Vakum kaplama makinesi yedek parçaları ve bakım kılavuzu

1. Giriş

Vakum kaplama makineleri, mikroelektronik, optik, güneş enerjisi ve dekoratif imalat gibi yüksek teknoloji alanlarında yaygın olarak kullanılan kritik hassas ekipmanlardır.Performans stabilliği doğrudan kaplama kalitesini belirlerBu kılavuz, temel yedek parçaların sınıflandırılması, bakım prosedürleri, sorun giderme yöntemleri ve önleyici stratejiler hakkında sistematik olarak ayrıntılar verir.Operatörlere ve bakım personeline ekipman yönetiminin standartlaştırılmasına yardımcı olmak amacıylaDüzgün bakım sadece ani arızaları önlemekle kalmaz aynı zamanda ekipmanın optimal çalışma durumunu da korur.Enerji tüketimini azaltmak ve genel üretkenliği artırmak .

2Temel yedek parçaların sınıflandırılması ve işlevleri

2.1 Vakum sistemi yedek parçaları

Vakum sistemi, film çökmesi için gerekli yüksek vakum ortamını oluşturmak ve sürdürmekten sorumlu kaplama ekipmanlarının çekirdeğidir.

•Vakum pompaları ve bileşenleri: Mekanik pompalar (rotary vane pompaları, kaydırma valf pompaları) ve turbomoleküler pompalar gereklidir.ve mühürleme dikişleriMekanik pompa yağının pompalama verimliliğini sağlamak için düzenli olarak değiştirilmesi gerekirken, turbomoleküler pompa rulmanları yağlama için özel yağ gerektirir.

•Sızdırma Elemanları: Yüksek sıcaklığa ve korozyona dayanıklı malzemelerden (örneğin, fluor kauçuk) yapılan vakum oda mühürleri (O halkaları, dikiş mühürleri) hava sızıntısını önler.Bunlar her 6-12 ayda bir değiştirilmesi gereken tüketilebilir parçalar..

•Valfler ve borular: Kapı valfleri, açı valfleri ve vakum boru hatları. yedek parçalar, valf çekirdekleri, valf koltukları ve boru bağlantıları içerir. Valfler vakum odası basıncını ve gaz akışını kontrol eder,Kullanım ve sızıntı için düzenli denetim gerektiren .

2.2 Kaplama sistemi yedek parçaları

Bu sistem, malzeme buharlaşmasından, püskürtmesinden ve film çöküşünden sorumludur ve şunları içeren önemli yedek parçaları içerir:

•Depolama Kaynakları: Buharlama havuzları (tungsten, tantalum veya seramik malzemeler) ve püskürtme hedefleri (metal, yarı iletken veya yalıtım hedefleri).Hedeflerin kalınlığı minimum çalışma sınırının altına düştüğünde değiştirilmesi gerekir..

•Isıtma bileşenleri: Substrat ısıtıcıları, ısıtıcı kablolar ve termokopüler. ısıtıcı kablolar oksidasyona ve kırılmaya karşı savunmasızdır.Termokopiller ise sıcaklık ölçümünün doğruluğunu sağlamak için yıllık kalibrasyona ihtiyaç duyarlar..

•Film kalınlığını izleyen parçalar: Kristal monitörler (kwarts osilatörleri) ve problar.Yedek problar ve kalibrasyon standartları (standart film kalınlığı levhaları) çeyreklik kalibrasyon için gereklidir..

2.3 Kontrol ve Elektrikli Sistem yedek parçaları

Kontrol sistemi, sıcaklık, basınç ve çökme hızı gibi süreç parametrelerini düzenler:

•Sensörler: Basınç sensörleri, sıcaklık sensörleri ve gaz akış ölçerleri. Algılama doğruluğu düştüğünde yedek sensörler zamanında değiştirilmesini sağlar. Sensörler toz ve kalıntıları çıkarmak için düzenli temizlik gerektirir.

•Elektrikli bileşenler: devreler, güç modülleri ve röleler. Bu parçalar ekipmanların otomatik çalışmasını kontrol eder; yedek devreler ve sigortalar elektrik arızası nedeniyle uzun süreli durgunlukları önler.

•Kontrol Yazılımı ve Kalibrasyon Araçları: Yedek yazılım kopyaları ve parametreler kalibrasyon araçları. Düzenli yazılım güncellemeleri ve sistem kalibrasyonu kontrol hassasiyetini korur.

