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構成 モデル |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
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チャンバーサイズ(MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| 真空システム | 拡散ポンプ/分子ポンプ + ルーツポンプ + 二段直接駆動ロータリーポンプ + ホールディングポンプ + 極低温ポンプ(オプション) | ||||||
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アーク 電源 |
4セット | 8セット | 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット |
| アークソース | 4セット | 8セット | 12セット | 16セット | 20セット | 24セット | 40セット |
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バイアス 電源 |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
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ガス MFCシステム |
4方向吸気システム |
4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム | 4方向吸気システム |
| ベーキングシステム |
最大350℃ |
最大350℃ |
最大350℃ |
最大350℃ |
最大350℃ |
最大350℃ |
最大350℃ |
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制御システム |
PLC |
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究極真空 |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
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総電力 |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
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コーティング サイクル時間 |
1サイクルあたり約15〜50分(コーティング製品のコーティング膜層によって異なります) |
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配送コンテナサイズ |
1セット20GP |
1セット20GP |
1セット20GP |
1セット40HQ |
1セット40HQ |
1セット20FR 1セット40GP |
1セット20FR 2セット40HQ |
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機械設置時間 |
7日間 (1人のエンジニア) |
7日間 (1人のエンジニア) |
7日間 (1人のエンジニア) |
10日間 (2人のエンジニア) |
10日間 (2人のエンジニア) |
15日間 (2人のエンジニア) |
20日間 (2人のエンジニア) |
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