آلة الطلاء البصري بالحزمة الإلكترونية هي معدات أساسية في مجال التصنيع البصري الدقيق. تستخدم حزم الإلكترونات عالية الطاقة لإذابة وتبخير وتأيين المواد البصرية ذات درجة الانصهار العالية، ثم تودع المواد المتبخرة على سطح الركائز لتشكيل أغشية بصرية فائقة الرقة وموحدة وعالية الأداء. تستخدم هذه الأغشية على نطاق واسع في المكونات البصرية مثل أغشية مضادة للانعكاس، وأغشية عالية الانعكاس، وأغشية المرشح، وأغشية الاستقطاب، والتي تعتبر ضرورية للأجهزة في صناعات مثل البصريات والإلكترونيات والفضاء وأشباه الموصلات.
إنشاء بيئة فراغ
تتم عملية الطلاء بأكملها في غرفة ذات فراغ عالٍ. تخدم هذه البيئة غرضين حاسمين:
يمنع المادة المتبخرة من التفاعل مع الهواء أو الانتشار بواسطة جزيئات الغاز، مما يضمن نقاء الفيلم.
يقلل من التصادم بين ذرات/جزيئات المتبخرة وجزيئات الغاز، مما يسمح للبخار بالوصول إلى الركيزة بسلاسة وتشكيل فيلم كثيف.
توليد وتسريع الحزمة الإلكترونية
تولد بندقية إلكترونية الإلكترونات من خلال الانبعاث الحراري. ثم يتم تسريع الإلكترونات بواسطة مجال كهربائي عالي الجهد للحصول على طاقة حركية عالية.
تسخين وتبخير مادة الهدف
يتم تركيز الحزمة الإلكترونية عالية الطاقة بواسطة عدسة مغناطيسية وتوجيهها إلى سطح مادة الهدف. تتحول الطاقة الحركية للإلكترونات إلى طاقة حرارية عند الاصطدام بالهدف، مما يؤدي إلى تسخين المادة بسرعة إلى درجة حرارة التبخر (حتى بالنسبة للمواد التي تزيد نقاط انصهارها عن 2000 درجة مئوية، مثل الألومينا. ثم تتبخر المادة إلى بخار عالي الكثافة يتكون من ذرات أو جزيئات أو أيونات.
ترسيب البخار وتكوين الفيلم
تتحرك جزيئات المادة المتبخرة في خط مستقيم في غرفة الفراغ وتترسب على سطح الركيزة الدوارة. مع تراكم الجسيمات، فإنها تشكل فيلمًا رقيقًا بهيكل وخصائص بصرية معينة.
المراقبة والتحكم في الموقع
أثناء عملية الطلاء، يتم استخدام ميزان بلوري كوارتز ميكرو أو نظام مراقبة بصرية لتتبع سمك الفيلم ومؤشر الانكسار في الوقت الفعلي. يقوم النظام بإعادة البيانات إلى وحدة التحكم، والتي تضبط معلمات مثل طاقة الحزمة الإلكترونية ودرجة حرارة الركيزة ومعدل الترسيب لضمان أن الفيلم يلبي متطلبات التصميم.
كفاءة التبخر العالية للمواد ذات درجة الانصهار العالية
تقوم الحزم الإلكترونية بتسخين الهدف مباشرة، مما يتيح تبخر المواد التي تزيد درجة انصهارها عن 3000 درجة مئوية.
نقاء الفيلم العالي
تقلل بيئة الفراغ والتسخين غير التلامسي من الشوائب في الفيلم.
التحكم الدقيق في السُمك
تسمح أنظمة المراقبة في الموقع وطاقة الحزمة الإلكترونية القابلة للتعديل بدقة التحكم في سمك الفيلم تصل إلى ±0.1 نانومتر، مما يلبي متطلبات الأفلام البصرية متعددة الطبقات.
توافق المواد الواسع
متوافق مع الأكاسيد والفلوريدات والمعادن وحتى السيراميك، مما يوسع نطاقات التطبيق.
معدل الترسيب العالي
يمكن أن تصل معدلات الترسيب إلى 1–10 نانومتر/ثانية، مما يحسن كفاءة الإنتاج للمكونات البصرية ذات الدُفعات الكبيرة.
الاتصالات البصرية
طلاء الأغشية الرقيقة للألياف الضوئية والمقرنات الضوئية، مما يضمن فقدان إشارة منخفض أثناء انتقال الضوء.
الإلكترونيات الاستهلاكية
أغشية مضادة للانعكاس (AR) لشاشات الهواتف الذكية/أجهزة الكمبيوتر المحمولة. مرشحات الأشعة تحت الحمراء (IR) لوحدات الكاميرا.
الفضاء والدفاع
أغشية عالية الانعكاس لتلسكوبات الأقمار الصناعية البصرية. أغشية بصرية مضادة للتجمد والضباب للزجاج الأمامي للطائرات.
أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية
أغشية عازلة للرقائق الدقيقة. طلاءات الأغشية الرقيقة للديودات الباعثة للضوء.
اتصل بنا في أي وقت