3Standart bakım prosedürleri

3.1 Günlük bakım (üretim sonrası)

•Vakum odası temizliği: Kaplama tamamlandıktan sonra 2 saat içinde, buharlaşma kalıntılarını ve püskürtülmüş parçacıkları çıkarmak için izopropil alkolüne batırılmış tüylü bezli bir kumaşla odanın iç duvarını ve iş parçacığı tutucusunu silin.Depozitolar için, yüksek basınçlı hava kullanın, hassas temizlikten önce gevşek enkazları üfleyin.

•Sensör Denetimi ve Temizleme: Basınç ve sıcaklık sensörlerinden toz çıkarmak için yumuşak bir fırça kullanın, sonra kirsiz kuru bir bezle silin.

•Temel Parametreler Kontrolü: Vakum derecesini (katlama hazırlanması için ≤5×10−4Pa'ya ulaşmalıdır), gaz akışının istikrarını ve güç kaynağı voltajını (380V üç fazlı 50Hz veya 220V tek fazlı 50Hz) kontrol edin.342~399V veya 198~231V dalgalanma aralıkları ile) .

3.2 Düzenli bakım (Planlı aralıklarla)

•200 Saatlik Bakım: Mekanik pompa yağını değiştirin, eski yağı tamamen boşaltın ve yeni yağı belirtilen seviyeye kadar doldurun (yağ gözlüğü ile kontrol edin). Yağ filtresini temizleyin ve boru hattı sızıntılarını kontrol edin.

•500 Saatlik Bakım: Sputtering hedeflerini ve buharlaştırma havuzlarını aşınma için kontrol edin; gerekirse hedef-substrat mesafesini 50-150 mm'ye ayarlayın.Film kalınlığı monitörü sondasını temizleyin ve konumunu doğrulayın (substrattan 5 ∼ 10 cm uzaklıkta) .

•5000 saatlik bakım: Turbomoleküler pompa rulmanlarına özel yağ enjekte edilir; dönme direnci başlangıç değerinin% 20'sini aşarsa rulmanlar değiştirilir.Difüzyon pompasının boşluğunu benzin ve çamaşır tozu çözeltisiyle temizleyin., sonra yeni difüzyon pompası yağıyla doldur.

•Üç aylık bakım: Filmin kalınlığı sapmasının ≤±5% olmasını sağlamak için kristal monitörü standart film kalınlığı levhalarıyla kalibre edin.Elektrik bağlantılarının gevşemesini kontrol edin ve kumsalı kuru basınçlı hava ile temizleyin..

•Yıllık Bakım: 50 kaplama döngüsünden sonra yüzey aktivitesini geri kazanmak için vakum odasında argon iyon kazımı yapılır (tarazlık voltajı -1500V, süresi 30 dakika).Helium kütle spektrometre sızıntı dedektörü kullanarak vakum odasında kaynak kusurları veya iğne delikleri kontrol edin..

3.3 Yedek parçaları değiştirme yönergeleri

•Sızdırma Elemanları: Çatlaklar, yaşlanma veya deformasyon tespit edilirse O halkaları ve dikişleri hemen değiştirin. Hava sızmasını önlemek için doğru montajı sağlayın.

•Pompa bileşenleri: Mekanik pompa yağını değiştirirken, kalıntı kirleticileri çıkarmak için pompa boşluğunu temizleyin.Üreticinin önerdiği parçaları kullanın ve tork özelliklerini takip edin .

•Isıtma elemanları: Kırık ısıtma tellerini derhal değiştirin; sıcaklığı doğru ölçmek için termokopleri substratın merkezine yerleştirin.

4. Genel Hatalar ve Sorun Çözümü

4.1 Vakum derecesi anormallikleri

•Belirtiler: İşleme sırasında ayarlanmış vakum seviyesine ulaşamamak veya ani basınç düşmesi.

•Sebepleri: Yaşlanan mühürler, gevşek boru bağlantıları, pompa yağı kirliliği veya difüzyon pompasının verimsizliği.

