한 정밀 장비입니다. 성능 안정성은 코팅 품질, 생산 효율성 및 운영 비용을 직접적으로 결정합니다. 이 가이드는 운영자 및 유지보수 담당자가 표준화된 장비 관리를 달성하고 서비스 수명을 연장하며 일관된 생산 품질을 보장할 수 있도록 돕기 위해 주요 예비 부품 분류, 유지보수 절차, 문제 해결 방법 및 예방 전략을 체계적으로 자세히 설명합니다. 적절한 유지보수는 갑작스러운 고장을 예방할 뿐만 아니라 장비의 최적 작동 상태를 유지하여 에너지 소비를 줄이고 전반적인 생산성을 향상시킵니다.
진공 시스템은 필름 증착에 필요한 고진공 환경을 조성하고 유지하는 역할을 하는 코팅 장비의 핵심입니다. 중요한 예비 부품에는 다음이 포함됩니다.
•진공 펌프 및 부품: 기계식 펌프(로터리 베인 펌프, 슬라이드 밸브 펌프)와 터보분자 펌프가 필수입니다. 예비 부품에는 펌프 오일(NAS 6 등급 표준 충족), 오일 필터, 베어링 및 밀봉 개스킷이 포함됩니다. 기계식 펌프 오일은 펌핑 효율성을 보장하기 위해 정기적인 교체가 필요한 반면, 터보분자 펌프 베어링은 윤활을 위해 특수 그리스가 필요합니다.
•씰링 요소: 고온 내식성 재료(예: 불소고무)로 제작된 진공 챔버 씰(O-링, 개스킷 씰)은 공기 누출을 방지합니다. 이는 6~12개월마다 교체해야 하는 소모성 부품입니다.
•밸브 및 파이프: 게이트 밸브, 앵글 밸브, 진공 파이프라인. 예비 부품에는 밸브 코어, 밸브 시트 및 파이프 커넥터가 포함됩니다. 밸브는 진공 챔버 압력과 가스 흐름을 제어하므로 마모 및 누출에 대한 정기적인 검사가 필요합니다.
이 시스템은 다음과 같은 주요 예비 부품을 사용하여 재료 증발, 스퍼터링 및 필름 증착을 담당합니다.
•증착 소스: 증발 도가니(텅스텐, 탄탈륨, 세라믹 재료) 및 스퍼터링 타겟(금속, 반도체, 절연체 타겟). 도가니는 고온 사용 시 변형되기 쉽고, 타겟의 두께가 최소 작업 한계 이하로 감소하면 교체가 필요합니다.
•가열 부품: 기판히터, 열선, 열전대. 가열 와이어는 산화 및 파손에 취약한 반면, 열전대는 온도 측정 정확도를 보장하기 위해 매년 교정이 필요합니다.
•필름 두께 모니터링 부품: 수정 모니터(석영 발진기) 및 프로브. 이러한 구성 요소는 필름 두께 정밀도를 제어합니다. 분기별 교정에는 예비 프로브와 교정 표준(표준 필름 두께 시트)이 필요합니다.
제어 시스템은 온도, 압력, 증착 속도와 같은 공정 매개변수를 조절합니다.
•센서: 압력 센서, 온도 센서, 가스 유량계. 감지 정확도가 떨어지면 예비 센서를 적시에 교체할 수 있습니다. 센서는 먼지와 잔여물을 제거하기 위해 정기적으로 청소해야 합니다.
•전기 부품: 회로 기판, 전원 모듈 및 릴레이. 이러한 부품은 장비의 자동화된 작동을 제어합니다. 예비 회로 기판과 퓨즈는 전기 고장으로 인한 장기간의 가동 중단 시간을 방지합니다.
•제어 소프트웨어 및 교정 도구: 백업 소프트웨어 사본 및 매개변수 교정 도구. 정기적인 소프트웨어 업데이트와 시스템 교정은 제어 정밀도를 유지합니다.
•진공 챔버 청소: 코팅 완료 후 2시간 이내에 이소프로필 알코올을 적신 보푸라기가 없는 천으로 챔버 내벽과 작업물 홀더를 닦아 증발 잔여물과 스퍼터링된 입자를 제거합니다. 잘 지워지지 않는 침전물의 경우 정밀 청소 전에 고압 공기를 사용하여 떨어져 나온 잔해물을 불어내십시오.
•센서 검사 및 청소: 부드러운 솔로 압력, 온도 센서의 먼지를 제거한 후 보풀이 없는 마른 천으로 닦아냅니다. 손상을 방지하려면 센서 프로브와 직접 접촉하지 마십시오.
•기본 매개변수 확인: 진공도(코팅 준비 시 5×10⁻⁴Pa 이하), 가스 흐름 안정성, 전원 전압(380V 3상 50Hz 또는 220V 단상 50Hz, 변동 범위 342~399V 또는 198~231V)을 확인합니다.
•200시간 유지보수: 기계식 펌프 오일을 교체하고 오래된 오일을 완전히 배출한 후 규정된 수준까지 새 오일을 보충합니다(오일 투시창을 통해 확인). 오일 필터를 청소하고 파이프라인 누출이 있는지 확인하십시오.
•500시간 유지보수: 스퍼터링 타겟과 증발 도가니의 마모 여부를 검사합니다. 필요한 경우 타겟-기판 간격을 50-150mm로 조정합니다. 필름 두께 모니터 프로브를 청소하고 위치(기판에서 5~10cm)를 확인합니다.
•5,000시간 유지보수: 터보분자 펌프 베어링에 특수 그리스를 주입합니다. 회전 저항이 초기 값의 20%를 초과하면 베어링을 교체하십시오. 휘발유와 세제 용액으로 확산 펌프 공간을 청소한 후 새 확산 펌프 오일을 다시 채우십시오.
