Chọn mục tiêu lớp phủ chân không: kích thước, độ tinh khiết, màu sắc và phim chức năng được giải thích

Trong lĩnh vực của công nghệ lắng đọng hơi vật lý (PVD), vật liệu mục tiêu phục vụ như là "cơ sở nguyên liệu thô" cho việc hình thành phim, trực tiếp xác định ngoại hình, hiệu suất,và độ bềnCho dù cho các kết thúc trang trí, bảo vệ chức năng, hoặc các ứng dụng công nghệ cao, lựa chọn mục tiêu phù hợp đòi hỏi phải xem xét chính xác kích thước, độ tinh khiết, loại vật liệu,và tương thích với máy sơn chân khôngBài viết này giải thích các yếu tố chính trong việc khớp mục tiêu, với những hiểu biết từ các thực tiễn và đổi mới của ngành công nghiệp bởi Công nghệ chân không Lion King, một nhà cung cấp đáng tin cậy của các giải pháp PVD.

I. Thông tin kích thước quan trọng để khớp mục tiêu

Sự tương thích kích thước giữa mục tiêu và máy sơn chân không là không thể thương lượng cho việc phun ổn định và lắng đọng phim đồng đều.

1. Kích thước và hình dạng của mục tiêu

Các mục tiêu được thiết kế để phù hợp với các cấu hình máy cụ thể, với hai loại phổ biến thống trị sử dụng công nghiệp.có đường kính tiêu chuẩn từ 100mm đến 150mm, trong khi các mục tiêu xoay quy mô công nghiệp (đối với lớp phủ khối lượng lớn) kéo dài đến 1 ¢ 2 mét.Lion King Vacuum Technology khuyến cáo xác nhận các thông số kỹ thuật của máy chủ mục tiêu bao gồm khả năng tải tối đa và kích thước lắp đặt trước khi mua sắmVí dụ, các máy sơn LK-2000 của họ được tối ưu hóa cho các mục tiêu phẳng 120mm và các mục tiêu xoay 1,5m, đảm bảo tích hợp liền mạch và giảm thiểu tổn thất phun.

2. Độ dày và mật độ

Độ dày của mục tiêu trực tiếp ảnh hưởng đến tuổi thọ và hiệu quả phun.trong khi các mục tiêu gốm (mỏng manh theo bản chất) đòi hỏi thiết kế dày hơn (8 15mm) để ngăn ngừa nứt trong quá trình phun năng lượng caoMật độ cũng quan trọng: các mục tiêu mật độ thấp gây ra sự phóng ra hạt không đồng đều, dẫn đến độ dày phim không nhất quán.Các mục tiêu của Công nghệ chân không Lion King trải qua các quy trình ép nóng và ngâm chính xác, đạt mức độ mật độ trên 99,5% cho kim loại và 98% cho gốm sứ, đảm bảo hiệu suất phun ổn định.

3. Khả năng tương thích của tấm hỗ trợ

Các mục tiêu kim loại (ví dụ: nhôm, đồng) thường yêu cầu một tấm hỗ trợ (thường được làm bằng đồng hoặc hợp kim nhôm) để tăng độ dẫn nhiệt và hỗ trợ cơ học.Kích thước của mục tiêu phải phù hợp với kích thước của tấm hỗ trợ, với các lỗ bu lông thẳng hàng với máy chủ mục tiêu của máy.đảm bảo sự liên kết hoàn hảo với máy sơn của họ và giảm lỗi lắp đặt cho khách hàng.

II. Chọn độ tinh khiết: Nền tảng của chất lượng lớp phủ

Độ tinh khiết mục tiêu đề cập đến nồng độ của nguyên tố chính, với các tạp chất (ví dụ: sắt, crôm, oxy) ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất phim.Yêu cầu về độ tinh khiết khác nhau đáng kể theo ứng dụng:

1. Lớp phủ trang trí (5N5N5 Độ tinh khiết)

Đối với các ứng dụng trang trí như đồ trang sức, phần cứng hoặc trang trí ô tô, mục tiêu với độ tinh khiết 99,999% (5N) đến 99,9995% (5N5) là đủ.Các tạp chất trong phạm vi này hiếm khi ảnh hưởng đến sự đồng nhất màu sắc hoặc khả năng chống ăn mòn cơ bảnVí dụ, các mục tiêu đồng (5N tinh khiết) tạo ra tông màu vàng ấm, trong khi các mục tiêu titan (5N5) tạo ra lớp phủ màu xanh hoặc vàng rực rỡ khi kết hợp với nitơ hoặc oxy.Lion King Vacuum Technology cung cấp các mục tiêu trang trí cấp 5N phù hợp với dòng sơn trang trí LK-1500 của họ, cân bằng hiệu quả chi phí và chất lượng thẩm mỹ.

