Запчасти и руководство по техническому обслуживанию вакуумных покрытий

1Введение.

Машины для вакуумного покрытия являются критически точным оборудованием, широко используемым в высокотехнологичных областях, таких как микроэлектроника, оптика, солнечная энергия и декоративное производство.Их стабильность напрямую определяет качество покрытия, эффективности производства и эксплуатационных затрат.Это руководство систематически разрабатывает классификацию ключевых запасных частей, процедуры технического обслуживания, методы устранения неполадок и превентивные стратегии,целью которого является помощь операторам и техническому персоналу в достижении стандартизированного управления оборудованиемПравильное техническое обслуживание не только предотвращает внезапные сбои, но и поддерживает оптимальное рабочее состояние оборудования.сокращение энергопотребления и повышение общей производительности .

2Ключевые запасные части Классификация и функции

2.1 Запчасти для вакуумных систем

Вакуумная система является ядром оборудования для покрытия, отвечающего за создание и поддержание среды с высоким вакуумом, необходимой для отложения пленки.

•Вакуумные насосы и их компоненты: Необходимы механические насосы (ротационные насосы, насосы с клапанами) и турбомолекулярные насосы.и уплотнительных прокладокМеханическое масло насоса требует регулярной замены для обеспечения эффективности насоса, в то время как турбомолекулярные подшипники насоса требуют специальной смазки для смазки.

•Элементы уплотнения: Утеплители вакуумной камеры (о-кольца, уплотнители уплотнителей) из высокотемпературных и коррозионно-устойчивых материалов (например, флуорокаут) предотвращают утечку воздуха.Это расходные части, которые нужно заменять каждые 6-12 месяцев..

•Клапки и трубы: клапаны, угловые клапаны и вакуумные трубопроводы; запасные части включают ядра клапанов, сиденья клапанов и соединители труб.требует регулярного осмотра на предмет износа и утечки .

2.2 Запчасти для системы покрытия

Эта система отвечает за испарение материала, распыливание и отложение пленки, с ключевыми запасными частями, включая:

•Источники отложения: Изпаряющие тигли (тунфрамовые, танталовые или керамические материалы) и цели для распыливания (металлические, полупроводниковые или изоляторные цели).В то время как цели нуждаются в замене, когда их толщина уменьшается ниже минимального рабочего предела..

•Компоненты отопления: нагреватели субстратов, нагревательные провода и термопары.В то время как термопары требуют ежегодной калибровки для обеспечения точности измерения температуры..

•Части для контроля толщины пленки: кристаллические мониторы (кварцевые осцилляторы) и зонды; эти компоненты контролируют точность толщины пленки;Для ежеквартальной калибровки необходимы запасные зонды и стандарты калибровки (стандартные листы толщины пленки)..

2.3 Запчасти системы управления и электрической системы

Система управления регулирует такие параметры процесса, как температура, давление и скорость осаждения:

•Датчики: датчики давления, датчики температуры и датчики потока газа. Запасные датчики обеспечивают своевременную замену при снижении точности обнаружения.

•Электрические компоненты: платы, модули питания и реле. Эти части контролируют автоматическую работу оборудования; резервные платы и предохранители предотвращают длительное простое из-за сбоев электричества.

•Программное обеспечение управления и инструменты калибровки: резервные копии программного обеспечения и инструменты калибровки параметров. Регулярные обновления программного обеспечения и калибровка системы поддерживают точность управления.

3Стандартные процедуры обслуживания

3.1 Ежедневное обслуживание (после производства)

•Очистка вакуумной камеры: В течение 2 часов после завершения покрытия внутреннюю стенку камеры и держатель заготовки вытирают безпрядиной тканью, погруженной в изопропиловый спирт, чтобы удалить остатки испарения и частицы, распыляемые.Для твердых депозитовИспользуйте воздух под высоким давлением, чтобы выдувать свободный мусор перед точной чисткой.

•Проверка и очистка датчиков: Используйте мягкую щетку, чтобы удалить пыль из датчиков давления и температуры, а затем вытереть сухой тканью без перьев. Избегайте прямого контакта с датчиками, чтобы избежать повреждения.

•Проверка основных параметров: проверяется степень вакуума (для приготовления покрытия должна достигать ≤5×10−4Pa), стабильность потока газа и напряжение питания (380V трехфазные 50Hz или 220V однофазные 50Hz,с диапазоном флуктуаций 342~399 В или 198~231 В) .

3.2 Регулярное техническое обслуживание (плановые интервалы)

•200-часовое обслуживание: Заменить масло механического насоса, полностью слить старое масло и заполнить новым маслом до указанного уровня (проверяется через стекло для очистки масла). Очистить фильтр масла и проверить на наличие утечек в трубопроводе.

•500-часовое обслуживание: Проверьте цель для распыливания и отверстие для испарения на предмет износа; при необходимости регулируйте расстояние между целью и субстратом до 50-150 мм.Очистите зонд для контроля толщины пленки и проверьте его положение (5-10 см от подложки)..

•5000-часовое обслуживание: вводить специальный жир в турбомолекулярные подшипники насоса; заменять подшипники, если сопротивление вращения превышает 20% исходного значения.Очистить полость диффузионного насоса бензином и раствором моющего порошкаЗатем наполните новым маслом диффузионного насоса.

