2025-12-30
वैक्यूम कोटिंग मशीनें उच्च तकनीक जैसे माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स, ऑप्टिक्स, सौर ऊर्जा और सजावटी विनिर्माण में व्यापक रूप से उपयोग किए जाने वाले महत्वपूर्ण परिशुद्धता उपकरण हैं।उनके प्रदर्शन स्थिरता सीधे कोटिंग गुणवत्ता निर्धारित करता हैइस गाइड में मुख्य स्पेयर पार्ट्स के वर्गीकरण, रखरखाव प्रक्रियाओं, समस्या निवारण विधियों और रोकथाम रणनीतियों पर व्यवस्थित रूप से विस्तार से बताया गया है।जिसका उद्देश्य ऑपरेटरों और रखरखाव कर्मियों को उपकरण प्रबंधन को मानकीकृत करने में मदद करना है, सेवा जीवन को बढ़ाता है, और निरंतर उत्पादन गुणवत्ता सुनिश्चित करता है। उचित रखरखाव न केवल अचानक विफलताओं को रोकता है, बल्कि उपकरण की इष्टतम परिचालन स्थिति को भी बनाए रखता है,ऊर्जा की खपत को कम करना और समग्र उत्पादकता में सुधार करना .
वैक्यूम प्रणाली कोटिंग उपकरण का मूल है, जो फिल्म जमाव के लिए आवश्यक उच्च वैक्यूम वातावरण बनाने और बनाए रखने के लिए जिम्मेदार है। महत्वपूर्ण स्पेयर पार्ट्स में शामिल हैंः
•वैक्यूम पंप और घटक: मैकेनिकल पंप (रोटरी व्हेल पंप, स्लाइड वाल्व पंप) और टर्बोमोलेक्यूलर पंप आवश्यक हैं। स्पेयर पार्ट्स में पंप तेल (एनएएस 6 ग्रेड मानकों को पूरा करता है), तेल फिल्टर, बीयरिंग,और सीलिंग गास्केटयांत्रिक पंप तेल को पंपिंग दक्षता सुनिश्चित करने के लिए नियमित रूप से बदलने की आवश्यकता होती है, जबकि टर्बोमोलेकुलर पंप बीयरिंग को स्नेहन के लिए विशेष वसा की आवश्यकता होती है।
•सीलिंग तत्व: उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोधी सामग्री (जैसे, फ्लोरो रबर) से बने वैक्यूम कक्ष सील (ओ-रिंग, गास्केट सील) हवा के रिसाव को रोकते हैं।ये उपभोग्य भाग हैं जिन्हें हर 6-12 महीने में बदलने की आवश्यकता होती है।.
•वाल्व और पाइप: गेट वाल्व, कोण वाल्व और वैक्यूम पाइपलाइनें। स्पेयर पार्ट्स में वाल्व कोर, वाल्व सीट और पाइप कनेक्टर शामिल हैं। वाल्व वैक्यूम कक्ष दबाव और गैस प्रवाह को नियंत्रित करते हैं,पहनने और रिसाव के लिए नियमित निरीक्षण की आवश्यकता .
यह प्रणाली सामग्री के वाष्पीकरण, स्पटरिंग और फिल्म जमाव के लिए जिम्मेदार है, जिसमें प्रमुख स्पेयर पार्ट्स शामिल हैंः
•जमा करने के स्रोत: वाष्पीकरण क्रिजबल (टंगस्टन, टैंटलम या सिरेमिक सामग्री) और स्पटरिंग लक्ष्य (धातु, अर्धचालक या इन्सुलेटर लक्ष्य) । क्रिजबल उच्च तापमान के उपयोग के बाद विरूपण के लिए प्रवण हैं,जबकि लक्ष्य को प्रतिस्थापन की आवश्यकता होती है जब उनकी मोटाई न्यूनतम कार्य सीमा से नीचे घट जाती है .
