Pièces détachées et guide d'entretien de la machine de revêtement sous vide

1. Introduction

Les machines à revêtement sous vide sont des équipements de précision critiques largement utilisés dans des domaines de haute technologie tels que la microélectronique, l'optique, l'énergie solaire et la fabrication décorative.Leur stabilité de performance détermine directement la qualité du revêtementCe guide expose systématiquement la classification des pièces détachées clés, les procédures d'entretien, les méthodes de dépannage et les stratégies de prévention,visant à aider les opérateurs et le personnel de maintenance à réaliser une gestion standardisée des équipementsUne bonne maintenance empêche non seulement les pannes soudaines, mais maintient également l'état de fonctionnement optimal de l'équipement.réduire la consommation d'énergie et améliorer la productivité globale .

2. Classification et fonctions des pièces détachées clés

2.1 Pièces détachées de système sous vide

Le système de vide est le noyau de l'équipement de revêtement, responsable de la création et du maintien de l'environnement à haut vide requis pour le dépôt de film.

• les personnes âgéesPompes à vide et composants: Les pompes mécaniques (pompes à palettes rotatives, pompes à vannes à rampe) et les pompes turbomoleculaires sont essentielles.et joints d'étanchéitéL'huile de pompe mécanique a besoin d'un remplacement régulier pour assurer l'efficacité de la pompe, tandis que les roulements de pompe turbomoleculaires nécessitent une graisse spécialisée pour la lubrification.

• les personnes âgéesÉléments de scellement: Les joints d'étanchéité de la chambre à vide (anneaux O, joints de jointure) en matériaux résistants à la corrosion et à haute température (par exemple, en caoutchouc fluoré) empêchent les fuites d'air.Ce sont des pièces consommables qui doivent être remplacées tous les 6 à 12 mois..

• les personnes âgéesVentilateurs et tuyauxLes pièces détachées comprennent les noyaux de vanne, les sièges de vanne et les connecteurs de tuyauterie.nécessitant une inspection régulière en cas d'usure et de fuite .

2.2 Pièces détachées du système de revêtement

Ce système est responsable de l'évaporation du matériau, de la pulvérisation et du dépôt de film, avec des pièces de rechange clés, notamment:

• les personnes âgéesSources de dépôt: les creusets d'évaporation (matériaux de tungstène, de tantale ou de céramique) et les cibles de pulvérisation (cibles métalliques, semi-conducteurs ou isolants).Les cibles doivent être remplacées lorsque leur épaisseur est inférieure à la limite minimale de travail..

• les personnes âgéesComposants de chauffageLes câbles de chauffage sont vulnérables à l'oxydation et à la rupture.les thermocouples doivent être calibrés chaque année pour assurer la précision de la mesure de la température..

• les personnes âgéesPièces de surveillance de l'épaisseur du film: moniteurs à cristaux (oscillateurs à quartz) et sondes. Ces composants contrôlent la précision de l'épaisseur du film;des sondes de rechange et des normes d'étalonnage (feuilles d'épaisseur de film standard) sont nécessaires pour l'étalonnage trimestriel .

2.3 Pièces détachées de systèmes de commande et électriques

Le système de contrôle régule les paramètres du processus tels que la température, la pression et le taux de dépôt:

• les personnes âgéesCapteurs: capteurs de pression, capteurs de température et compteurs de débit de gaz. Les capteurs de rechange assurent un remplacement rapide lorsque la précision de détection diminue. Les capteurs nécessitent un nettoyage régulier pour éliminer la poussière et les résidus.

• les personnes âgéesComposants électriquesLes circuits imprimés, les modules d'alimentation et les relais contrôlent le fonctionnement automatisé de l'équipement; les circuits imprimés et les fusibles empêchent les temps d'arrêt prolongés dus à des pannes électriques.

• les personnes âgéesLogiciel de contrôle et outils d'étalonnage: copie de sauvegarde du logiciel et outils d'étalonnage des paramètres.

