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구성 모델 |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
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챔버 크기(MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| 진공 시스템 | 확산 펌프/분자 펌프 + 루츠 펌프 + 2단 직접 구동 로터리 펌프 + 홀딩 펌프 + 극저온 펌프(선택 사항) | ||||||
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아크 전원 공급 장치 |
4세트 | 8세트 | 12세트 | 16세트 | 20세트 | 24세트 | 40세트 |
| 아크 소스 | 4세트 | 8세트 | 12세트 | 16세트 | 20세트 | 24세트 | 40세트 |
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바이어스 전원 공급 장치 |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
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가스 MFC 시스템 |
4방향 흡입 시스템 |
4방향 흡입 시스템 | 4방향 흡입 시스템 | 4방향 흡입 시스템 | 4방향 흡입 시스템 | 4방향 흡입 시스템 | 4방향 흡입 시스템 |
| 베이킹 시스템 |
최대 350C |
최대 350C |
최대 350C |
최대 350C |
최대 350C |
최대 350C |
최대 350C |
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제어 시스템 |
PLC |
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궁극적인 진공 |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
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총 전력 |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
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코팅 사이클 시간 |
약 15~50분 1사이클 (다양한 코팅 제품의 코팅 필름 레이어에 따라 다름) |
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배송 컨테이너 크기 |
1세트 20GP |
1세트 20GP |
1세트 20GP |
1세트 40HQ |
1세트 40HQ |
1세트 20FR 1세트 40GP |
1세트 20FR 2세트 40HQ |
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기계 설치 시간 |
7일 (1명의 엔지니어) |
7일 (1명의 엔지니어) |
7일 (1명의 엔지니어) |
10일 (2명의 엔지니어) |
10일 (2명의 엔지니어) |
15일 (2명의 엔지니어) |
20일 (2명의 엔지니어) |
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