2. Lớp phủ chức năng và điện tử (6N + Độ tinh khiết)

Các lĩnh vực công nghệ cao như bán dẫn, pin mặt trời và bao bì điện tử yêu cầu các mục tiêu tinh khiết cực cao (99,9999% hoặc 6N trở lên).Ngay cả các tạp chất ở mức ppm cũng có thể làm gián đoạn tính dẫn mạch Ước tính tantali và đồng cho các quy trình chip 3nm đòi hỏi độ tinh khiết 6N + Đối với lớp phủ chống bức xạ và nhiệt độ cao, các mục tiêu hợp kim molybdenum-barium (MoBa20) (6N tinh khiết) cung cấp độ bảo vệ bức xạ và ổn định nhiệt đặc biệt.lý tưởng cho các ứng dụng hàng không vũ trụ và hạt nhân Các mục tiêu chức năng cấp 6N của Lion King Vacuum Technology đã trải qua các thử nghiệm ICP-MS nghiêm ngặt để đảm bảo mức độ tạp chất dưới 1ppm, đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của khách hàng điện tử và hàng không vũ trụ.

3. Kiểm soát thành phần mục tiêu hợp kim

Các mục tiêu hợp kim (ví dụ: TiAl, CuNi) đòi hỏi phải kiểm soát chính xác tỷ lệ các yếu tố để đạt được các tính chất mong muốn.Tỷ lệ Al tạo ra lớp phủ màu xám tím với khả năng chống nhiệt độ cao vượt trội, trong khi CuNi (70:30) tạo ra các bộ phim màu đồng với khả năng chống ăn mòn tuyệt vời.Lion King Vacuum Technology sử dụng nấu chảy cảm ứng chân không để đảm bảo phân bố nguyên tố đồng đều trong mục tiêu hợp kim,với độ lệch thành phần trong vòng ± 0,1%, quan trọng cho hiệu suất phim nhất quán.

III. Lớp phủ màu: Vật liệu mục tiêu so với màu phủ

Màu sắc của lớp phủ PVD chủ yếu được xác định bởi vật liệu mục tiêu và khí quyển phun (ví dụ: nitơ, oxy).

Nhóm kỹ thuật của Lion King Vacuum Technology giúp khách hàng lựa chọn mục tiêu và điều chỉnh các thông số khí quyển.sử dụng máy sơn đa khí quyển LK-3000 của họ để đạt được màu sắc tùy chỉnh bằng cách tinh chỉnh tỷ lệ nitơ-oxygen với các mục tiêu titan.

IV. Bộ phim chức năng: Chọn mục tiêu cho các tính chất cụ thể

Các lớp phủ chức năng (chống vân tay, chống bức xạ, chống mòn) dựa trên các vật liệu mục tiêu chuyên biệt để cung cấp hiệu suất mong muốn:

1. Lớp phủ chống dấu vân tay

Màn hình chống vân tay đẩy dầu và nước, thường được sử dụng trên màn hình điện thoại thông minh và các thiết bị bếp.F) mục tiêu hoặc silic oxit (SiO2) mục tiêu với chất phụ gia nhồi nước là lý tưởng. Lion King Vacuum Technology® loạt mục tiêu chống vân tay, kết hợp với hệ thống PVD tăng cường plasma của họ, sản xuất phim với góc tiếp xúc nước trên 110 °,đảm bảo khả năng chống vết bẩn lâu dài.

