2025-12-30
آلات طلاء الفراغ هي معدات دقة حاسمة تستخدم على نطاق واسع في مجالات التكنولوجيا العالية مثل الإلكترونيات الصغيرة والبصريات والطاقة الشمسية والتصنيع الزخرفي.استقرار أدائهم يحدد مباشرة نوعية الطلاء، وكفاءة الإنتاج، وتكاليف التشغيل. هذا الدليل يقدم تفاصيل منهجية عن تصنيف قطع الغيار الرئيسية، وإجراءات الصيانة، وأساليب تسوية الأخطاء، والاستراتيجيات الوقائية،تهدف إلى مساعدة المشغلين وموظفي الصيانة على تحقيق إدارة معايرة للمعدات، تمديد عمر الخدمة، وضمان جودة الإنتاج المتسقة. الصيانة السليمة لا تمنع الفشل المفاجئ فحسب، بل تحافظ أيضًا على حالة تشغيل المعدات المثلى،تقليل استهلاك الطاقة وتحسين الإنتاجية العامة .
نظام الفراغ هو جوهر معدات الطلاء ، مسؤول عن إنشاء والحفاظ على بيئة الفراغ العالي المطلوبة لتراكم الفيلم. تشمل قطع الغيار الحيوية:
•مضخات الفراغ ومكوناتها: المضخات الميكانيكية (ضخات الشفرات الدوارة، مضخات الصمامات المنزلية) والضخات التوربوموليكولية ضرورية.والغلافات الختاميةيحتاج زيت المضخة الميكانيكية إلى استبدال منتظم لضمان كفاءة الضخ ، في حين أن محامل المضخة التوربوموليكولية تتطلب زيتًا متخصصًا للتشحيم.
•عناصر الختم: أغطية غرفة الفراغ (أحلقات O، أغطية غطاء) مصنوعة من مواد عالية درجة الحرارة ومقاومة للتآكل (على سبيل المثال، المطاط الفلور) منع تسرب الهواء.هذه هي قطع الغيار المستهلكة التي تحتاج إلى استبدالها كل 6 12 شهرا .
•الصمامات والأنابيب: صمامات البوابة ، صمامات الزاوية ، وأنابيب الفراغ. تتضمن قطع الغيار نواة الصمامات ومقاعد الصمامات وموصلات الأنابيب. الصمامات تتحكم في ضغط غرفة الفراغ وتدفق الغاز ،تتطلب فحصا منتظما للاحتمال من التآكل والتسرب.
هذا النظام هو المسؤول عن تبخر المواد، والبوسطة، وتحويل الفيلم، مع قطع الغيار الرئيسية بما في ذلك:
•مصادر الودائع: مخابئ التبخر (التونغستن أو التنتالوم أو المواد السيرامية) وأهداف التنقيط (الأهداف المعدنية أو أشباه الموصلات أو العازلة) ، تخضع المخابئ للتشوه بعد استخدامها في درجات حرارة عالية ،بينما الأهداف تحتاج إلى استبدال عندما تنخفض سمكها تحت الحد الأدنى للحد العامل.
•مكونات التدفئة: سخانات الأساسات، أسلاك التدفئة، والشوائب الحرارية. أسلاك التدفئة عرضة للاكسدة والكسر،في حين أن المزدوج الحراري يتطلب معايرة سنوية لضمان دقة قياس درجة الحرارة..
•أجزاء مراقبة سمك الصورة: أجهزة مراقبة الكريستال (مذبذبات الكوارتز) والمسبارات. هذه المكونات تحكم دقة سمك الفيلم.المراقبات الاحتياطية ومعايير المعايير (أوراق سمك الفيلم القياسية) ضرورية للتعديل الفصلي.
نظام التحكم ينظم معايير العملية مثل درجة الحرارة والضغط ومعدل الرسوب:
•أجهزة استشعار: أجهزة استشعار الضغط وأجهزة استشعار درجة الحرارة ومقاييس تدفق الغاز. توفر أجهزة استشعار احتياطية استبدالها في الوقت المناسب عندما تنخفض دقة الكشف. تتطلب أجهزة الاستشعار تنظيفًا منتظمًا لإزالة الغبار والبقايا.
•المكونات الكهربائية: ألواح الدوائر ووحدات الطاقة ومركبات الإرسال. هذه الأجزاء تتحكم في التشغيل الآلي للمعدات؛ ألواح الدوائر الاحتياطية وآمانات الحماية تمنع فترات التوقف الطويلة بسبب الإخفاقات الكهربائية.
