Vakuum-Beschichtungsmaschinen beziehen sich hauptsächlich auf eine Art von Beschichtung, die unter einem relativ hohen Vakuumgrad durchgeführt werden muss, was konkret viele Arten umfasst, wie z. B. Vakuum-Ionenverdampfung, Magnetronsputtern, MBE (Molekularstrahlepitaxie), PLD (Pulsed Laser Deposition) usw. Die Hauptidee wird in zwei Typen unterteilt: Verdampfen und Sputtern.
Umgebungsanforderungen für den Betrieb von Vakuum-Beschichtungsmaschinen:
Vakuum-Beschichtungsanlagen müssen unter Vakuumbedingungen arbeiten, daher muss die Ausrüstung die Umgebungsanforderungen für Vakuum erfüllen. Die Umgebungsanforderungen für Vakuum umfassen im Allgemeinen zwei Aspekte: die Anforderungen von Vakuumausrüstung an die Umgebung wie Temperatur und Luftpartikel in dem Labor (oder der Werkstatt), in dem sie sich befindet, und die Anforderungen an Teile oder Oberflächen in einem Vakuumzustand oder Vakuum.
Diese beiden Aspekte sind eng miteinander verbunden. Die Qualität der Umgebung wirkt sich direkt auf die normale Nutzung der Vakuumausrüstung aus; und ob die Vakuumkammer der Vakuumausrüstung oder die darin installierten Teile sauber sind, wirkt sich direkt auf die Leistung der Ausrüstung aus. Wenn die Luft eine große Menge an Wasserdampf und Staub enthält, ist es schwierig, den erwarteten Vakuumgrad zu erreichen, wenn eine ölgedichtete mechanische Pumpe zum Abpumpen von Luft verwendet wird, ohne die Vakuumkammer zu reinigen. Wie wir alle wissen, sind ölgedichtete mechanische Pumpen nicht geeignet zum Pumpen von Gasen, die korrosiv auf Metalle wirken, mit Vakuumöl reagieren oder partikulären Staub enthalten. Wasserdampf ist ein kondensierbares Gas. Wenn eine große Menge an kondensierbarem Gas abgepumpt wird, ist die Verschmutzung des Pumpöls schwerwiegender, was zu einem Abfall des Endvakuums der Pumpe und einer Beschädigung der Pumpenleistung der Pumpe führt.
Staub in der industriellen Umgebung wird nach Pulver, Rauch und Staub unterschieden. Pulver ist eine Substanz im aggregierten oder dispergierten Zustand von Pulver- oder Feststoffpartikeln. Das sogenannte Pulver bezieht sich auf die Ansammlung winziger Feststoffpartikel, während Partikel sich auf winzige Substanzen beziehen, die einzeln gezählt werden können. Rauch ist ein Materialsystem, in dem winzige feste oder flüssige Partikel in einem schwebenden Zustand in Gasen existieren. Substanzen, ob fest oder flüssig, in einem partikulären Zustand können zusammenfassend als Staubpartikel bezeichnet werden. Der Standard für die Luftreinheit wird durch die Größe der Staubpartikeldurchmesser bestimmt, um die Reinraumklasse zu formulieren. Es ist nicht nur für industrielle Sektoren mit Reinheitsanforderungen geeignet, sondern auch für die Anforderungen von Vakuum für eine saubere Umgebung.
Oben sind die Umgebungsanforderungen für den Betrieb von Vakuum-Beschichtungsmaschinen, die von der Wenzhou Chicheng Vacuum Machinery Co., Ltd. gesammelt wurden. Wenn Sie noch Fragen zu den Umgebungsanforderungen für den Betrieb von Vakuum-Beschichtungsmaschinen haben, können Sie sich gerne telefonisch beraten lassen.
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