3. Procédures de maintenance standard

3.1 Maintenance quotidienne (après la production)

• les personnes âgéesNettoyage des chambres sous vide: Dans les 2 heures qui suivent la fin du revêtement, essuyer la paroi interne de la chambre et le support de la pièce avec un chiffon sans peluche trempé dans de l'alcool isopropylique pour éliminer les résidus d'évaporation et les particules pulvérisées.Pour les dépôts persistants, utiliser de l' air à haute pression pour souffler les débris avant le nettoyage de précision.

• les personnes âgéesInspection et nettoyage des capteurs: Utilisez une brosse douce pour éliminer la poussière des capteurs de pression et de température, puis essuyez-les avec un chiffon sec sans peluche.

• les personnes âgéesVérification des paramètres de base: Vérifier le degré de vide (pour la préparation du revêtement ≤ 5 × 10−4 Pa), la stabilité du débit de gaz et la tension d'alimentation (380V à trois phases à 50 Hz ou 220V à une seule phase à 50 Hz,avec une plage de fluctuation de 342 ‰ 399 V ou de 198 ‰ 231 V) .

3.2 Maintenance régulière (à intervalles réguliers)

• les personnes âgéesMaintenance de 200 heures: Remplacer l'huile de la pompe mécanique, vider complètement l'huile ancienne et remplir de l'huile neuve au niveau spécifié (vérifié à l'aide du miroir de vue d'huile).

• les personnes âgéesMaintenance de 500 heures: vérifier l'usure des cibles de pulvérisation et des creusets d'évaporation; ajuster l'espacement cible-substrate à 50-150 mm si nécessaire.Nettoyer la sonde de surveillance de l'épaisseur du film et vérifier sa position (5 ∼10 cm du substrat) .

• les personnes âgées5Maintenance de 1000 heures: Injecter une graisse spécialisée dans les roulements de la pompe turbomoleculaire; remplacer les roulements si la résistance de rotation dépasse 20% de la valeur initiale.Nettoyer la cavité de la pompe de diffusion avec une solution d'essence et de poudre à laver, puis remplissez avec de l' huile de pompe à diffusion neuve.

• les personnes âgéesMaintenance trimestrielle: Calibrer le moniteur en cristaux avec des feuilles d'épaisseur de film standard pour assurer un écart d'épaisseur de film ≤±5%.Vérifiez si les connexions électriques sont lâches et nettoyez l' armoire de commande avec de l' air comprimé sec..

• les personnes âgéesEntretien annuel: effectuer une gravure d'ions argon sur la chambre à vide (tension de biais -1500V, durée de 30 minutes) pour rétablir l'activité de la surface après 50 cycles de revêtement.Vérifiez la chambre sous vide pour détecter les défauts de soudage ou les trous d'épingle à l'aide d'un détecteur de fuite par spectromètre de masse à hélium .

3.3 Lignes directrices pour le remplacement des pièces détachées

• les personnes âgéesÉléments de scellement: Remplacez immédiatement les anneaux O et les joints si des fissures, un vieillissement ou une déformation sont détectés.

• les personnes âgéesComposants de pompes: Lors du remplacement de l'huile de pompe mécanique, nettoyer la cavité de la pompe pour éliminer les contaminants résiduels.utiliser les pièces recommandées par le fabricant et respecter les spécifications de couple .

• les personnes âgéesÉléments de chauffage: Remplacez rapidement les câbles de chauffage cassés; repositionnez les thermocouples au centre du substrat pour une mesure précise de la température.

4. Erreurs courantes et résolution de problèmes

4.1 Anomalies du degré de vide

• les personnes âgéesLes symptômesNe pas atteindre le niveau de vide réglé ou une chute soudaine de pression pendant le fonctionnement.

• les personnes âgéesLes causes: étanchéité vieillissante, connexions de tuyauterie lâches, contamination de l'huile de pompe ou inefficacité de la pompe à diffusion.

