Dünnschichtabscheidung durch thermische Verdampfung ist eine physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)-Technik zur Herstellung von Dünnschichten aus verschiedenen Materialien – wie Kupfer, Silber oder Gold, sowie anderen Materialien wie Siliziumdioxid oder Indiumzinnoxid – auf einer Oberfläche. Thermische Verdampfung Abscheidungstechnik basiert auf der thermischen Erhitzung des Quellmaterials in einer Hochvakuumkammer (Druck < 10-5 Torr), was dessen Dampfdruck erhöht und zur Bildung eines Dünnfilms des Materials auf dem Substrat in der Kammer führt.
Thermische Verdampfungssysteme arbeiten üblicherweise durch ohmsche Erhitzung eines Quellhalters. Die Quellhalter können in Form eines Metallboots oder eines Korbs aus hitzebeständigem Draht aus W oder Mo vorliegen, der mit Aluminiumoxid bedeckt ist. Beim thermischen Verdampfungsprozess wird das Material aus dem Boot/Korbhalter verdampft, der durch das Anlegen eines ausreichend hohen elektrischen Stroms erhitzt wird, und auf dem Substrat abgeschieden, das normalerweise über der Probe positioniert ist.
Die thermische Verdampfung bietet gegenüber anderen Beschichtungstechniken mehrere wesentliche Vorteile:
Diese Vorteile machen die thermische Verdampfung zu einem vielseitigen und leistungsstarken Werkzeug in der Welt der Dünnschichttechnologie.
• Angewandte Industrien: Weit verbreitet in der Automobilindustrie, Audio- und verschiedenen Kleingeräten, Computern, Uhren, Spielzeug, Mobiltelefonen, reflektierenden Bechern, Kosmetika usw.
• Galvanische Effekte: glänzendes galvanisches Finish, stumpf-(halbstumm, ganz stumm), Prozessgalvanik Falten, Drahtziehen, Regentropfen usw.
• Strukturtyp: Vertikale Struktur mit Einzel- oder Doppeltüren oder Horizontale Struktur mit Einzeltür.
• Substratmaterial: ABS, PS, PC, PP, PVC, PET, Nylon, TPU (Kunststoffmaterialien), Acrylglas, Keramik, Metall usw.
• Beschichtungsfilm: Au, Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Fe, Ni, Ge, Pt, Pb, In, Mo, SiO2 usw.
• Farbe: Silber, Gold, Roségold, Transparent, Rot, Pink, Lila, Blau, Grün, Grau, Schwarz, Farbverlauf, Regenbogenfarbe usw.
• Unterstützende Produktionslinien: Kann mit UV-Linie / manueller Spritzlinie / Einweichmethode-Linie arbeiten.
• Verbrauchsmaterialien in der Produktion: Aluminium- / Chrom- / Messingdrähte, Lackieröl
Anwendungen:
Optik: Erstellung von Antireflex-, Spiegel-, Filter-, Sonnenschutzschichten auf Brillengläsern und anderen optischen Komponenten.
Automobil: Beschichtung von Autoteilen wie Rädern, Felgen, Emblemen und Grills für verbesserte Haltbarkeit, Korrosionsbeständigkeit und ein dekoratives Aussehen.
Elektronik: Abscheidung von Schutzschichten auf Leiterplatten, Komponenten und den Gehäusen elektronischer Geräte.
Luft- und Raumfahrt: Auftragen von Beschichtungen auf Motorteile und Turbinenschaufeln zum Schutz vor hohen Temperaturen, Reibung und Korrosion.
Medizin: Beschichtung von medizinischen Instrumenten und Implantaten zur Verbesserung der Biokompatibilität, zur Reduzierung der Reibung und zur Schaffung steriler Oberflächen.
Konsumgüter: Hinzufügen von haltbaren und dekorativen Oberflächen zu Hardware wie Türknöpfen, Armaturen, Geschirr, Uhren, Schmuck, Dekorationen und Kunststoffprodukten.
Architektonisches Glas: Beschichtung von Glas für Gebäude und Autos, um Sonnenschutz und andere funktionale Eigenschaften zu bieten.
Werkzeuge für die Fertigung: Verstärkung der Schneidkanten an Werkzeugen zur Verbesserung der Leistung, Verschleißfestigkeit und Langlebigkeit.
Unser Unternehmen kann die Maschine nach Kundenwunsch konstruieren, und Arten von Vakuumpumpsystemen, elektrisches Steuerungssystem können nach Kundenanforderungen konstruiert werden.
| Configuration/ Modell | Lion-1000EL | Lion-1200EL | Lion-1400EL | Lion-1800EL | Lion-2200EL | Anpassbar |
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Vakuumkammergröße (MM) |
D1000*H1200 |
D1200*H1500 |
D1400*H1800 |
D1800*H2000 |
D2200*H2400 |
Kundenspezifisch |
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Vakuumpumpsystem |
Diffusionspumpe/Molekularpumpe + Roots-Pumpe + Drehkolbenpumpe + Haltepumpe + Kryopumpe (optional) |
Kundenspezifisch |
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Verdampfungsleistung |
10KW |
15KW |
20KW |
30KW |
40KW |
Kundenspezifisch |
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Verdampfungsquelle |
20 Sätze |
26 Sätze |
36 Sätze |
52 Sätze |
68 Sätze |
Kundenspezifisch |
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Ionen-Glühreinigungssystem (Optional) |
5KW |
5KW |
10KW |
15KW |
20KW |
Kundenspezifisch |
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Steuerungssystem |
SPS+HMI Vollautomatik + Fernbedienungssystem (optional) |
Kundenspezifisch |
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Ultimatives Vakuum |
5,0*10-4pa |
5,0*10-4pa |
5,0*10-4pa |
5,0*10-4pa |
5,0*10-4pa |
Kundenspezifisch |
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Gesamtleistung |
30,6KW |
37,5KW |
58,5KW |
96KW |
125KW |
Kundenspezifisch |
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Beschichtungszykluszeit |
6 bis 10 Minuten pro Zyklus (abhängig von der Beschichtungsfilmschicht verschiedener Beschichtungsprodukte) |
Kundenspezifisch |
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Lieferbehältergröße |
1 Satz 20GP |
1 Satz 20GP |
1 Satz 40GP |
1 Satz 40HQ |
1 Satz 40HQ |
Kundenspezifisch |
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Maschineninstallationszeit |
5 Tage (1 Ingenieur) |
5 Tage (1 Ingenieur) |
7 Tage (1 Ingenieur) |
7 Tage (2 Ingenieure) |
7 Tage (2 Ingenieure) |
Kundenspezifisch
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