Μηχανή επίστρωσης κενού PVD πλάσματος ιόντων πολλαπλών τόξων Νιτρίδιο χρωμίου/ Νιτρίδιο τιτανίου Επικάλυψη φιλμ Εξοπλισμός επίστρωσης ιόντων πλάσματος τόξου
Μηχανή επικάλυψης PVD με πολλαπλά ιόντα τόξου
,Εξοπλισμός επίστρωσης κενού για νιτρίδιο χρωμίου
,Επικαλυπτρικό πλάσματος τόξου για φιλμ νιτριδίου τιτανίου
Μηχανή επίστρωσης κενού PVD πλάσματος ιόντων Multi-Arc
Βασικά Πλεονεκτήματα
Εφαρμοσμένες Βιομηχανίες
Εφέ Επίστρωσης & Χρώματα
Τύποι Δομών
Υλικά Υποστρώματος
Υλικά Επίστρωσης
Υποστηρικτικές Γραμμές Παραγωγής
Αναλώσιμα
Εφαρμογές
Προσαρμογή
|
διαμόρφωση Μοντέλο |
Lion-700-ION |
Lion-1000-ION |
Lion-1300-ION |
Lion-1600-ION |
Lion-1800-ION |
Lion-2000-ION |
Lion-2200-ION |
|
Μέγεθος θαλάμου (MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1300*H1500 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2000*H2400 |
D2200*H4000 |
| Σύστημα κενού | Αντλία διάχυσης/Μοριακή αντλία + Αντλία Roots + Διβάθμια άμεσης οδήγησης περιστροφική αντλία + Αντλία συγκράτησης + Κρυογονική αντλία (προαιρετικό) | ||||||
|
Τόξο τροφοδοσία |
4 σετ | 8 σετ | 12 σετ | 16 σετ | 20 σετ | 24 σετ | 40 σετ |
| Πηγή τόξου | 4 σετ | 8 σετ | 12 σετ | 16 σετ | 20 σετ | 24 σετ | 40 σετ |
|
Προκατάληψη τροφοδοσία |
12KW |
20KW |
30KW |
40KW |
60KW |
60KW |
80KW |
|
Αέριο Σύστημα MFC |
Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων |
Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων | Σύστημα εισαγωγής 4 κατευθύνσεων |
| Σύστημα ψησίματος |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
Έως 350C |
|
Σύστημα ελέγχου |
PLC |
||||||
|
Απόλυτο κενό |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
|
Συνολική ισχύς |
50KW |
75KW |
145KW |
190KW |
250KW |
305KW |
455KW |
|
Επίστρωση Χρόνος κύκλου |
Περίπου 15 έως 50 λεπτά ένας κύκλος (Ανάλογα με το στρώμα φιλμ επίστρωσης διαφορετικών προϊόντων επίστρωσης) |
||||||
|
Μέγεθος δοχείου παράδοσης |
1 σετ 20GP |
1 σετ 20GP |
1 σετ 20GP |
1 σετ 40HQ |
1 σετ 40HQ |
1 σετ 20FR 1 σετ 40GP |
1 σετ 20FR 2 σετ 40HQ |
|
Χρόνος εγκατάστασης μηχανής |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
7 ημέρες (1 μηχανικός) |
10 ημέρες (2 μηχανικοί) |
10 ημέρες (2 μηχανικοί) |
15 ημέρες (2 μηχανικοί) |
20 ημέρες (2 μηχανικοί) |