به عنوان یک نوع تجهیزات تصفیه سطح مواد، طراحی ساختار و فرآیند عملکرد دستگاه پوشش یونی به طور مستقیم بر کیفیت پوشش و راندمان تولید تأثیر می گذارد. دانستن اجزای اصلی تجهیزات و آماده سازی قبل از بهره برداری برای اطمینان از اینکه فرآیند پوشش دهی به خوبی انجام می شود، کلیدی است.
تجهیزات اصلی شامل محفظه خلاء، سیستم منبع قوس، نگهدارنده قطعه کار، منبع تغذیه بایاس، سیستم تامین گاز و واحد پمپاژ خلاء است. محفظه خلاء از فولاد ضد زنگ ساخته شده است و باید داخل آن تمیز نگه داشته شود تا باقیمانده آن به حداقل برسد. این محفظه دارای یک ژاکت آب خنک برای کمک به کنترل تغییرات دما در طول فرآیند پوشش است. همچنین یک پنجره دید روی درب محفظه خلاء وجود دارد تا اپراتورها بتوانند قطعات کار را بررسی کرده و بر تخلیه قوس نظارت کنند.
سیستم منبع قوس، جزء اصلی یک دستگاه آبکاری یونی است که مسئول تامین یون های فلزی مورد نیاز برای پوشش است. منبع قوس از طریق یک دستگاه ماشه، یک قوس بر روی سطح هدف ایجاد می کند و لکه های قوس، سطح هدف را تحت هدایت میدان مغناطیسی اسکن می کنند و باعث تبخیر و یونیزه شدن ماده مورد نظر می شوند. پایداری منبع قوس و وضعیت ماده هدف مستقیماً بر کیفیت پوشش تأثیر می گذارد، بنابراین اپراتورها باید به طور منظم وضعیت کار منبع قوس را بررسی کنند و سطح هدف را از اکسیدها به موقع تمیز کنند.
سیستم پمپاژ خلاء از یک پمپ مکانیکی، یک پمپ ریشه و یک پمپ اصلی تشکیل شده است و برای پایین کشیدن محفظه خلاء تا سطح خلاء مورد نظر استفاده می شود. پمپ مکانیکی مرحله خلاء کم را کنترل می کند، پمپ Roots سرعت پمپاژ را افزایش می دهد و پمپ اصلی خلاء را تا سطح مورد نیاز برای فرآیند بالا می برد. هنگام راه اندازی سیستم پمپاژ، اپراتورها باید پمپ ها را به ترتیب روشن کنند و مراقب گیج خلاء باشند تا مطمئن شوند همه چیز به خوبی کار می کند.
قفسه قطعه کار قطعات کاری را که قرار است آبکاری شوند نگه می دارد و معمولاً طوری طراحی می شود که بچرخد تا قطعات در طول فرآیند آبکاری به طور یکنواخت پوشش داده شوند. یک ساختار عایق بین قفسه و محفظه خلاء وجود دارد تا امکان ولتاژ بایاس را فراهم کند. هنگام بارگیری کوره، اپراتورها باید قطعات کار را به طور ایمن روی قفسه ببندند و مطمئن شوند که فضای کافی بین آنها وجود دارد تا از مسدود شدن یکدیگر جلوگیری شود.
منبع تغذیه بایاس ولتاژی را بین قطعه کار و آند اعمال می کند که برای تمیز کردن یون و کمک به رسوب گذاری استفاده می شود. سیستم تامین گاز، گازهای فرآیندی و راکتیو را وارد محفظه خلاء می کند تا در تشکیل فیلم شرکت کنند. اپراتورها باید جریان گاز را بر اساس الزامات فرآیند تنظیم کنند و تغییرات خلاء را در طول فرآیند پوشش نظارت کنند.
قبل از راه اندازی دستگاه پوشش یونی، اپراتورها باید بررسی کنند که آیا همه سیستم های تجهیزات به درستی کار می کنند و از پایداری آب خنک کننده، هوای فشرده و منبع تغذیه مطمئن شوند. پس از بارگیری محفظه، درب خلاء را ببندید، سیستم پمپاژ را راه اندازی کنید و برنامه فرآیند را برای انجام مراحل پوشش دنبال کنید.
پیام شما باید بین 20 تا 3000 کاراکتر باشد!
