Les machines de revêtement sous vide désignent principalement un type de revêtement qui doit être effectué sous un degré de vide relativement élevé, ce qui comprend spécifiquement de nombreux types, tels que l'évaporation ionique sous vide, la pulvérisation cathodique magnétron, MBE (épitaxie par faisceau moléculaire), PLD (dépôt laser pulsé), etc. L'idée principale se divise en deux types : l'évaporation et la pulvérisation.
Exigences environnementales pour le fonctionnement des machines de revêtement sous vide :
Les équipements de revêtement sous vide doivent fonctionner dans des conditions de vide, par conséquent, l'équipement doit répondre aux exigences environnementales pour le vide. Les exigences environnementales pour le vide comprennent généralement deux aspects : les exigences des équipements sous vide pour l'environnement environnant, telles que la température et les particules d'air dans le laboratoire (ou l'atelier) où il est situé, et les exigences pour les pièces ou les surfaces en état de vide ou sous vide.
Ces deux aspects sont étroitement liés. La qualité de l'environnement environnant affecte directement l'utilisation normale des équipements sous vide ; et la propreté de la chambre à vide de l'équipement sous vide ou des pièces qui y sont installées affecte directement les performances de l'équipement. Si l'air contient une grande quantité de vapeur d'eau et de poussière, il est difficile d'atteindre le degré de vide escompté lors de l'utilisation d'une pompe mécanique à joint d'huile pour pomper l'air sans nettoyer la chambre à vide. Comme nous le savons tous, les pompes mécaniques à joint d'huile ne conviennent pas pour pomper des gaz corrosifs pour les métaux, réagissant avec l'huile à vide ou contenant des poussières particulaires. La vapeur d'eau est un gaz condensable. Lorsqu'une grande quantité de gaz condensable est pompée, la pollution de l'huile de la pompe sera plus grave, entraînant une baisse du vide ultime de la pompe et une détérioration des performances de pompage de la pompe.
La poussière dans l'environnement industriel se distingue par la poudre, les fumées et la poussière. La poudre est une substance à l'état agrégé ou dispersé de poudre ou de particules solides. La poudre fait référence à l'agrégation de minuscules particules solides, tandis que les particules font référence à de minuscules substances qui peuvent être comptées une par une. Les fumées sont des systèmes matériels dans lesquels de minuscules particules solides ou liquides existent à l'état flottant dans les gaz. Les substances, qu'elles soient solides ou liquides, à l'état particulaire peuvent être collectivement appelées particules de poussière. La norme de propreté de l'air est déterminée par la taille des diamètres des particules de poussière, afin de formuler le niveau des salles blanches. Elle convient non seulement aux secteurs industriels ayant des exigences de propreté, mais également aux exigences de vide pour un environnement propre.
Ce qui précède sont les exigences environnementales pour le fonctionnement des machines de revêtement sous vide collectées par Wenzhou Chicheng Vacuum Machinery Co., Ltd. Si vous avez encore des questions concernant les exigences environnementales pour le fonctionnement des machines de revêtement sous vide, n'hésitez pas à appeler pour une consultation.