|
конфигурация Модель |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Лев-1300-ION |
Лев-1600-ION |
Лев-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
|
Размер камеры ((MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Вакуумная система | Диффузионный насос/Молекулярный насос + Корневой насос + Двухступенчатый прямой драйвер Ротационный насос + Хранительный насос + Криогенный насос ((необязательно) | ||||||
|
Арка питание |
4 комплекта | 8 комплектов | 12 комплектов | 16 комплектов | 20 комплектов | 24 комплекта | 40 комплектов |
| Источник дуги | 4 комплекта | 8 комплектов | 12 комплектов | 16 комплектов | 20 комплектов | 24 комплекта | 40 комплектов |
|
Противопоказания питание |
12 кВт |
20 кВт |
30 кВт |
40 кВт |
60 кВт |
60 кВт |
80 кВт |
|
Газ Система МФК |
4-сторонняя система ввода |
4-сторонняя система ввода | 4-сторонняя система ввода | 4-сторонняя система ввода | 4-сторонняя система ввода | 4-сторонняя система ввода | 4-сторонняя система ввода |
| Система выпечки |
До 350 °C |
До 350 °C |
До 350 °C |
До 350 °C |
До 350 °C |
До 350 °C |
До 350 °C |
|
Система управления |
ПЛК |
||||||
|
Высочайший вакуум |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
|
Общая мощность |
50 кВт |
75 кВт |
145 кВт |
190 кВт |
250 кВт |
305 кВт |
455 кВт |
|
Покрытие Время цикла |
Около 15 - 50 минут в один цикл (в зависимости от слоя пленки покрытия различных продуктов покрытия) |
||||||
|
Размер контейнера |
1 набор 20GP |
1 набор 20GP |
1 набор 20GP |
1 набор 40HQ |
1 набор 40HQ |
1 серия 20FR 1 набор 40GP |
1 серия 20FR 2 комплекта 40HQ |
|
Время установки |
7 дней (1 инженер) |
7 дней (1 инженер) |
7 дней (1 инженер) |
10 дней (2 инженера) |
10 дней (2 инженера) |
15 дней (2 инженера) |
20 дней (2 инженера) |
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время