ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন খুচরা যন্ত্রাংশ এবং রক্ষণাবেক্ষণ গাইড

১. ভূমিকা

ভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিনগুলি অতি গুরুত্বপূর্ণ নির্ভুল সরঞ্জাম যা মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স, অপটিক্স, সৌর শক্তি এবং আলংকারিক উত্পাদন এর মতো উচ্চ-প্রযুক্তি ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। তাদের কর্মক্ষমতা স্থিতিশীলতা সরাসরি কোটিং গুণমান, উত্পাদন দক্ষতা এবং পরিচালনাগত খরচ নির্ধারণ করে। এই গাইডটিতে স্ট্যান্ডার্ড সরঞ্জাম পরিচালনা অর্জনের জন্য, পরিষেবা জীবন বাড়ানোর জন্য এবং ধারাবাহিক উত্পাদন গুণমান নিশ্চিত করার জন্য অপারেটর এবং রক্ষণাবেক্ষণ কর্মীদের সহায়তা করার লক্ষ্যে মূল খুচরা যন্ত্রাংশ শ্রেণীবিভাগ, রক্ষণাবেক্ষণ পদ্ধতি, সমস্যা সমাধানের পদ্ধতি এবং প্রতিরোধমূলক কৌশলগুলি নিয়ে পদ্ধতিগতভাবে আলোচনা করা হয়েছে। সঠিক রক্ষণাবেক্ষণ কেবল আকস্মিক ব্যর্থতা রোধ করে না বরং সরঞ্জামের সর্বোত্তম অপারেটিং অবস্থা বজায় রাখে, যা শক্তি খরচ কমায় এবং সামগ্রিক উত্পাদনশীলতা উন্নত করে।

২. মূল খুচরা যন্ত্রাংশের শ্রেণীবিভাগ এবং কার্যাবলী

২.১ ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের খুচরা যন্ত্রাংশ

ভ্যাকুয়াম সিস্টেম কোটিং সরঞ্জামের মূল অংশ, যা ফিল্ম জমা করার জন্য প্রয়োজনীয় উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশ তৈরি এবং বজায় রাখার জন্য দায়ী। গুরুত্বপূর্ণ খুচরা যন্ত্রাংশগুলির মধ্যে রয়েছে:

• ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং উপাদান: যান্ত্রিক পাম্প (রোটারি ভেইন পাম্প, স্লাইড ভালভ পাম্প) এবং টার্বোমলিকিউলার পাম্প অপরিহার্য। খুচরা যন্ত্রাংশগুলির মধ্যে রয়েছে পাম্প তেল (NAS 6 গ্রেড স্ট্যান্ডার্ড পূরণ করে), তেল ফিল্টার, বিয়ারিং এবং সিলিং গ্যাসকেট। পাম্পিং দক্ষতা নিশ্চিত করতে যান্ত্রিক পাম্পের তেল নিয়মিত পরিবর্তন করতে হবে, যেখানে টার্বোমলিকিউলার পাম্প বিয়ারিংগুলির জন্য লুব্রিকেশনের জন্য বিশেষ গ্রীস প্রয়োজন।

• সিলিং উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার সিল (ও-রিং, গ্যাসকেট সিল) উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়-প্রতিরোধী উপকরণ (যেমন, ফ্লুরোরবার) দিয়ে তৈরি যা বায়ু লিক প্রতিরোধ করে। এগুলি ভোগ্য যন্ত্রাংশ যা প্রতি ৬-১২ মাসে প্রতিস্থাপন করতে হয়।

• ভালভ এবং পাইপ: গেট ভালভ, অ্যাঙ্গেল ভালভ এবং ভ্যাকুয়াম পাইপলাইন। খুচরা যন্ত্রাংশগুলির মধ্যে রয়েছে ভালভ কোর, ভালভ সিট এবং পাইপ সংযোগকারী। ভালভ ভ্যাকুয়াম চেম্বারের চাপ এবং গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করে, যার জন্য পরিধান এবং লিকের জন্য নিয়মিত পরিদর্শন প্রয়োজন।

২.২ কোটিং সিস্টেমের খুচরা যন্ত্রাংশ

এই সিস্টেমটি উপাদান বাষ্পীভবন, স্প্যাটারিং এবং ফিল্ম জমা করার জন্য দায়ী, যার মধ্যে মূল খুচরা যন্ত্রাংশগুলি অন্তর্ভুক্ত:

