PVD 진공 코팅 공정 및 금속 인공 치아 재료

PVD 진공 코팅 프로세스 및 금속 인공 치아용 재료

一、핵소재

1기판 재료 (금속 인공 치아 기판)

2코팅 재료 (PVD 퇴적 층)

3보조자재

• 공정 기체: 고순도 아르곤 (Ar, 99.999%+ 스프터링/청결용), 질소 (N2, 나이트라이드 형성용)
• 청소용품: 알칼리성 탈지방 용액 (5-10% 농도), 무수분 에탄올, 하이드록시아파타이트 研磨 분말 (0.5μm/40μm)
• 목표물: 티타늄 (Ti) 타겟, 티타늄-알루미늄 (Ti-Al) 합금 타겟, 그래피트 타겟 (DLC용)

二표준 코팅 프로세스 (PVD 진공 코팅 기계)

1단계: 사전처리 (결합에 중요한)

• 기계 청소
  • 초음파 청소: 기름/오염물질을 제거하기 위해 알칼리 용액 (60-80°C) 에서 20-30분
  • 표면 밀링: 0.5μm의 하이드록시아파티트 분자로 수동 밀링, 이후 20분 동안 에탄올 суспен션 (40μm HA 분말) 에서 초음파 밀링
  • 건조: 잔류 습기를 제거하기 위해 60-80°C에서 10-20분 (표면 긴장: 30-50mN/m)

• 화학적 활성화
  • 산성 에칭 (Co-Cr 합금): 미세한 거친 표면을 만들기 위해 염화수소 용액을 희석합니다.
  • 비활성화: 질소산 용액 (pH 2-4) 을 사용하여 밀도가 높은 산화물 필름을 형성하여 부식 저항성을 향상시킵니다.

• 플라즈마 정화
  • 진공 방 (10-2 Pa) 에 있는 아르곤 빛 방출
  • 나노 스케일 산화물을 제거하고 표면 원자를 활성화하기 위한 고에너지 이온 폭격

단계 2: 진공 환경 구축

• 두 단계 의 대피
  • 거친 펌프: 기계 펌프로 압력을 <10 Pa로 줄입니다.
  • 미세 펌핑: 터보 분자 펌프 + 티타늄 수블리메이션 펌프 10−3~10−4 Pa (극도로 높은 진공)

• 가스 정화
  • 낮은 온도 (-120°C) 의 냉각기 는 습도를 제거 한다
  • 지르코늄-알루미늄 가터 가스는 99.999%+ 순도에 공정 가스를 정제

3단계: 코팅 퇴적 (키 프로세스 제어)

단계 4: 후처리 및 품질 검사

• 진공 앙일링
  • 온도: 300~400°C, 유지 시간: 1-2시간
  • 내부 스트레스를 제거하고 코팅 결정성을 향상시킵니다

• 성능 검사
  • 접착력: 가로 절단 시험 (ASTM D3359, 5B 등급) 또는 로크웰 진열 (HF1 등급)
  • 부식 저항성: 중성 소금 스프레이 시험 (NSS, 500시간 경화 없는)
  • 표면 품질: Ra ≤0.05 μm (프로필로미터 측정); 색 안정성 (ΔE.7 NaCl 침수 34 일 후)

• 최종 마무리
  • 오클루션 적합성을 조정하기 위해 정밀 닦기
  • 후처리 잔류를 제거하기 위한 초음파 청소

(문서 부분 내용은 AI가 만들어 낼 수 있다)