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configurazione Modello |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
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Dimensione camera (MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Sistema di vuoto | Pompa a diffusione/Pompa molecolare + Pompa Roots + Pompa rotativa a doppio stadio ad azionamento diretto + Pompa di mantenimento + Pompa criogenica (opzionale) | ||||||
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Arco alimentazione |
4 set | 8 set | 12 set | 16 set | 20 set | 24 set | 40 set |
| Sorgente ad arco | 4 set | 8 set | 12 set | 16 set | 20 set | 24 set | 40 set |
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Bias alimentazione |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
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Gas Sistema MFC |
Sistema di aspirazione a 4 vie |
Sistema di aspirazione a 4 vie | Sistema di aspirazione a 4 vie | Sistema di aspirazione a 4 vie | Sistema di aspirazione a 4 vie | Sistema di aspirazione a 4 vie | Sistema di aspirazione a 4 vie |
| Sistema di cottura |
Fino a 350C |
Fino a 350C |
Fino a 350C |
Fino a 350C |
Fino a 350C |
Fino a 350C |
Fino a 350C |
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Sistema di controllo |
PLC |
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Vuoto finale |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
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Potenza totale |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
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Rivestimento Tempo di ciclo |
Circa 15-50 minuti per ciclo (A seconda dello strato di film di rivestimento dei diversi prodotti di rivestimento) |
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Dimensione del contenitore di consegna |
1 set 20GP |
1 set 20GP |
1 set 20GP |
1 set 40HQ |
1 set 40HQ |
1 set 20FR 1 set 40GP |
1 set 20FR 2 set 40HQ |
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Tempo di installazione della macchina |
7 giorni (1 ingegnere) |
7 giorni (1 ingegnere) |
7 giorni (1 ingegnere) |
10 giorni (2 ingegneri) |
10 giorni (2 ingegneri) |
15 giorni (2 ingegneri) |
20 giorni (2 ingegneri) |
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