•Квартальное содержание: Калибровать кристаллический монитор стандартными листами толщины пленки, чтобы обеспечить отклонение толщины пленки ≤±5%.Проверьте электрические соединения на наличие развязок и очистите кабинет управления сухим сжатым воздухом..

•Ежегодное содержание: Проведите на вакуумной камере гравировку аргон-ионов (пристрастие напряжения -1500В, длительность 30 минут), чтобы восстановить активность поверхности после 50 циклов покрытия.Проверьте вакуумную камеру на наличие дефектов сварки или отверстий с помощью гелиевого спектрометра массовых утечек .

3.3 Руководство по замене запасных частей

•Элементы уплотнения: Немедленно заменяйте O-кольца и уплотнения, если обнаружены трещины, старение или деформация.

•Компоненты насосов: При замене механического масла для насоса очистить полость насоса для удаления остаточных загрязнений.Используйте рекомендуемые производителем детали и следуйте спецификациям крутящего момента .

•Обогревательные элементы: незамедлительно замените сломанные нагревательные провода; переместите термопары в центр подложки для точного измерения температуры.

4. Частые ошибки и устранение неполадок

4.1 Аномалии степени вакуума

•Симптомы: Недостижение установленного уровня вакуума или резкое падение давления во время работы.

•Причины: устаревшие уплотнения, неисправные соединения труб, загрязнение масла насоса или неэффективность диффузионного насоса.

•Решения:

a.Используйте детектор утечек гелийного масс-спектрометра для обнаружения утечек и замены поврежденных уплотнений или затягивания соединений.

b.Замените загрязненное масло насоса и очистите фильтр.

в.Для диффузионных насосов, разобрать и очистить полость, затем заполнить новым маслом; обеспечить поток охлаждающей воды ≥ 5 л/мин.

4.2 Вопросы качества пленки

•Симптомы: обесцвечивание пленки, неравномерная толщина или отверстия.

•Причины:

◦Очищение: загрязнение субстрата, недостаточное предварительное нагревание или чрезмерное напряжение пленки.

◦Неравномерная толщина: неправильно выровненный источник осаждения, нестабильное вращение тигеля или ограждение подложки.

◦Пинхолы: остаточная влага/кислород в вакуумной камере или нечистые материалы покрытия.

•Решения:

a.Усилить очистку подложки и провести предварительную обработку ионной бомбардировкой (беспорядочное напряжение -1500В).

b.Позицию источника осаждения выстраивайте с центром подложки и используйте фиксаторы для закрепления подложки.

в.Продлить время предвакуумного перекачки до ≤ 5×10−4Pa и предварительного плавления материалов покрытия для удаления влаги.

4.3 Неисправности электрической системы и системы управления

•Симптомы: не реагирующая панель управления, аномалии отображения параметров или неисправности системы отопления.

•Причины: накопление пыли на панели управления, ослабление соединений датчиков или неправильная конфигурация параметров PID.

•Решения:

a.Очистите кабинет управления сухим сжатым воздухом и проверьте соединения проводки.

b.Перекалибровать датчики температуры и регулировать параметры PID для стабильного нагрева.

в.Перезагрузить систему или переустановить программное обеспечение управления, если произойдет сбой программы.

5. Профилактические стратегии обслуживания и управления

5.1 Создать стандартизированные записи технического обслуживания

Документируйте все действия по техническому обслуживанию, включая даты замены запасных частей, корректировки параметров и процессы обработки неисправностей.и измерения толщины пленки для формирования полного состояния оборудования архив.

5.2 Регулярно проводить аудиты эффективности

Проводить ежемесячные совещания по анализу процессов для оценки ключевых показателей покрытия (прицепности, твердости) с использованием анализа CPK. Начать оптимизацию процесса, если значения CPK опускаются ниже 1,33.Проводить ежеквартальные всеобъемлющие инспекции оборудования, охватывающие вакуумные характеристики, электробезопасность и механическое износ.

5.3 Управление запасами запасных частей

Сохранять разумный запас критически важных запасных частей (печати, масло насоса, провода отопления, датчики) на основе частоты использования оборудования и рекомендаций производителя.без пыли для предотвращения загрязнения .

5.4 Персонал по обслуживанию поездов

Убедитесь, что операторы и персонал технического обслуживания знакомы с принципами работы оборудования, процедурами технического обслуживания и протоколами безопасности.Предоставлять обучение навыкам устранения неполадок и правильному использованию инструментов (e.г. детекторы утечек гелиевых масс-спектрометров).

6. Предупреждения по безопасности

•Перед обслуживанием выключите оборудование, отключите питание и подождите, пока вакуумная камера остынет до комнатной температуры.

•Используйте защитное снаряжение (рукавицы, очки) при обращении с химическими веществами, такими как изопропиловый спирт, растворы каустической соды или масло насоса, чтобы предотвратить раздражение кожи и глаз.

•Перед обслуживанием электрических компонентов отсоединяйте кабели батареи, чтобы избежать короткого замыкания. Следуйте инструкциям производителя по замене запасных частей, чтобы обеспечить совместимость и безопасность.