Μηχανή επίστρωσης κενού PVD εξάτμισης τύπου Optical Electron Gun για επίστρωση γυαλιών

Συσκευασία και παράδοση

Λεπτομέρειες συσκευασίας

Πλαστική μεμβράνη κάλυψης & ξύλινο κουτί υψηλού κύβου τυποποιημένη συσκευασία εξαγωγής εμπορευματοκιβωτίων για μηχανή επίστρωσης κενού PVD πολλαπλών τόξων ιόντων CICEL από ανοξείδωτο χάλυβα

Λιμάνι αποστολής

Guangdong

Μονάδες πώλησης

Μεμονωμένο είδος

Μέγεθος μεμονωμένης συσκευασίας

80X25X25 cm

Μεικτό βάρος μεμονωμένης συσκευασίας

10.000 KG

Παραδείγματα συσκευασίας

Lion KingΜηχανή οπτικής επίστρωσης δέσμης ηλεκτρονίων

Επισκόπηση τεχνολογίας

Η μηχανή οπτικής επίστρωσης δέσμης ηλεκτρονίων είναι ένας βασικός εξοπλισμός στον τομέα της κατασκευής οπτικών ακριβείας. Χρησιμοποιεί δέσμες ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας για να λιώσει, να εξατμίσει και να ιονίσει οπτικά υλικά υψηλής τήξης, στη συνέχεια εναποθέτει τα εξατμισμένα υλικά στην επιφάνεια των υποστρωμάτων για να σχηματίσει εξαιρετικά λεπτές, ομοιόμορφες και υψηλής απόδοσης οπτικές μεμβράνες. Αυτές οι μεμβράνες χρησιμοποιούνται ευρέως σε οπτικά εξαρτήματα όπως μεμβράνες κατά της ανάκλασης, μεμβράνες υψηλής ανάκλασης, μεμβράνες φίλτρων και μεμβράνες πόλωσης, οι οποίες είναι απαραίτητες για συσκευές σε βιομηχανίες όπως η οπτική, τα ηλεκτρονικά, η αεροδιαστημική και τα ημιαγωγικά.

Αρχή λειτουργίας

Δημιουργία περιβάλλοντος κενού

Ολόκληρη η διαδικασία επίστρωσης πραγματοποιείται σε θάλαμο υψηλού κενού. Αυτό το περιβάλλον εξυπηρετεί δύο κρίσιμους σκοπούς:

Αποτρέπει την αντίδραση του εξατμισμένου υλικού με τον αέρα ή τη διασπορά του από μόρια αερίου, εξασφαλίζοντας την καθαρότητα της μεμβράνης.

Μειώνει τη σύγκρουση μεταξύ εξατμισμένων ατόμων/μορίων και μορίων αερίου, επιτρέποντας στον ατμό να φτάσει ομαλά στο υπόστρωμα και να σχηματίσει μια πυκνή μεμβράνη.

Δημιουργία & επιτάχυνση δέσμης ηλεκτρονίων

Ένα ηλεκτρονικό πιστόλι δημιουργεί ηλεκτρόνια μέσω θερμιονικής εκπομπής. Τα ηλεκτρόνια επιταχύνονται στη συνέχεια από ένα ηλεκτρικό πεδίο υψηλής τάσης για να αποκτήσουν υψηλή κινητική ενέργεια.

Θέρμανση & εξάτμιση υλικού στόχου

Η δέσμη ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας εστιάζεται από έναν μαγνητικό φακό και κατευθύνεται στην επιφάνεια του υλικού στόχου. Η κινητική ενέργεια των ηλεκτρονίων μετατρέπεται σε θερμική ενέργεια κατά την πρόσκρουση με τον στόχο, θερμαίνοντας γρήγορα το υλικό στη θερμοκρασία εξάτμισής του (ακόμη και για υλικά με σημεία τήξης άνω των 2000°C, όπως η αλουμίνα. Το υλικό στη συνέχεια εξατμίζεται σε έναν ατμό υψηλής πυκνότητας που αποτελείται από άτομα, μόρια ή ιόντα.

Εναπόθεση ατμού & σχηματισμός μεμβράνης

Τα σωματίδια του εξατμισμένου υλικού κινούνται σε ευθεία γραμμή στον θάλαμο κενού και εναποτίθενται στην επιφάνεια του περιστρεφόμενου υποστρώματος. Καθώς τα σωματίδια συσσωρεύονται, σχηματίζουν μια λεπτή μεμβράνη με συγκεκριμένη δομή και οπτικές ιδιότητες.

Παρακολούθηση & έλεγχος in-Situ

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επίστρωσης, χρησιμοποιείται ένα μικροζυγό κρυστάλλου χαλαζία ή ένα οπτικό σύστημα παρακολούθησης για την παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο του πάχους της μεμβράνης και του δείκτη διάθλασης. Το σύστημα τροφοδοτεί δεδομένα στη μονάδα ελέγχου, η οποία προσαρμόζει παραμέτρους όπως η ισχύς της δέσμης ηλεκτρονίων, η θερμοκρασία του υποστρώματος και ο ρυθμός εναπόθεσης για να διασφαλίσει ότι η μεμβράνη πληροί τις απαιτήσεις σχεδιασμού.

Βασικά πλεονεκτήματα

Υψηλή απόδοση εξάτμισης για υλικά υψηλής τήξης

Οι δέσμες ηλεκτρονίων θερμαίνουν άμεσα τον στόχο, επιτρέποντας την εξάτμιση υλικών με σημεία τήξης > 3000°C.

Υψηλή καθαρότητα μεμβράνης

Το περιβάλλον κενού και η θέρμανση χωρίς επαφή ελαχιστοποιούν τις ακαθαρσίες στη μεμβράνη.

Ακριβής έλεγχος πάχους

Τα συστήματα παρακολούθησης in-situ και η ρυθμιζόμενη ισχύς δέσμης ηλεκτρονίων επιτρέπουν την ακρίβεια ελέγχου πάχους μεμβράνης έως και ±0,1 nm, καλύπτοντας τις απαιτήσεις των οπτικών μεμβρανών πολλαπλών στρώσεων.

Ευρεία συμβατότητα υλικών

Συμβατό με οξείδια, φθορίδια μέταλλα, ακόμη και κεραμικά, επεκτείνοντας τα εύρη εφαρμογής.

Υψηλός ρυθμός εναπόθεσης

Οι ρυθμοί εναπόθεσης μπορούν να φτάσουν τα 1–10 nm/s, βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της παραγωγής για οπτικά εξαρτήματα μεγάλης παρτίδας.

Εφαρμοσμένες βιομηχανίες

Οπτική επικοινωνία

Επίστρωση λεπτών μεμβρανών για οπτικές ίνες και οπτικούς συζεύκτες, εξασφαλίζοντας χαμηλή απώλεια σήματος κατά τη μετάδοση φωτός.

Ηλεκτρονικά καταναλωτικών προϊόντων

Μεμβράνες κατά της ανάκλασης (AR) για οθόνες smartphone/laptop. Φίλτρα αποκοπής υπέρυθρων (IR) για μονάδες κάμερας.

Αεροδιαστημική & Άμυνα

Μεμβράνες υψηλής ανάκλασης για οπτικά τηλεσκόπια δορυφόρων. Οπτικές μεμβράνες κατά της παγοποίησης και κατά της ομίχλης για παρμπρίζ αεροσκαφών.

Ημιαγωγοί & Οπτοηλεκτρονική

Διηλεκτρικές μεμβράνες για μικροτσίπ. Επιστρώσεις λεπτής μεμβράνης για δίοδοι εκπομπής φωτός.