Tích hợp công nghệ phun từ và mạ ion, nó chuẩn bị các lớp màng hiệu suất cao thông qua sự bắn phá ion và lắng đọng trong môi trường chân không.
Tính năng và ưu điểm kỹ thuật
Tích hợp công nghệ tổng hợp: Kết hợp công nghệ phun từ và mạ ion, nó tăng cường sự đồng nhất về màu sắc của lớp màng, tốc độ lắng đọng và độ ổn định của thành phần hợp chất.
Cấu hình linh hoạt: Nhiều vị trí đích cấu trúc được bảo lưu và nó có thể được trang bị tùy chọn với hệ thống phun từ, hệ thống hồ quang cathode, hệ thống bay hơi chùm electron, hệ thống bay hơi điện trở, CVD/PECVD, nguồn ion, hệ thống điện áp thiên áp, hệ thống gia nhiệt, đồ gá ba chiều, v.v., để đáp ứng các nhu cầu khác nhau.
Ưu điểm về hiệu suất: Lớp màng phủ có độ bám dính mạnh và mật độ cao, có thể cải thiện hiệu quả khả năng chống ăn mòn muối, khả năng chống mài mòn và độ cứng bề mặt của sản phẩm, đồng thời phù hợp để chuẩn bị các lớp màng hiệu suất cao.
Các tình huống và vật liệu áp dụng
Công dụng chính: Nó được sử dụng trong nghiên cứu thử nghiệm trong các trường đại học và viện nghiên cứu khác nhau để chuẩn bị các lớp kim loại nguyên tố (chẳng hạn như titan, crom, bạc, đồng) hoặc các lớp màng hợp chất kim loại (chẳng hạn như TiN, TiCN, TiC, TiO₂, TiAlN, CrN, ZrN, CrC, v.v.).
Vật liệu có thể được mạ: Hỗ trợ nhiều loại chất nền khác nhau như thép không gỉ, các bộ phận kim loại mạ nước, bộ phận nhựa, thủy tinh, gốm sứ, v.v.
Hiệu ứng màu sắc: Nó có thể đạt được nhiều lớp phủ màu khác nhau như đen đậm, vàng trong lò, vàng hồng, vàng giả, vàng zirconi, xanh sapphire và bạc sáng.
Cấu trúc và vận hành thiết bị
Đặc điểm cấu trúc: Ngoại hình hấp dẫn, cấu trúc nhỏ gọn, chiếm ít diện tích sàn, được trang bị hệ thống điều khiển tự động (chẳng hạn như tủ điều khiển bên phải), vận hành đơn giản và linh hoạt, hiệu suất ổn định và bảo trì dễ dàng.
Các thành phần cốt lõi: Nó bao gồm buồng chân không (thân chính màu trắng bên trái), hệ thống chân không, hệ thống cung cấp điện, hệ thống điều khiển và ghi (chẳng hạn như màn hình hiển thị, nút và đèn báo trong tủ điều khiển bên phải), hệ thống vị trí đích (chẳng hạn như đích nguồn hồ quang cathode hình trụ làm mát bằng nước ở phía sau, cực dương hình vòng), v.v.