•برنامج التحكم وأدوات المعايرة: نسخ احتياطية من البرامج وأدوات معايرة المعايير. تحديثات البرمجيات المنتظمة ومعايرة النظام تحافظ على دقة التحكم.
•تنظيف غرفة الفراغ: في غضون ساعتين من الانتهاء من الطلاء، امسح الجدار الداخلي للغرفة ومحمل القطعة مع قطعة قماش خالية من القشرة غارقة في الكحول الإيزوبروبيل لإزالة مخلفات التبخر والجسيمات المزروعة.بالنسبة للإيداعات العنيدةاستخدموا هواء عالي الضغط لتنفخ الحطام قبل التنظيف الدقيق
•تفتيش و تنظيف أجهزة الاستشعار: استخدم فرشاة ناعمة لإزالة الغبار من أجهزة استشعار الضغط ودرجة الحرارة، ثم امسحها بقطعة قماش جافة خالية من القش. تجنب الاتصال المباشر مع أجهزة الاستشعار لمنع التلف.
•فحص المعلمات الأساسية: التحقق من درجة الفراغ (يجب أن تصل إلى ≤5×10−4Pa لإعداد الطلاء) ، واستقرار تدفق الغاز، وجهد إمدادات الطاقة (380V ثلاثي المراحل 50Hz أو 220V أحادي المراحل 50Hz،مع نطاقات التقلبات من 342V399V أو 198V231V) .
•صيانة 200 ساعة: استبدال زيت المضخة الميكانيكية، تصريف الزيت القديم تماما، وإعادة ملء الزيت الجديد إلى المستوى المحدد (تفقد من خلال زجاج رؤية الزيت). نظف مرشح الزيت وفحص لتسريبات الأنابيب.
•صيانة 500 ساعة: فحص أهداف التبخير والخلاطات للتبخر من أجل التآكل، وتعديل المسافة بين الهدف والغرض إلى 50-150 ملم إذا لزم الأمر.نظف مسبار مراقبة سمك الفيلم وتحقق من موقعه (بعد 5-10 سم من الركيزة) .
•5صيانة 1000 ساعة: حقن الدهون المتخصصة في محامل المضخة التوربوموليكولية؛ استبدال المحامل إذا تجاوزت مقاومة الدوران 20٪ من القيمة الأولية.تنظيف تجويف مضخة الانتشار بمحلول البنزين وغسول الغسيل، ثم إعادة ملء مع زيت مضخة الانتشار الجديدة.
•الصيانة الفصلية: يجب معايرة الشاشة الكريستالية بأوراق سمك فيلم قياسي لضمان انحراف سمك الفيلم ≤±5%.فحص الاتصالات الكهربائية لتفريغها وتنظيف خزانة التحكم بالهواء المضغوط الجاف.
•الرعاية السنوية: إجراء حفر أيونات الأرجون على غرفة الفراغ (جهد التحيز -1500 فولت ، مدة 30 دقيقة) لاستعادة نشاط السطح بعد 50 دورة طلاء.تحقق من غرفة الفراغ عن عيوب اللحام أو ثقوب الدبابيس باستخدام جهاز الكشف عن تسرب طيف الكتلة الهيليوم.
•عناصر الختم: قم باستبدال حلقات O والغلافات على الفور إذا تم اكتشاف الشقوق أو الشيخوخة أو التشوه. تأكد من التثبيت الصحيح لتجنب تسرب الهواء.
•مكونات المضخة: عند استبدال زيت المضخة الميكانيكية، تنظيف تجويف المضخة لإزالة الملوثات المتبقية.استخدام الأجزاء الموصى بها من قبل الشركة المصنعة واتباع مواصفات عزم الدوران .
•عناصر التدفئة: استبدال أسلاك التسخين المكسورة على الفور ، إعادة وضع المزدوج الحراري إلى مركز الروك لأجل قياس دقيق للحرارة.
•الأعراض: عدم الوصول إلى مستوى الفراغ المحدد أو انخفاض الضغط المفاجئ أثناء التشغيل.
•الأسباب: الصمامات القديمة، اتصالات الأنابيب المفتوحة، تلوث زيت المضخة، أو عدم كفاءة مضخة الانتشار.
•الحلول:
أ.استخدم جهاز الكشف عن التسرب من طيف الكتلة الهيليوم لتحديد موقع التسرب واستبدال الأختام المتضررة أو تشديد الاتصالات.