•분기별 유지보수: 필름 두께 편차가 ±5% 이하가 되도록 표준 필름 두께 시트로 크리스탈 모니터를 교정합니다. 전기 연결부가 느슨하지 않은지 검사하고 건조한 압축 공기로 제어 캐비닛을 청소하십시오.
•연간 유지보수: 진공 챔버에서 아르곤 이온 에칭(바이어스 전압 -1500V, 지속 시간 30분)을 수행하여 50회 코팅 주기 후 표면 활성을 복원합니다. 헬륨 질량 분석계 누출 감지기를 사용하여 진공 챔버에 용접 결함이나 핀홀이 있는지 확인하십시오.
•씰링 요소: 균열, 노화, 변형이 발견되면 즉시 O-링과 개스킷을 교체하십시오. 공기 누출을 방지하려면 올바른 설치를 확인하십시오.
•펌프 구성 요소: 기계식 펌프 오일을 교체할 때 펌프 공간을 청소하여 잔류 오염 물질을 제거하십시오. 터보분자 펌프 베어링 교체의 경우 제조업체에서 권장하는 부품을 사용하고 토크 사양을 따르십시오.
•발열체: 파손된 열선을 즉시 교체하십시오. 정확한 온도 측정을 위해 열전대를 기판 중앙에 다시 배치합니다.
•증상: 설정된 진공도에 도달하지 못하거나 작동 중 급격한 압력 강하가 발생합니다.
•원인: 씰 노후화, 파이프 연결 느슨함, 펌프 오일 오염 또는 확산 펌프 비효율성.
•솔루션:
에이.헬륨 질량 분석계 누출 감지기를 사용하여 누출 위치를 찾아 손상된 씰을 교체하거나 연결부를 조이십시오.
비.오염된 펌프 오일을 교체하고 오일 필터를 청소하십시오.
기음.확산 펌프의 경우 캐비티를 분해하여 청소한 다음 새 오일을 다시 채우십시오. 냉각수 유량 ≥5L/min을 보장합니다.
•증상: 필름이 벗겨지거나 두께가 고르지 않거나 핀홀이 발생합니다.
•원인:
◦박리: 기판 오염, 예열 부족 또는 과도한 필름 응력.
◦고르지 못한 두께: 잘못 정렬된 증착 소스, 불안정한 도가니 회전 또는 기판 차폐.
◦핀홀: 진공 챔버에 남아 있는 수분/산소 또는 불순한 코팅 재료.
•솔루션:
에이.기판 세정 강화 및 이온 충격 전처리(바이어스 전압 -1500V)를 수행합니다.
비.기판 중심과 정렬되도록 증착 소스 위치를 조정하고 고정 장치를 사용하여 기판을 고정합니다.
기음.사전 진공 펌핑 시간을 5×10⁻⁴Pa 이하로 연장하고 코팅 재료를 사전 용융하여 수분을 제거합니다.
•증상: 조작 패널이 무응답, 매개변수 표시 이상 또는 가열 시스템 오작동.
•원인: 제어 보드 먼지 축적, 느슨한 센서 연결 또는 PID 매개변수 구성 오류.
•솔루션:
에이.건조한 압축 공기로 제어 캐비닛을 청소하고 배선 연결을 다시 확인하십시오.
비.안정적인 가열을 위해 온도 센서를 재보정하고 PID 매개변수를 조정합니다.
기음.프로그램 충돌이 발생하면 시스템을 다시 시작하거나 제어 소프트웨어를 다시 설치하십시오.
예비 부품 교체 날짜, 매개변수 조정, 오류 처리 프로세스를 포함한 모든 유지 관리 활동을 문서화합니다. 코팅 주기, 진공 곡선 데이터, 필름 두께 측정과 같은 주요 지표를 추적하여 완전한 장비 상태를 형성합니다.档案.
CPK 분석을 통해 주요 코팅 지표(접착력, 경도)를 평가하기 위해 월간 공정 분석 회의를 실시합니다. CPK 값이 1.33 미만으로 떨어지면 프로세스 최적화를 시작합니다. 진공 성능, 전기 안전, 기계적 마모를 다루는 포괄적인 장비 검사를 분기별로 수행합니다.
장비 사용 빈도 및 제조업체 권장 사항을 기반으로 중요한 예비 부품(씰, 펌프 오일, 열선, 센서)의 합리적인 재고를 유지하십시오. 오염을 방지하려면 예비 부품을 건조하고 먼지가 없는 환경에 보관하십시오.
운영자와 유지 관리 직원이 장비 작동 원리, 유지 관리 절차 및 안전 프로토콜을 숙지하고 있는지 확인하십시오. 문제 해결 기술과 도구(예: 헬륨 질량 분광계 누출 감지기)의 적절한 사용에 대한 교육을 제공합니다.
•유지보수 전에 장비를 끄고 전원을 차단한 다음 진공 챔버가 실온으로 냉각될 때까지 기다리십시오. 압력 충격을 방지하려면 질소를 사용하여 진공 압력을 점차적으로 해제하십시오.
•이소프로필 알코올, 가성소다 용액, 펌프 오일 등의 화학 물질을 취급할 때는 보호 장구(장갑, 고글)를 사용하여 피부와 눈의 자극을 예방하세요.
•단락을 방지하려면 전기 부품을 수리하기 전에 배터리 케이블을 분리하십시오. 호환성과 안전성을 보장하려면 예비 부품 교체에 대한 제조업체 지침을 따르십시오.