• জমা করার উৎস: বাষ্পীভবন ক্রুসিবল (টাংস্টেন, ট্যানটালাম বা সিরামিক উপকরণ) এবং স্প্যাটারিং টার্গেট (ধাতু, সেমিকন্ডাক্টর বা ইনসুলেটর টার্গেট)। ক্রুসিবলগুলি উচ্চ-তাপমাত্রার ব্যবহারের পরে বিকৃতির প্রবণতা দেখায়, যেখানে টার্গেটগুলির বেধ সর্বনিম্ন কাজের সীমার নিচে নেমে গেলে প্রতিস্থাপন করতে হয়।

• হিটিং উপাদান: সাবস্ট্রেট হিটার, হিটিং তার এবং থার্মোকাপল। হিটিং তারগুলি জারণ এবং ভাঙ্গনের জন্য ঝুঁকিপূর্ণ, যেখানে থার্মোকাপলগুলির তাপমাত্রা পরিমাপের নির্ভুলতা নিশ্চিত করার জন্য বার্ষিক ক্রমাঙ্কন প্রয়োজন।

• ফিল্মের পুরুত্ব নিরীক্ষণের যন্ত্রাংশ: ক্রিস্টাল মনিটর (কোয়ার্টজ অসিলেটর) এবং প্রোব। এই উপাদানগুলি ফিল্মের পুরুত্বের নির্ভুলতা নিয়ন্ত্রণ করে; ত্রৈমাসিক ক্রমাঙ্কনের জন্য অতিরিক্ত প্রোব এবং ক্রমাঙ্কন স্ট্যান্ডার্ড (স্ট্যান্ডার্ড ফিল্ম পুরুত্বের শীট) প্রয়োজন।

২.৩ নিয়ন্ত্রণ এবং বৈদ্যুতিক সিস্টেমের খুচরা যন্ত্রাংশ

নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা তাপমাত্রা, চাপ এবং জমা হওয়ার হার এর মতো প্রক্রিয়া পরামিতিগুলি নিয়ন্ত্রণ করে:

• সেন্সর: চাপ সেন্সর, তাপমাত্রা সেন্সর এবং গ্যাস ফ্লো মিটার। সনাক্তকরণের নির্ভুলতা হ্রাস পেলে অতিরিক্ত সেন্সরগুলি সময়মতো প্রতিস্থাপন নিশ্চিত করে। সেন্সরগুলির ধুলো এবং অবশিষ্টাংশ অপসারণের জন্য নিয়মিত পরিষ্কার করা প্রয়োজন।

• বৈদ্যুতিক উপাদান: সার্কিট বোর্ড, পাওয়ার মডিউল এবং রিলে। এই অংশগুলি সরঞ্জামের স্বয়ংক্রিয় অপারেশন নিয়ন্ত্রণ করে; অতিরিক্ত সার্কিট বোর্ড এবং ফিউজ বৈদ্যুতিক ত্রুটির কারণে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ বন্ধ হওয়া রোধ করে।

• নিয়ন্ত্রণ সফ্টওয়্যার এবং ক্রমাঙ্কন সরঞ্জাম: ব্যাকআপ সফ্টওয়্যার কপি এবং প্যারামিটার ক্রমাঙ্কন সরঞ্জাম। নিয়মিত সফ্টওয়্যার আপডেট এবং সিস্টেম ক্রমাঙ্কন নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা বজায় রাখে।

৩. স্ট্যান্ডার্ড রক্ষণাবেক্ষণ পদ্ধতি

৩.১ দৈনিক রক্ষণাবেক্ষণ (উৎপাদন-পরবর্তী)

• ভ্যাকুয়াম চেম্বার পরিষ্কার করা: কোটিং সম্পন্ন হওয়ার ২ ঘণ্টার মধ্যে, বাষ্পীভবনের অবশিষ্টাংশ এবং স্প্যাটার করা কণাগুলি অপসারণ করতে আইসোপ্রোপাইল অ্যালকোহলে ডুবানো লিন্ট-মুক্ত কাপড় দিয়ে চেম্বারের ভিতরের দেয়াল এবং ওয়ার্কপিস হোল্ডার মুছুন। কঠিন জমাট বাঁধার জন্য, নির্ভুলভাবে পরিষ্কার করার আগে আলগা ধ্বংসাবশেষ উড়িয়ে দিতে উচ্চ-চাপের বাতাস ব্যবহার করুন।

• সেন্সর পরিদর্শন এবং পরিষ্কার করা: চাপ এবং তাপমাত্রা সেন্সর থেকে ধুলো অপসারণ করতে একটি নরম ব্রাশ ব্যবহার করুন, তারপর শুকনো লিন্ট-মুক্ত কাপড় দিয়ে মুছুন। ক্ষতিরোধের জন্য সেন্সর প্রোবের সাথে সরাসরি যোগাযোগ করা এড়িয়ে চলুন।

