Introduzione all'attrezzatura
L'attrezzatura di rivestimento a evaporazione per resistenza è un tipo fondamentale di attrezzatura per la deposizione fisica da vapore (PVD), composta principalmente da una camera a vuoto, una sorgente di evaporazione a resistenza, un sistema a vuoto, un supporto per substrato, un sistema di controllo della temperatura, ecc.
Principio di funzionamento
Durante il funzionamento, prima evacuare la camera a vuoto fino al grado di vuoto impostato, quindi riscaldare l'elemento riscaldante a resistenza tramite una corrente elettrica, facendo sì che il materiale di evaporazione (metallo, lega, composto, ecc.) posto sull'elemento riscaldante si sciolga e si vaporizzi. Gli atomi o le molecole gassose si muovono in linea retta e si depositano sulla superficie del substrato da rivestire, formando infine un film uniforme.
Caratteristiche principali
La struttura è semplice e facile da usare, con pochi componenti principali e bassi costi di manutenzione.
Presenta un'elevata efficienza di riscaldamento, un rapido aumento della temperatura e può vaporizzare rapidamente il materiale, con conseguente ciclo di rivestimento relativamente breve.
Il prezzo di acquisto dell'attrezzatura è inferiore a quello dell'evaporazione a fascio di elettroni, dello sputtering magnetron e di altre attrezzature, e il consumo energetico operativo è relativamente basso.
Applicazioni principali
Nel campo dell'ottica: Preparazione di film antiriflesso e film riflettenti per lenti ottiche, come film ottici a singolo o multistrato per lenti per occhiali e obiettivi fotografici.
Nel campo dell'elettronica: Produzione di film elettrodici e film conduttivi per dispositivi a semiconduttore e componenti elettronici, come film metallici per i conduttori di circuiti integrati e gli elettrodi dei condensatori.
Campo della decorazione: Rivestimento di film decorativi per prodotti in plastica, parti hardware, gioielli, ecc., come rivestimenti in oro e argento per custodie e accessori per telefoni cellulari.
Altri campi: Ricerca sul rivestimento di film di alluminio sulla superficie dei materiali di imballaggio (come la pellicola di alluminio per l'imballaggio alimentare), preparazione di film funzionali sulla superficie dei sensori e preparazione di film per campioni di laboratorio.
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