|
конфигурация Модель |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
|
Размер камеры (мм) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Вакуумная система | Диффузионный насос/Молекулярный насос + Рутс-насос + Двухступенчатый прямой привод Роторный насос + Удерживающий насос + Криогенный насос (опционально) | ||||||
|
Дуга блок питания |
4 комплекта | 8 комплектов | 12 комплектов | 16 комплектов | 20 комплектов | 24 комплекта | 40 комплектов |
| Дуговой источник | 4 комплекта | 8 комплектов | 12 комплектов | 16 комплектов | 20 комплектов | 24 комплекта | 40 комплектов |
|
Смещение блок питания |
12 кВт |
20 кВт |
30 кВт |
40 кВт |
60 кВт |
60 кВт |
80 кВт |
|
Газ Система MFC |
4-ходовая система впуска |
4-ходовая система впуска | 4-ходовая система впуска | 4-ходовая система впуска | 4-ходовая система впуска | 4-ходовая система впуска | 4-ходовая система впуска |
| Система отжига |
До 350C |
До 350C |
До 350C |
До 350C |
До 350C |
До 350C |
До 350C |
|
Система управления |
ПЛК |
||||||
|
Предельный вакуум |
5,0*10-4 Па |
5,0*10-4 Па |
5,0*10-4 Па |
5,0*10-4 Па |
5,0*10-4 Па |
5,0*10-4 Па |
5,0*10-4 Па |
|
Общая мощность |
50 кВт |
75 кВт |
145 кВт |
190 кВт |
250 кВт |
305 кВт |
455 кВт |
|
Покрытие Время цикла |
Около 15–50 минут за цикл (в зависимости от слоя покрытия различных продуктов) |
||||||
|
Размер контейнера для доставки |
1 комплект 20GP |
1 комплект 20GP |
1 комплект 20GP |
1 комплект 40HQ |
1 комплект 40HQ |
1 комплект 20FR 1 комплект 40GP |
1 комплект 20FR 2 комплекта 40HQ |
|
Время установки машины |
7 дней (1 инженер) |
7 дней (1 инженер) |
7 дней (1 инженер) |
10 дней (2 инженера) |
10 дней (2 инженера) |
15 дней (2 инженера) |
20 дней (2 инженера) |
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время