•हीटिंग घटक: सब्सट्रेट हीटर, हीटिंग वायर्स और थर्मोकपल्स। हीटिंग वायर्स ऑक्सीकरण और टूटने के लिए अतिसंवेदनशील हैं,जबकि थर्मोकपल्स को तापमान माप की सटीकता सुनिश्चित करने के लिए सालाना कैलिब्रेशन की आवश्यकता होती है।.
•फिल्म मोटाई निगरानी भागोंक्रिस्टल मॉनिटर (क्वार्ट्ज ऑसिलेटर) और जांच. ये घटक फिल्म मोटाई की सटीकता को नियंत्रित करते हैं।प्रति तिमाही कैलिब्रेशन के लिए स्पेयर सोंड और कैलिब्रेशन मानक (मानक फिल्म मोटाई शीट) आवश्यक हैं।.
नियंत्रण प्रणाली प्रक्रिया मापदंडों जैसे तापमान, दबाव और जमाव दर को नियंत्रित करती हैः
•सेंसर: दबाव सेंसर, तापमान सेंसर और गैस प्रवाह मीटर। जब पता लगाने की सटीकता में कमी आती है तो स्पेयर सेंसर समय पर प्रतिस्थापन सुनिश्चित करते हैं। सेंसर को धूल और अवशेषों को हटाने के लिए नियमित सफाई की आवश्यकता होती है।
•विद्युत घटक: सर्किट बोर्ड, पावर मॉड्यूल और रिले। ये भाग उपकरण के स्वचालित संचालन को नियंत्रित करते हैं; स्पेयर सर्किट बोर्ड और फ्यूज विद्युत विफलताओं के कारण लंबे समय तक डाउनटाइम को रोकते हैं।
•नियंत्रण सॉफ्टवेयर और कैलिब्रेशन उपकरण: बैकअप सॉफ्टवेयर प्रतियां और पैरामीटर कैलिब्रेशन उपकरण। नियमित सॉफ्टवेयर अपडेट और सिस्टम कैलिब्रेशन नियंत्रण सटीकता बनाए रखते हैं।
•वैक्यूम कक्ष की सफाई: कोटिंग पूरी होने के 2 घंटे के भीतर, वाष्पीकरण अवशेषों और स्पटर किए गए कणों को हटाने के लिए आइसोप्रोपाइल अल्कोहल में डुबोए गए फट मुक्त कपड़े से कक्ष की आंतरिक दीवार और वर्कपीस धारक को पोंछें।जिद्दी जमाओं के लिएउच्च दबाव वाली हवा का उपयोग करके सटीक सफाई से पहले ढीले मलबे को उड़ाएं।
•सेंसर निरीक्षण और सफाई: दबाव और तापमान सेंसर से धूल हटाने के लिए एक नरम ब्रश का उपयोग करें, फिर सूखे, फिसलन मुक्त कपड़े से पोंछें। क्षति को रोकने के लिए सेंसर जांच के साथ प्रत्यक्ष संपर्क से बचें।
•मूल पैरामीटर जाँच: वैक्यूम डिग्री (कोटिंग तैयारी के लिए ≤5×10−4Pa तक पहुंचना चाहिए), गैस प्रवाह स्थिरता और बिजली आपूर्ति वोल्टेज (380V तीन-चरण 50Hz या 220V एकल-चरण 50Hz) की जांच करें,342~399V या 198~231V की उतार-चढ़ाव सीमा के साथ) .
•200 घंटे का रखरखाव: यांत्रिक पंप तेल को बदलें, पुराने तेल को पूरी तरह से निकालें, और निर्दिष्ट स्तर तक नए तेल से फिर से भरें (तेल देखने वाले ग्लास के माध्यम से जाँच करें) । तेल फिल्टर को साफ करें और पाइपलाइन रिसाव की जांच करें।
•500 घंटे का रखरखाव: स्पुटरिंग लक्ष्य और वाष्पीकरण क्रिजबल का निरीक्षण करें; यदि आवश्यक हो तो लक्ष्य-स्तंभ के बीच की दूरी को 50-150 मिमी तक समायोजित करें।फिल्म मोटाई मॉनिटर जांच को साफ करें और इसकी स्थिति की पुष्टि करें (स्तम्भ से 5 सेमी 10 सेमी) .