•Çözümler:

a.Sızıntıları bulmak ve hasarlı mühürleri değiştirmek veya bağlantıları sıkmak için bir helyum kütle spektrometre sızıntı dedektörü kullanın.

b.Kirlenmiş pompa yağını değiştirin ve yağ filtresini temizleyin.

c.Difüzyon pompaları için boşluğu söküp temizleyin, sonra yeni yağla doldurun; soğutma suyu akışının ≥5L/min olmasını sağlayın.

4.2 Film kalitesi sorunları

•Belirtiler: Film soyulması, eşit olmayan kalınlık veya iğne delikleri.

•Sebepleri:

◦Peeling: Substrat kirliliği, yetersiz ön ısıtma veya aşırı film gerginliği.

◦Düzgün olmayan kalınlık: Yanlış hizalama kaynağı, dengesiz havuz dönüşü veya alt katman koruması.

◦Pinholes: Vakum odasında kalan nem/oksijen veya kirli kaplama malzemeleri.

•Çözümler:

a.Substrat temizliğini güçlendirmek ve iyon bombardımanı ön işlemini gerçekleştirmek (tarazlık voltajı -1500V).

b.Depozisyon kaynağının konumunu substrat merkeziyle hizalayın ve substratları sabitlemek için armatürler kullanın.

c.Sıvıyı gidermek için vakum öncesi pompalama süresini ≤5×10−4Pa'ya ve erimiş ön kaplama malzemelerini uzatın.

4.3 Elektrik ve kontrol sistemlerinde arızalar

•Belirtiler: Yanıt vermeyen işletim paneli, parametreler görüntüleme anormallikleri veya ısıtma sistemi arızası.

•Sebepleri: Kontrol panosu toz birikimi, gevşek sensör bağlantıları veya PID parametre yanlış yapılandırması.

•Çözümler:

a.Kontrol dolabını kuru basınçlı hava ile temizle ve kablo bağlantılarını tekrar kontrol et.

b.Sıcaklık sensörlerini yeniden kalibre edin ve sabit ısıtma için PID parametrelerini ayarlayın.

c.Sistem yeniden başlatılır ya da program çöktüğünde kontrol yazılımı yeniden yüklenir.

5Önleyici bakım ve yönetim stratejileri

5.1 Standart bakım kayıtları oluşturmak

Tüm bakım faaliyetlerini, yedek parçaların değiştirilmesi tarihleri, parametreler ayarlamaları ve hata işleme süreçleri dahil olmak üzere belgeleyin. Kaplama döngüleri, vakum eğri verileri gibi önemli göstergeleri takip edin.ve film kalınlığı ölçümleri tam bir ekipman sağlığı oluşturmak içinDosyaları.

5.2 Düzenli Performans Denetimleri Yapın

CPK analizi kullanarak önemli kaplama göstergelerini (yapışkanlık, sertlik) değerlendirmek için aylık süreç analizi toplantıları gerçekleştirin. CPK değerleri 1.33'ün altına düşerse süreç optimizasyonuna başlayın.Vakum performansını kapsayan her üç aylık kapsamlı ekipman denetimleri yapın., elektrik güvenliği ve mekanik aşınma.

5.3 yedek parça stok yönetimi

Ekipmanın kullanım sıklığına ve üreticinin önerilerine dayanarak kritik yedek parçaların (dükkanlar, pompa yağı, ısıtma kabloları, sensörler) makul bir envanterini tutun.kirliliği önlemek için tozsuz ortamlar .

5.4 Tren Bakım Personeli

Operatörlerin ve bakım personelinin ekipman çalışma ilkelerini, bakım prosedürlerini ve güvenlik protokollerini bildiklerini sağlamak.Sorun giderme becerileri ve araçların uygun kullanımı konusunda eğitim sağlamak (e)Helium kütle spektrometre sızıntı dedektörleri)

6. Güvenlik önlemleri

•Bakımdan önce, ekipmanları kapatın, gücü kesin ve vakum odasının oda sıcaklığına soğumasını bekleyin. Basınç şoklarından kaçınmak için azot kullanarak vakum basıncını yavaş yavaş serbest bırakın.

•Cilt ve göz tahrişini önlemek için izopropil alkol, koztik soda çözeltisi veya pompa yağı gibi kimyasalları kullanırken koruyucu ekipman (eldiven, gözlük) kullanın.

•Elektrikli bileşenleri servis etmeden önce pil kablolarını kesin, kısa devreye girmekten kaçının.