| Die SE2540H-Serie | SE3300H-Serie | |
| Substrat | Schwimmglas, gehärtetes Glas, laminiertes Glas usw. | |
| Größe des Substrats | Max. 2540 × 3660 mm (anpassbar) | Max. 3300 × 6000 mm (anpassbar) |
| Substratdicke | 3-19 mm (anpassbar) | |
| Zykluszeit | > 20er Jahre | > 30er Jahre |
| Endgültiges Vakuum | < 2E-6mbar | |
| Wirkliche Laufzeit | > 95% | |
| Filmgleichheit | ≤ ± 1,0% | |
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