•5,000-घंटे का रखरखाव: टर्बोमोलेक्यूलर पंप लेयरिंग में विशेष वसा का इंजेक्शन; यदि रोटेशन प्रतिरोध आरंभिक मूल्य का 20% से अधिक हो तो लेयरिंग को बदल दें।डिफ्यूजन पंप गुहा को गैसोलीन और वाशिंग पाउडर समाधान से साफ करें, फिर नए फैलाव पंप तेल के साथ फिर से भरें।
•त्रैमासिक रखरखाव: क्रिस्टल मॉनिटर को मानक फिल्म मोटाई शीट के साथ कैलिब्रेट करें ताकि फिल्म मोटाई विचलन ≤±5% सुनिश्चित हो सके।बिजली के कनेक्शनों को ढीला होने के लिए जांचें और नियंत्रण कैबिनेट को सूखी संपीड़ित हवा से साफ करें।.
•वार्षिक रखरखाव: 50 कोटिंग चक्रों के बाद सतह की गतिविधि बहाल करने के लिए वैक्यूम कक्ष पर आर्गॉन आयन उत्कीर्णन (भंगावस्था वोल्टेज -1500V, अवधि 30 मिनट) करें।एक हीलियम द्रव्यमान स्पेक्ट्रोमीटर रिसाव डिटेक्टर का उपयोग करके वेल्डिंग दोषों या पिनहोल के लिए वैक्यूम कक्ष की जांच करें .
•सीलिंग तत्व: यदि दरारें, उम्र बढ़ने या विरूपण का पता चलता है तो ओ-रिंग और गास्केट तुरंत बदलें। हवा के रिसाव से बचने के लिए सही स्थापना सुनिश्चित करें।
•पंप घटक: यांत्रिक पंप तेल को बदलने के दौरान, शेष प्रदूषकों को हटाने के लिए पंप गुहा को साफ करें।निर्माता द्वारा अनुशंसित भागों का उपयोग करें और टोक़ विनिर्देशों का पालन करें .
•हीटिंग एलिमेंट: टूटी हुई हीटिंग तारों को तुरंत बदलें; सटीक तापमान माप के लिए थर्मोकपल्स को सब्सट्रेट के केंद्र में पुनर्स्थित करें।
•लक्षण: ऑपरेशन के दौरान सेट वैक्यूम स्तर तक नहीं पहुंचना या दबाव में अचानक गिरावट।
•कारण: बुढ़ापे के सील, ढीले पाइप कनेक्शन, पंप तेल का दूषित होना या प्रसार पंप की अक्षमता।
•समाधान:
a.लीक का पता लगाने के लिए हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर लीक डिटेक्टर का प्रयोग करें और क्षतिग्रस्त सील को बदलें या कनेक्शन को कसें।
b.दूषित पंप तेल को बदलें और तेल फिल्टर को साफ करें।
c.प्रसारण पंपों के लिए, खोई को अलग करें और साफ करें, फिर नए तेल से फिर से भरें; ठंडा पानी का प्रवाह ≥5L/मिनट सुनिश्चित करें।
•लक्षण: फिल्म छीलने, असमान मोटाई, या पिनहोल।
•कारण:
◦छीलनेः सब्सट्रेट का दूषित होना, अपर्याप्त पूर्व ताप या अत्यधिक फिल्म तनाव।
◦असमान मोटाईः गलत संरेखित जमाव स्रोत, अस्थिर पिघल घूर्णन, या सब्सट्रेट परिरक्षण।
◦पिनहोल्स: वैक्यूम कक्ष में अवशिष्ट नमी/ऑक्सीजन या अशुद्ध कोटिंग सामग्री।
•समाधान:
a.सब्सट्रेट की सफाई को मजबूत करें और आयन बमबारी पूर्व-उपचार करें (bias voltage -1500V) ।
b.सब्सट्रेट के केंद्र के साथ संरेखित करने के लिए जमाव स्रोत की स्थिति को समायोजित करें और सब्सट्रेट को सुरक्षित करने के लिए जुड़नार का उपयोग करें।
c.नमी को हटाने के लिए पूर्व-शून्य पंपिंग समय को ≤5×10−4Pa और पूर्व-पिघलने वाली कोटिंग सामग्री तक बढ़ाएं।
•लक्षण: ऑपरेशन पैनल में कोई प्रतिक्रिया नहीं है, पैरामीटर डिस्प्ले में असामान्यताएं हैं, या हीटिंग सिस्टम में खराबी है।
•कारण: नियंत्रण बोर्ड धूल जमा, ढीला सेंसर कनेक्शन, या पीआईडी पैरामीटर गलत कॉन्फ़िगरेशन.