• বেসিক প্যারামিটার পরীক্ষা: ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি যাচাই করুন (কোটিং প্রস্তুতির জন্য ≤5×10⁻⁴Pa পৌঁছানো উচিত), গ্যাস প্রবাহের স্থিতিশীলতা এবং বিদ্যুত সরবরাহ ভোল্টেজ (৩৮০V থ্রি-ফেজ ৫০Hz বা ২২০V সিঙ্গেল-ফেজ ৫০Hz, যার ওঠানামার সীমা ৩৪২–৩৯৯V বা ১৯৮–২৩১V)।

৩.২ নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ (নির্ধারিত বিরতিতে)

• ২০০-ঘণ্টার রক্ষণাবেক্ষণ: যান্ত্রিক পাম্পের তেল পরিবর্তন করুন, পুরাতন তেল সম্পূর্ণরূপে নিষ্কাশন করুন এবং নির্দিষ্ট স্তরে নতুন তেল পুনরায় পূরণ করুন (তেল দেখার গ্লাস দিয়ে পরীক্ষা করা হয়)। তেল ফিল্টার পরিষ্কার করুন এবং পাইপলাইনে লিক পরীক্ষা করুন।

• ৫০০-ঘণ্টার রক্ষণাবেক্ষণ: পরিধানের জন্য স্প্যাটারিং টার্গেট এবং বাষ্পীভবন ক্রুসিবল পরিদর্শন করুন; প্রয়োজন অনুযায়ী টার্গেট-সাবস্ট্রেট ব্যবধান ৫০–১৫০মিমি তে সামঞ্জস্য করুন। ফিল্মের পুরুত্ব মনিটরের প্রোব পরিষ্কার করুন এবং এর অবস্থান যাচাই করুন (সাবস্ট্রেট থেকে ৫–১০সেমি)।

• ৫,০০০-ঘণ্টার রক্ষণাবেক্ষণ: টার্বোমলিকিউলার পাম্প বিয়ারিংগুলিতে বিশেষ গ্রীস ইনজেক্ট করুন; ঘূর্ণন প্রতিরোধ প্রাথমিক মানের ২০% এর বেশি হলে বিয়ারিংগুলি প্রতিস্থাপন করুন। গ্যাসোলিন এবং ওয়াশিং পাউডার দ্রবণ দিয়ে ডিফিউশন পাম্পের গহ্বর পরিষ্কার করুন, তারপর নতুন ডিফিউশন পাম্পের তেল পুনরায় পূরণ করুন।

• ত্রৈমাসিক রক্ষণাবেক্ষণ: ফিল্মের পুরুত্বের বিচ্যুতি ≤±৫% নিশ্চিত করতে স্ট্যান্ডার্ড ফিল্ম পুরুত্বের শীট দিয়ে ক্রিস্টাল মনিটর ক্রমাঙ্কন করুন। আলগা হওয়ার জন্য বৈদ্যুতিক সংযোগগুলি পরিদর্শন করুন এবং শুকনো সংকুচিত বাতাস দিয়ে নিয়ন্ত্রণ ক্যাবিনেট পরিষ্কার করুন।

• বার্ষিক রক্ষণাবেক্ষণ: ৫০টি কোটিং চক্রের পরে পৃষ্ঠের কার্যকলাপ পুনরুদ্ধার করতে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে আর্গন আয়ন এচিং করুন (পক্ষপাত ভোল্টেজ -১৫০০V, সময়কাল ৩০ মিনিট)। হিলিয়াম মাস স্পেকট্রোমিটার লিক ডিটেক্টর ব্যবহার করে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে ঢালাই ত্রুটি বা ছিদ্র পরীক্ষা করুন।

৩.৩ খুচরা যন্ত্রাংশ প্রতিস্থাপনের নির্দেশিকা

• সিলিং উপাদান: ফাটল, বার্ধক্য বা বিকৃতি সনাক্ত করা গেলে অবিলম্বে ও-রিং এবং গ্যাসকেটগুলি প্রতিস্থাপন করুন। বায়ু লিক এড়াতে সঠিক ইনস্টলেশন নিশ্চিত করুন।

