| Parameter | SE2540H Serie | SE3300H Serie |
|---|---|---|
| Substrat | Floatglas, Einscheibensicherheitsglas, Verbundsicherheitsglas usw. | |
| Substratgröße | Max. 2540 × 3660 mm(anpassbar) | Max. 3300 × 6000 mm(anpassbar) |
| Substratdicke | 3-19 mm(anpassbar) | |
| Zykluszeit | > 20s | > 30s |
| Endvakuum | < 2E-6mbar | |
| Effektive Laufzeit | > 95% | |
| Filmuniformität | ≤ ± 1,0% | |
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