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configuração Modelo |
Lion-700-ION |
Leão-1000-ION |
Leão-1300-ION |
Leão-1600-ION |
Leão-1800-ION |
Leão-2000-ION |
Leão-2200-ION |
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Tamanho da câmara ((MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Sistema de vácuo | Bomba de difusão/Bomba molecular + Bomba de raízes + Bomba rotativa de condução direta de duplo estágio + Bomba de retenção + Bomba criogénica (opcional) | ||||||
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Arco fonte de alimentação |
4 conjuntos | 8 conjuntos | 12 conjuntos | 16 conjuntos | 20 conjuntos | 24 conjuntos | 40 conjuntos |
| Fonte de arco | 4 conjuntos | 8 conjuntos | 12 conjuntos | 16 conjuntos | 20 conjuntos | 24 conjuntos | 40 conjuntos |
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Bias fonte de alimentação |
12 kW |
20 kW |
30 kW |
40 kW |
60 kW |
60 kW |
80 kW |
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Gás Sistema MFC |
Sistema de admissão de quatro vias |
Sistema de admissão de quatro vias | Sistema de admissão de quatro vias | Sistema de admissão de quatro vias | Sistema de admissão de quatro vias | Sistema de admissão de quatro vias | Sistema de admissão de quatro vias |
| Sistema de cozimento |
Até 350 °C |
Até 350 °C |
Até 350 °C |
Até 350 °C |
Até 350 °C |
Até 350 °C |
Até 350 °C |
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Sistema de controlo |
PLC |
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Último vácuo |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
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Potência total |
50 kW |
75 kW |
145 kW |
190 kW |
250 kW |
305 kW |
455 kW |
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Revestimento Tempo de ciclo |
Cerca de 15 a 50 minutos por ciclo (dependendo da camada de película de revestimento dos diferentes produtos de revestimento) |
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Tamanho do contentor de entrega |
1 conjunto 20GP |
1 conjunto 20GP |
1 conjunto 20GP |
1 conjunto 40HQ |
1 conjunto 40HQ |
1 conjunto 20FR 1 conjunto 40GP |
1 conjunto 20FR 2 conjuntos 40HQ |
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Tempo de instalação da máquina |
7 dias (1 engenheiro) |
7 dias (1 engenheiro) |
7 dias (1 engenheiro) |
10 dias (2 engenheiros) |
10 dias (2 engenheiros) |
15 dias (2 engenheiros) |
20 dias (2 engenheiros) |
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