Introduction de l'équipement
L'équipement de revêtement par évaporation par résistance est un type central d'équipement de dépôt physique en phase vapeur (PVD), principalement composé d'une chambre à vide, d'une source d'évaporation par résistance, d'un système de vide, d'un support de substrat, d'un système de contrôle de la température, etc.
Principe de fonctionnement
En fonctionnement, on commence par faire le vide dans la chambre à vide jusqu'au degré de vide défini, puis on chauffe l'élément chauffant par résistance grâce à un courant électrique, ce qui fait fondre et se vaporiser le matériau d'évaporation (métal, alliage, composé, etc.) placé sur l'élément chauffant. Les atomes ou molécules gazeux se déplacent en ligne droite et se déposent sur la surface du substrat à revêtir, formant finalement un film uniforme.
Caractéristiques principales
La structure est simple et facile à utiliser, avec peu de composants principaux et des coûts de maintenance réduits.
Elle se caractérise par une grande efficacité de chauffage, une montée rapide en température et peut vaporiser rapidement le matériau, ce qui se traduit par un cycle de revêtement relativement court.
Le prix d'achat de l'équipement est inférieur à celui de l'évaporation par faisceau d'électrons, de la pulvérisation cathodique magnétron et d'autres équipements, et la consommation d'énergie en fonctionnement est relativement faible.
Applications principales
Dans le domaine de l'optique: Préparation de films antireflets et de films réfléchissants pour les lentilles optiques, tels que les films optiques monocouches ou multicouches pour les verres de lunettes et les objectifs d'appareil photo.
Dans le domaine de l'électronique :Fabrication de films d'électrodes et de films conducteurs pour les dispositifs à semi-conducteurs et les composants électroniques, tels que les films métalliques pour les fils de circuits intégrés et les électrodes de condensateurs.
Domaine de la décoration :Revêtement de films décoratifs pour les produits en plastique, les pièces de quincaillerie, les bijoux, etc., tels que les revêtements or et argent pour les boîtiers et accessoires de téléphones portables.
Autres domaines :Recherche sur le revêtement de film d'aluminium sur la surface des matériaux d'emballage (tels que le papier d'aluminium pour l'emballage alimentaire), préparation de films fonctionnels sur la surface des capteurs et préparation de films pour les échantillons de laboratoire.
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