|
διαμόρφωση Μοντέλο |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
|
Μέγεθος θαλάμου (MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Σύστημα κενού | Αντλία διάχυσης/Μοριακή αντλία + Αντλία Roots + Διβάθμια άμεσης οδήγησης περιστροφική αντλία + Αντλία συγκράτησης + Κρυογονική αντλία (προαιρετικό) | ||||||
|
Τόξο τροφοδοσία |
4 σετ | 8 σετ | 12 σετ | 16 σετ | 20 σετ | 24 σετ | 40 σετ |
| Πηγή τόξου | 4 σετ | 8 σετ | 12 σετ | 16 σετ | 20 σετ | 24 σετ | 40 σετ |
|
Προκατάληψη τροφοδοσία |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
|
Αέριο Σύστημα MFC |
Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων |
Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων |
| Σύστημα ψησίματος |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
|
Σύστημα ελέγχου |
PLC |
||||||
|
Απόλυτο κενό |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
|
Συνολική ισχύς |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
|
Επίστρωση Χρόνος κύκλου |
Περίπου 15 έως 50 λεπτά ένας κύκλος (Ανάλογα με το στρώμα φιλμ επίστρωσης διαφορετικών προϊόντων επίστρωσης) |
||||||
|
Μέγεθος δοχείου παράδοσης |
1 σετ 20GP |
1 σετ 20GP |
1 σετ 20GP |
1 σετ 40HQ |
1 σετ 40HQ |
1 σετ 20FR 1 σετ 40GP |
1 σετ 20FR 2 σετ 40HQ |
|
Χρόνος εγκατάστασης μηχανής |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
10 ημέρες (2 μηχανικοί) |
10 ημέρες (2 μηχανικοί) |
15 ημέρες (2 μηχανικοί) |
20 ημέρες (2 μηχανικοί) |
ΕΠΙΚΟΙΝΩΝΗΣΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ ΟΠΟΙΑΔΗΠΟΤΕ ΣΤΙΓΜΗ