Machine de revêtement sous vide PVD à évaporation par canon à électrons optiques
Équipement de revêtement sous vide avancé spécialement conçu pour le revêtement de précision de lentilles, de lunettes et de composants optiques utilisant la technologie d'évaporation par faisceau d'électrons.
Spécifications du produit
| Garantie | 1 an |
| Type de machine | Équipement de revêtement |
| Tension | 380V ou personnalisable |
| Technologie de revêtement | Revêtement sous vide |
| Composants principaux | PLC, cuve sous pression, engrenage, pompe, chambre de machine à vide |
| Substrat | Acier inoxydable |
| Puissance | 150KW-500KW ou personnalisable |
| Poids | 50000 kg |
| Lieu d'origine | Guangdong, Chine |
| Nom de marque | Lion King |
| Dimensions | L4500mm × L5000mm × H3000mm ou personnalisable |
| Matériau de la chambre | Acier inoxydable |
| Vide ultime | 5×10⁻⁴ Pa |
| Mode de contrôle | PLC + écran tactile HMI + entièrement automatique + système d'alarme |
| Système de vide | Pompe à diffusion + pompe Roots + pompe à vide rotative |
Applications et matériaux de revêtement
Substrats de revêtement
Produits en métal, verre et plastique
Matériaux de revêtement bruts
Titane, chrome, aluminium, laiton, zirconium, etc.
Couleurs de revêtement disponibles
Doré, or rose, noir, noir profond, champagne, marron, etc.
Technologie de revêtement
Technologie de revêtement PVD multi-arcs ioniques
Service et support
- Formation gratuite et facile à utiliser
- Inspection vidéo à la sortie fournie
- Rapport de test de machine fourni
- Ingénieurs disponibles pour entretenir les machines à l'étranger
- Service d'installation et de formation gratuit à l'étranger
Emballage et livraison
Emballage en film plastique et boîte en bois, norme d'exportation high cube, conteneur
Port de départ : Guangdong
Taille du colis unique : 80×25×25 cm
Poids brut du colis unique : 10 000 KG
Aperçu technologique
La machine de revêtement optique à faisceau d'électrons est un équipement essentiel dans la fabrication optique de précision. Elle utilise des faisceaux d'électrons à haute énergie pour faire fondre, évaporer et ioniser des matériaux optiques à haut point de fusion, puis dépose les matériaux vaporisés sur les surfaces des substrats pour former des films optiques ultra-minces, uniformes et haute performance. Ces films sont largement utilisés dans les composants optiques, y compris les films antireflets, les films hautement réfléchissants, les films filtrants et les films polarisants pour des applications dans les industries de l'optique, de l'électronique, de l'aérospatiale et des semi-conducteurs.
Principe de fonctionnement
Création d'un environnement sous vide
L'ensemble du processus de revêtement se déroule dans une chambre à vide poussé pour éviter que le matériau vaporisé ne réagisse avec l'air ou ne soit dispersé par les molécules de gaz, garantissant la pureté du film et permettant à la vapeur d'atteindre le substrat en douceur pour une formation de film dense.
Génération et accélération du faisceau d'électrons
Un canon à électrons génère des électrons par émission thermionique, qui sont accélérés par un champ électrique à haute tension pour obtenir une énergie cinétique élevée.
Chauffage et évaporation du matériau cible
Des faisceaux d'électrons à haute énergie sont focalisés par des lentilles magnétiques sur les surfaces des matériaux cibles, convertissant l'énergie cinétique en énergie thermique pour chauffer rapidement les matériaux à des températures d'évaporation (même pour les matériaux dont le point de fusion dépasse 2000°C).
Dépôt de vapeur et formation de film
Les particules de matériau vaporisé se déplacent en ligne droite dans la chambre à vide et se déposent sur les surfaces des substrats en rotation, s'accumulant pour former des films minces avec des structures et des propriétés optiques spécifiques.
Surveillance et contrôle in situ
Des microbalances à quartz ou des systèmes de surveillance optique suivent l'épaisseur du film et l'indice de réfraction en temps réel, transmettant les données à des unités de contrôle qui ajustent la puissance du faisceau d'électrons, la température du substrat et les taux de dépôt pour garantir que les films répondent aux exigences de conception.
Avantages clés
- Haute efficacité d'évaporation pour les matériaux à haut point de fusion (supérieur à 3000°C)
- Haute pureté du film grâce à l'environnement sous vide et au chauffage sans contact
- Contrôle précis de l'épaisseur avec une précision allant jusqu'à ±0,1 nm
- Large compatibilité des matériaux avec les oxydes, les fluorures, les métaux et les céramiques
- Taux de dépôt élevés de 1 à 10 nm/s pour une efficacité de production améliorée
Industries appliquées
- Communication optique : Films minces pour fibres optiques et coupleurs optiques
- Électronique grand public : Films antireflets pour écrans et filtres de coupure IR pour caméras
- Aérospatiale et défense : Films hautement réfléchissants pour télescopes spatiaux et films antigel pour avions
- Semi-conducteurs et optoélectronique : Films diélectriques pour micropuces et revêtements minces pour LED