ب.قم باستبدال زيت المضخة الملوث وتنظيف فلتر الزيت.
ج.بالنسبة لمضخات الانتشار، قم بتفكيك التجويف وتنظيفه، ثم إعادة ملؤه بزيت جديد؛ تأكد من تدفق مياه التبريد ≥ 5 لتر/دقيقة.
•الأعراض: قشرة الفيلم ، عدم مساواة السماكة ، أو ثقوب الدبابيس.
•الأسباب:
◦التقشير: تلوث الأساس ، عدم كفاية التسخين المسبق ، أو الإجهاد المفرط للفيلم.
◦السماكة غير المتساوية: مصدر ترسب غير متوازن، دوران الهيكل غير مستقر، أو حماية الركيزة.
◦الثقوب: الرطوبة/الأكسجين المتبقية في غرفة الفراغ أو مواد الطلاء غير النظيفة.
•الحلول:
أ.تعزيز تنظيف الركيزة وإجراء معالجة مسبقة بقصف الأيونات (جهد التحيز -1500 فولت).
ب.عدل موقع مصدر الترسبات ليتوافق مع مركز القاع واستخدم الأجهزة لتأمين القاع
ج.تمديد وقت الضخ قبل الفراغ إلى ≤5 × 10−4Pa ومواد الطلاء قبل الذوبان لإزالة الرطوبة.
•الأعراض: لوحة التشغيل غير تستجيب، أو تشغيل غير طبيعي لمعلمات العرض، أو عطل في نظام التدفئة.
•الأسباب: تراكم الغبار في لوحة التحكم، اتصالات مستشعرات فضفاضة، أو تشكيل خاطئ لمعلمات PID.
•الحلول:
أ.نظف خزانة التحكم بالهواء المضغوط الجاف وإعادة فحص اتصالات الأسلاك
ب.إعادة معايرة أجهزة استشعار درجة الحرارة وتعديل معايير PID للحرارة المستقرة.
ج.إعادة تشغيل النظام أو إعادة تثبيت برنامج التحكم إذا حدثت فشل البرنامج
توثيق جميع أنشطة الصيانة، بما في ذلك تواريخ استبدال قطع الغيار، وتعديلات المعلمات، وعمليات معالجة الأخطاء. تتبع المؤشرات الرئيسية مثل دورات الطلاء، بيانات منحنى الفراغ،وقياسات سمك الفيلم لتشكيل صحة كاملة للمعدات档案.
إجراء اجتماعات تحليل العملية الشهرية لتقييم مؤشرات الطلاء الرئيسية (التماسك ، الصلابة) باستخدام تحليل CPK. بدء تحسين العملية إذا انخفضت قيم CPK إلى أقل من 1.33.إجراء عمليات تفتيش شاملة على المعدات كل ثلاثة أشهر تغطي أداء الفراغ، والسلامة الكهربائية، والارتداء الميكانيكي.
الحفاظ على قائمة معقولة من قطع الغيار الحيوية (الختم ، زيت المضخة ، أسلاك التدفئة ، أجهزة الاستشعار) بناءً على تواتر استخدام المعدات وتوصيات الشركة المصنعة.بيئات خالية من الغبار لتجنب التلوث.
ضمان معرفة المشغلين وموظفي الصيانة بمبادئ عمل المعدات وإجراءات الصيانة وبروتوكولات السلامة.توفير التدريب على مهارات استكشاف الأخطاء واستخدام الأدوات بشكل صحيحأجهزة الكشف عن التسرب (مثل أجهزة الكشف عن التسرب من طيف الكتلة الهيليوم)
•قبل الصيانة ، اغلق المعدات ، وقطع التيار الكهربائي ، وانتظر حتى تبرد غرفة الفراغ إلى درجة حرارة الغرفة. إطلاق ضغط الفراغ تدريجيا باستخدام النيتروجين لتجنب صدمات الضغط.
•استخدم معدات حماية (القفازات والنظارات) عند التعامل مع المواد الكيميائية مثل الكحول الإيزوبروبيل، أو محلولات الصودا الخام، أو زيت المضخة لمنع تهيج الجلد والعين.
•قم بفصل كابلات البطارية قبل خدمة المكونات الكهربائية لتجنب الدوائر القصيرة. اتبع إرشادات الشركة المصنعة لاستبدال قطع الغيار لضمان التوافق والسلامة.
اتصل بنا في أي وقت