2. Lớp phủ chống bức xạ

Để bảo vệ các thiết bị điện tử khỏi tia X hoặc tia gamma, các mục tiêu hợp kim molybdenum-barium (MoBa20) được ưa thích.trong khi molybdenum cung cấp sự ổn định cấu trúc ở nhiệt độ vượt quá 1000 ° C Đối với các thiết bị điện tử tiêu dùng (ví dụ: màn hình thiết bị y tế), các mục tiêu thiếc oxit (SnO2) với thuốc kích thích indi cung cấp bảo vệ bức xạ nhẹ.Lion King Vacuum Technology cung cấp các mục tiêu MoBa20 cho dòng sơn hiệu suất cao LK-4000 của họ, được sử dụng rộng rãi trong sản xuất thiết bị hàng không và y tế.

3. Lớp phủ chống mòn và chống ăn mòn

Các mục tiêu titan nitride (TiN) (được hình thành bằng cách phun Ti trong nitơ) tạo ra các tấm cứng màu vàng với độ cứng 2000 + HV, lý tưởng cho các công cụ cắt và các bộ phận cơ khí.Đối với khả năng chống ăn mòn cực cao, các mục tiêu gốm zirconium oxide (ZrO2) tạo ra các bộ phim dày đặc, trơ mà chịu được các hóa chất khắc nghiệt.Các mục tiêu chống mòn của Lion King Vacuum Technology được tối ưu hóa cho các hệ thống phun năng lượng cao, đạt được độ dính của phim vượt quá 50N/cm2 (theo tiêu chuẩn ASTM D3359).

4. Lớp phủ E thấp (Low Emissivity)

Lớp phủ thủy tinh E thấp làm giảm chuyển nhiệt, sử dụng các mục tiêu bạc (Ag) làm lớp chức năng cốt lõi ❖ bạc có độ phản xạ hồng ngoại cao ngăn chặn bức xạ nhiệt.Lion King Vacuum Technology's mục tiêu bạc tinh khiết cao (99.999% độ tinh khiết) giảm thiểu oxy hóa trong quá trình phun, đảm bảo hiệu suất Low-E lâu dài cho kính kiến trúc.

V. Các cân nhắc chính cho khả năng tương thích giữa mục tiêu và máy

Ngoài kích thước và vật liệu, lựa chọn mục tiêu phải phù hợp với các thông số kỹ thuật của máy sơn chân không:

•Khả năng tương thích: Các mục tiêu kim loại hoạt động với điện DC (1 ′′ 10kW), trong khi các mục tiêu gốm đòi hỏi điện RF (0,5 ′′ 5kW) để vượt qua cách nhiệt.đảm bảo khả năng tương thích với hệ thống điện DC/RF lai của họ.

•Yêu cầu làm mát: Sputtering công suất cao tạo ra nhiệt đáng kể Ứng dụng quay (với các kênh làm mát bên trong) được ưa thích cho sản xuất liên tục để ngăn chặn mục tiêu tan chảy.Các mục tiêu quay của Công nghệ Vacuum Lion King có thiết kế làm mát tối ưu, giảm nhiệt độ bề mặt 30% so với mục tiêu tiêu chuẩn.

•Tùy chỉnh: Đối với các ứng dụng độc đáo (ví dụ: màu sắc tùy chỉnh, phim chức năng đặc biệt),Công nghệ chân không Lion King cung cấp phát triển mục tiêu tùy chỉnh từ công thức vật liệu đến thiết kế kích thước đảm bảo tích hợp liền mạch với máy sơn của họ và đáp ứng nhu cầu cụ thể của khách hàng.

Kết luận

Chọn mục tiêu phù hợp cho máy sơn chân không là một quá trình có hệ thống cân bằng kích thước, độ tinh khiết, loại vật liệu và khả năng tương thích với máy.Các thành phần điện tử, hoặc các ứng dụng môi trường khắc nghiệt, hiểu các yếu tố chính này đảm bảo chất lượng lớp phủ tối ưu và hiệu quả sản xuất.Lion King Vacuum Technology® chuyên môn về tích hợp máy mục tiêu® từ các sản phẩm tiêu chuẩn hóa đến các giải pháp tùy chỉnh® cho phép các nhà sản xuất phát huy đầy đủ tiềm năng của công nghệ PVDBằng cách hợp tác với các nhà cung cấp đáng tin cậy và tận dụng những hiểu biết kỹ thuật, các doanh nghiệp có thể đạt được các lớp phủ hiệu suất cao phù hợp với nhu cầu của các thị trường đa dạng ngày nay.

(Lưu ý: tài liệu phần nội dung có thể đượcAIsinh thành)