•समाधान:
a.कंट्रोल कैबिनेट को सूखी संपीड़ित हवा से साफ करें और तारों के कनेक्शन की दोबारा जांच करें।
b.तापमान सेंसरों को फिर से कैलिब्रेट करें और स्थिर हीटिंग के लिए पीआईडी मापदंडों को समायोजित करें।
c.यदि प्रोग्राम क्रैश हो जाता है तो सिस्टम को पुनरारंभ करें या नियंत्रण सॉफ़्टवेयर को पुनः स्थापित करें.
सभी रखरखाव गतिविधियों का दस्तावेजीकरण करें, जिसमें स्पेयर पार्ट्स के प्रतिस्थापन की तारीखें, पैरामीटर समायोजन, और गलती से निपटने की प्रक्रियाएं शामिल हैं। कोटिंग चक्र, वैक्यूम वक्र डेटा जैसे प्रमुख संकेतकों को ट्रैक करें,और पूर्ण उपकरण स्वास्थ्य बनाने के लिए फिल्म मोटाई माप档案.
सीपीके विश्लेषण का उपयोग करके मुख्य कोटिंग संकेतकों (अडेशन, कठोरता) का मूल्यांकन करने के लिए मासिक प्रक्रिया विश्लेषण बैठकें आयोजित करें। यदि सीपीके मूल्य 1.33 से नीचे गिरते हैं तो प्रक्रिया अनुकूलन शुरू करें।वैक्यूम प्रदर्शन को कवर करने वाले तिमाही व्यापक उपकरण निरीक्षण करें, विद्युत सुरक्षा और यांत्रिक पहनने।
उपकरण के उपयोग की आवृत्ति और निर्माता की सिफारिशों के आधार पर महत्वपूर्ण स्पेयर पार्ट्स (सील, पंप तेल, हीटिंग तार, सेंसर) की उचित सूची बनाए रखें।प्रदूषण से बचने के लिए धूल मुक्त वातावरण .
यह सुनिश्चित करें कि ऑपरेटर और रखरखाव कर्मचारी उपकरण के कार्य सिद्धांतों, रखरखाव प्रक्रियाओं और सुरक्षा प्रोटोकॉल से परिचित हों।समस्या निवारण कौशल और औजारों के उचित उपयोग पर प्रशिक्षण प्रदान करना (ईउदाहरण के लिए, हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर लीक डिटेक्टर) ।
•रखरखाव से पहले, उपकरण बंद करें, बिजली बंद करें, और प्रतीक्षा करें कि वैक्यूम कक्ष कमरे के तापमान पर ठंडा हो जाए। दबाव के झटके से बचने के लिए नाइट्रोजन का उपयोग करके वैक्यूम दबाव को धीरे-धीरे जारी करें।
•त्वचा और आंखों की जलन को रोकने के लिए आइसोप्रोपाइल अल्कोहल, कास्टिक सोडा समाधान, या पंप तेल जैसे रसायनों को संभालने पर सुरक्षात्मक उपकरण (हस्तकंधे, चश्मा) का उपयोग करें।
•शॉर्ट सर्किट से बचने के लिए विद्युत घटकों की सेवा करने से पहले बैटरी केबलों को डिस्कनेक्ट करें। संगतता और सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए स्पेयर पार्ट्स के प्रतिस्थापन के लिए निर्माता के दिशानिर्देशों का पालन करें।
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