• les personnes âgéesLes solutions:

a. les produits de baseUtilisez un détecteur de fuite par spectromètre de masse d'hélium pour localiser les fuites et remplacer les joints endommagés ou resserrer les connexions.

b. Les produitsRemplacer l'huile de pompe contaminée et nettoyer le filtre à huile.

c.Pour les pompes à diffusion, démonter et nettoyer la cavité, puis remplir avec de l'huile neuve; assurer un débit d'eau de refroidissement ≥ 5 L/min.

4.2 Problèmes liés à la qualité du film

• les personnes âgéesLes symptômes: pellicule, épaisseur inégale ou trous d'épingle.

• les personnes âgéesLes causes:

◦Peeling: contamination du substrat, préchauffage insuffisant ou surcharge de film.

◦Épaisseur inégale: source de dépôt mal alignée, rotation instable du creuset ou blindage du substrat.

◦trous d'épingle: humidité/oxygène résiduel dans la chambre sous vide ou matériaux de revêtement impurs.

• les personnes âgéesLes solutions:

a. les produits de baseRenforcer le nettoyage du substrat et effectuer un prétraitement par bombardement ionique (tension de biais -1500V).

b. Les produitsAjustez la position de la source de dépôt pour l' aligner sur le centre du substrat et utilisez des fixations pour fixer les substrates.

c.Prolonger le temps de pompage pré-vacuum à ≤ 5 × 10−4 Pa et les matériaux de revêtement pré-fondus pour éliminer l'humidité.

4.3 Échec des systèmes électriques et de commande

• les personnes âgéesLes symptômes: panneau de commande qui ne répond pas, anomalies de l'affichage des paramètres ou dysfonctionnement du système de chauffage.

• les personnes âgéesLes causes: accumulation de poussière sur la carte de commande, connexions de capteurs lâches ou mauvaise configuration des paramètres PID.

• les personnes âgéesLes solutions:

a. les produits de baseNettoyez l'armoire de commande avec de l'air comprimé sec et vérifiez les connexions de câblage.

b. Les produitsRécalibrer les capteurs de température et régler les paramètres PID pour un chauffage stable.

c.Redémarrez le système ou réinstallez le logiciel de contrôle en cas de panne de programme.

5. Stratégies de maintenance et de gestion préventives

5.1 Établir des dossiers de maintenance normalisés

Documenter toutes les activités de maintenance, y compris les dates de remplacement des pièces détachées, les ajustements de paramètres et les processus de traitement des défauts.et des mesures d'épaisseur de film pour former un état complet de l'équipement archives.

5.2 Mettre en œuvre des audits réguliers des performances

Effectuer des réunions mensuelles d'analyse des processus pour évaluer les principaux indicateurs de revêtement (adhérence, dureté) à l'aide de l'analyse CPK. Initialement, l'optimisation des processus si les valeurs CPK tombent en dessous de 1,33.Effectuer des inspections trimestrielles complètes des équipements couvrant les performances sous vide, sécurité électrique et usure mécanique.

5.3 Gestion de l'inventaire des pièces détachées

Tenir un inventaire raisonnable des pièces de rechange essentielles (sérailles, huile de pompe, câbles de chauffage, capteurs) en fonction de la fréquence d'utilisation de l'équipement et des recommandations du fabricant.Environements exempts de poussière pour éviter la contamination .

5.4 Personnel de maintenance des trains

S'assurer que les opérateurs et le personnel de maintenance connaissent les principes de fonctionnement des équipements, les procédures de maintenance et les protocoles de sécurité.Fournir une formation sur les compétences de dépannage et l'utilisation correcte des outils (e).g., détecteurs de fuites par spectromètre de masse à hélium).

6Précautions de sécurité

• les personnes âgéesAvant l'entretien, éteignez l'équipement, coupez l'alimentation et attendez que la chambre à vide refroidisse à température ambiante.

• les personnes âgéesUtilisez des équipements de protection (gants, lunettes de protection) lorsque vous manipulez des produits chimiques tels que l'alcool isopropylique, des solutions de soude caustique ou de l'huile de pompe pour prévenir l'irritation de la peau et des yeux.

• les personnes âgéesDéconnectez les câbles de la batterie avant d'effectuer l'entretien des composants électriques afin d'éviter les courts-circuits.