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configuration Modèle |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
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Taille de la chambre (MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Système de vide | Pompe à diffusion/Pompe moléculaire + Pompe Roots + Pompe rotative à entraînement direct à deux étages + Pompe de maintien + Pompe cryogénique (en option) | ||||||
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Arc alimentation électrique |
4 ensembles | 8 ensembles | 12 ensembles | 16 ensembles | 20 ensembles | 24 ensembles | 40 ensembles |
| Source d'arc | 4 ensembles | 8 ensembles | 12 ensembles | 16 ensembles | 20 ensembles | 24 ensembles | 40 ensembles |
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Polarisation alimentation électrique |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
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Gaz Système MFC |
Système d'admission à 4 voies |
Système d'admission à 4 voies | Système d'admission à 4 voies | Système d'admission à 4 voies | Système d'admission à 4 voies | Système d'admission à 4 voies | Système d'admission à 4 voies |
| Système de cuisson |
Jusqu'à 350C |
Jusqu'à 350C |
Jusqu'à 350C |
Jusqu'à 350C |
Jusqu'à 350C |
Jusqu'à 350C |
Jusqu'à 350C |
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Système de contrôle |
API |
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Vide ultime |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
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Puissance totale |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
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Revêtement Temps de cycle |
Environ 15 à 50 minutes par cycle (selon la couche de film de revêtement des différents produits de revêtement) |
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Taille du conteneur de livraison |
1 ensemble 20GP |
1 ensemble 20GP |
1 ensemble 20GP |
1 ensemble 40HQ |
1 ensemble 40HQ |
1 ensemble 20FR 1 ensemble 40GP |
1 ensemble 20FR 2 ensembles 40HQ |
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Temps d'installation de la machine |
7 jours (1 ingénieur) |
7 jours (1 ingénieur) |
7 jours (1 ingénieur) |
10 jours (2 ingénieurs) |
10 jours (2 ingénieurs) |
15 jours (2 ingénieurs) |
20 jours (2 ingénieurs) |
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