진공 코팅 기계는 주로 비교적 높은 진공도에서 수행되어야 하는 코팅 유형을 지칭하며, 구체적으로는 진공 이온 증착, 마그네트론 스퍼터링, MBE(분자선 에피택시), PLD(펄스 레이저 증착) 등 많은 유형을 포함합니다. 주요 아이디어는 증착과 스퍼터링의 두 가지 유형으로 나뉩니다.
진공 코팅 기계 작동을 위한 환경 요구 사항:
진공 코팅 장비는 진공 조건에서 작동해야 하므로 장비는 진공에 대한 환경 요구 사항을 충족해야 합니다. 진공에 대한 환경 요구 사항은 일반적으로 두 가지 측면을 포함합니다. 즉, 장비가 위치한 실험실(또는 작업장)의 온도 및 공기 입자와 같은 주변 환경에 대한 진공 장비의 요구 사항과 진공 상태 또는 진공에 있는 부품 또는 표면에 대한 요구 사항입니다.
이 두 가지 측면은 밀접하게 관련되어 있습니다. 주변 환경의 품질은 진공 장비의 정상적인 사용에 직접적인 영향을 미치며, 진공 장비의 진공 챔버 또는 그 안에 설치된 부품의 청결 여부는 장비의 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 공기 중에 다량의 수증기와 먼지가 포함되어 있으면 진공 챔버를 청소하지 않고 오일 밀봉 기계 펌프를 사용하여 공기를 펌핑할 때 예상 진공도를 달성하기 어렵습니다. 우리가 아는 바와 같이, 오일 밀봉 기계 펌프는 금속에 부식성이 있거나 진공 오일과 반응하거나 입자 먼지를 포함하는 가스를 펌핑하는 데 적합하지 않습니다. 수증기는 응축성 가스입니다. 다량의 응축성 가스가 펌핑되면 펌프 오일에 대한 오염이 더욱 심각해져 펌프의 최종 진공도가 떨어지고 펌핑 성능이 저하됩니다.
산업 환경의 먼지는 분말, 연기 및 먼지로 구분됩니다. 분말은 분말 또는 고체 입자의 집합 또는 분산 상태의 물질입니다. 소위 분말은 작은 고체 입자의 집합을 의미하며, 입자는 하나씩 셀 수 있는 작은 물질을 의미합니다. 연기는 작은 고체 또는 액체 입자가 기체에 부유 상태로 존재하는 물질 시스템입니다. 입자 상태의 물질은 고체든 액체든 통칭하여 먼지 입자라고 할 수 있습니다. 공기 청정도의 기준은 먼지 입자 직경의 크기에 따라 결정되므로 클린룸의 수준을 공식화합니다. 이는 청결 요구 사항이 있는 산업 부문에 적합할 뿐만 아니라 깨끗한 환경에 대한 진공 요구 사항에도 적합합니다.
위는 Wenzhou Chicheng Vacuum Machinery Co., Ltd.에서 수집한 진공 코팅 기계 작동에 대한 환경 요구 사항입니다. 진공 코팅 기계 작동에 대한 환경 요구 사항에 대해 궁금한 점이 있으면 언제든지 전화로 문의하십시오.
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