• পাম্প উপাদান: যান্ত্রিক পাম্পের তেল পরিবর্তন করার সময়, অবশিষ্ট দূষক অপসারণ করতে পাম্পের গহ্বর পরিষ্কার করুন। টার্বোমলিকিউলার পাম্প বিয়ারিং প্রতিস্থাপনের জন্য, প্রস্তুতকারকের প্রস্তাবিত যন্ত্রাংশ ব্যবহার করুন এবং টর্ক স্পেসিফিকেশন অনুসরণ করুন।

• হিটিং উপাদান: ভাঙা হিটিং তারগুলি অবিলম্বে প্রতিস্থাপন করুন; সঠিক তাপমাত্রা পরিমাপের জন্য থার্মোকাপলগুলিকে সাবস্ট্রেট কেন্দ্রে পুনরায় স্থাপন করুন।

৪. সাধারণ ত্রুটি এবং সমস্যা সমাধান

৪.১ ভ্যাকুয়াম ডিগ্রির অস্বাভাবিকতা

• লক্ষণ: সেট ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জন করতে ব্যর্থতা বা অপারেশনের সময় হঠাৎ চাপ কমে যাওয়া।

• কারণ: বয়স্ক সিল, আলগা পাইপ সংযোগ, পাম্প তেলের দূষণ বা ডিফিউশন পাম্পের অদক্ষতা।

• সমাধান:

ক. লিক সনাক্ত করতে এবং ক্ষতিগ্রস্ত সিলগুলি প্রতিস্থাপন করতে বা সংযোগগুলি শক্ত করতে একটি হিলিয়াম মাস স্পেকট্রোমিটার লিক ডিটেক্টর ব্যবহার করুন।

খ. দূষিত পাম্পের তেল পরিবর্তন করুন এবং তেল ফিল্টার পরিষ্কার করুন।

গ. ডিফিউশন পাম্পের জন্য, গহ্বরটি খুলে পরিষ্কার করুন, তারপর নতুন তেল পুনরায় পূরণ করুন; কুলিং জলের প্রবাহ ≥5L/min নিশ্চিত করুন।

৪.২ ফিল্মের গুণগত সমস্যা

• লক্ষণ: ফিল্মের খোসা ওঠা, অসম পুরুত্ব বা ছিদ্র।

• কারণ:

◦ খোসা ওঠা: সাবস্ট্রেট দূষণ, অপর্যাপ্ত প্রি-হিটিং বা অতিরিক্ত ফিল্মের চাপ।

◦ অসম পুরুত্ব: ভুলভাবে সারিবদ্ধ জমা উৎস, অস্থির ক্রুসিবল ঘূর্ণন বা সাবস্ট্রেট শিল্ডিং।

◦ ছিদ্র: ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট আর্দ্রতা/অক্সিজেন বা অশুদ্ধ কোটিং উপকরণ।

• সমাধান:

ক. সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করা শক্তিশালী করুন এবং আয়ন বোম্বার্ডমেন্ট প্রি-ট্রিটমেন্ট করুন (পক্ষপাত ভোল্টেজ -১৫০০V)।

খ. সাবস্ট্রেট কেন্দ্রের সাথে সারিবদ্ধ করতে জমা উৎসের অবস্থান সামঞ্জস্য করুন এবং সাবস্ট্রেটগুলি সুরক্ষিত করতে ফিক্সচার ব্যবহার করুন।

গ. ≤5×10⁻⁴Pa পর্যন্ত প্রি-ভ্যাকুয়াম পাম্পিংয়ের সময় বাড়ান এবং আর্দ্রতা অপসারণের জন্য কোটিং উপকরণগুলি প্রি-গলিত করুন।

৪.৩ বৈদ্যুতিক এবং নিয়ন্ত্রণ সিস্টেমের ব্যর্থতা

• লক্ষণ: প্রতিক্রিয়াশীল অপারেশন প্যানেল, প্যারামিটার প্রদর্শনের অস্বাভাবিকতা বা হিটিং সিস্টেমের ত্রুটি।

• কারণ: কন্ট্রোল বোর্ডের ধুলো জমা হওয়া, আলগা সেন্সর সংযোগ বা পিআইডি প্যারামিটারের ভুল কনফিগারেশন।

• সমাধান:

ক. শুষ্ক সংকুচিত বাতাস দিয়ে নিয়ন্ত্রণ ক্যাবিনেট পরিষ্কার করুন এবং তারের সংযোগগুলি পুনরায় পরীক্ষা করুন।

খ. তাপমাত্রা সেন্সরগুলি পুনরায় ক্যালিব্রেট করুন এবং স্থিতিশীল গরম করার জন্য পিআইডি প্যারামিটারগুলি সামঞ্জস্য করুন।

