SE2540H श्रृंखला | SE3300H श्रृंखला | |
सब्सट्रेट | फ्लोट ग्लास, टेम्पर्ड ग्लास, लामिनेटेड ग्लास आदि | |
सब्सट्रेट आकार | अधिकतम 2540 × 3660 मिमी (अनुकूलित) | अधिकतम 3300 × 6000 मिमी (अनुकूलित) |
सब्सट्रेट की मोटाई | 3-19 मिमी (अनुकूलित) | |
चक्र समय | > 20 वर्ष | > 30 वर्ष |
अंतिम वैक्यूम | < 2E-6mbar | |
प्रभावी चलने का समय | > 95% | |
फिल्म एकरूपता | ≤ ± 1.0% |
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