গ. প্রোগ্রাম ক্র্যাশ হলে সিস্টেম পুনরায় চালু করুন বা কন্ট্রোল সফ্টওয়্যার পুনরায় ইনস্টল করুন।

৫. প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ এবং ব্যবস্থাপনা কৌশল

৫.১ স্ট্যান্ডার্ড রক্ষণাবেক্ষণ রেকর্ড স্থাপন করুন

সমস্ত রক্ষণাবেক্ষণ কার্যক্রম নথিভুক্ত করুন, যার মধ্যে খুচরা যন্ত্রাংশ প্রতিস্থাপনের তারিখ, প্যারামিটার সমন্বয় এবং ত্রুটি হ্যান্ডলিং প্রক্রিয়া অন্তর্ভুক্ত। একটি সম্পূর্ণ সরঞ্জাম স্বাস্থ্য তৈরি করতে কোটিং চক্র, ভ্যাকুয়াম কার্ভ ডেটা এবং ফিল্মের পুরুত্বের পরিমাপের মতো মূল সূচকগুলি ট্র্যাক করুন 档案 .

৫.২ নিয়মিত কর্মক্ষমতা নিরীক্ষণ প্রয়োগ করুন

সিপিকে বিশ্লেষণের মাধ্যমে মূল কোটিং সূচকগুলি (আঠালোতা, কঠোরতা) মূল্যায়ন করতে মাসিক প্রক্রিয়া বিশ্লেষণ সভা পরিচালনা করুন। সিপিকে মান ১.৩৩ এর নিচে নেমে গেলে প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজেশন শুরু করুন। ভ্যাকুয়াম কর্মক্ষমতা, বৈদ্যুতিক নিরাপত্তা এবং যান্ত্রিক পরিধান সহ ত্রৈমাসিক ব্যাপক সরঞ্জাম পরিদর্শন করুন।

৫.৩ খুচরা যন্ত্রাংশ ইনভেন্টরি ব্যবস্থাপনা

সরঞ্জামের ব্যবহারের ফ্রিকোয়েন্সি এবং প্রস্তুতকারকের সুপারিশের ভিত্তিতে মূল খুচরা যন্ত্রাংশ (সিল, পাম্প তেল, হিটিং তার, সেন্সর) এর একটি যুক্তিসঙ্গত তালিকা বজায় রাখুন। দূষণ এড়াতে শুকনো, ধুলো-মুক্ত পরিবেশে খুচরা যন্ত্রাংশ সংরক্ষণ করুন।

৫.৪ রক্ষণাবেক্ষণ কর্মীদের প্রশিক্ষণ দিন

অপারেটর এবং রক্ষণাবেক্ষণ কর্মীরা সরঞ্জামের কার্যকারী নীতি, রক্ষণাবেক্ষণ পদ্ধতি এবং নিরাপত্তা প্রোটোকলের সাথে পরিচিত তা নিশ্চিত করুন। সমস্যা সমাধানের দক্ষতা এবং সরঞ্জামগুলির সঠিক ব্যবহার (যেমন, হিলিয়াম মাস স্পেকট্রোমিটার লিক ডিটেক্টর) সম্পর্কে প্রশিক্ষণ প্রদান করুন।

৬. নিরাপত্তা সতর্কতা

• রক্ষণাবেক্ষণের আগে, সরঞ্জাম বন্ধ করুন, বিদ্যুৎ সংযোগ বিচ্ছিন্ন করুন এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি ঘরের তাপমাত্রায় ঠান্ডা হওয়ার জন্য অপেক্ষা করুন। চাপ শক এড়াতে নাইট্রোজেন ব্যবহার করে ধীরে ধীরে ভ্যাকুয়াম চাপ ছাড়ুন।

• ত্বক এবং চোখের জ্বালা প্রতিরোধ করতে আইসোপ্রোপাইল অ্যালকোহল, কস্টিক সোডা দ্রবণ বা পাম্প তেলের মতো রাসায়নিক পদার্থ পরিচালনা করার সময় প্রতিরক্ষামূলক গিয়ার (গ্লাভস, গগলস) ব্যবহার করুন।

• শর্ট সার্কিট এড়াতে বৈদ্যুতিক উপাদানগুলির পরিষেবা করার আগে ব্যাটারি কেবলগুলি সংযোগ বিচ্ছিন্ন করুন। সামঞ্জস্যতা এবং নিরাপত্তা নিশ্চিত করতে খুচরা যন্ত্রাংশ প্রতিস্থাপনের জন্য প্রস্তুতকারকের নির্দেশিকা অনুসরণ করুন।