Выбор цели вакуумного покрытия: объяснение размеров, чистоты, цветов и функциональных пленок

В области физической технологии отложения паров (PVD) целевой материал служит "сырьевой основой" для формирования пленки, непосредственно определяя внешний вид, производительность,и долговечностьНезависимо от того, для декоративной отделки, функциональной защиты или высокотехнологичного применения, выбор правильной цели требует тщательного рассмотрения размеров, чистоты, типа материала,и совместимость с машинами для вакуумного покрытияВ этой статье расшифровываются ключевые факторы при сопоставлении целей с проницательностью отраслевых практик и инноваций Lion King Vacuum Technology, надежного поставщика решений PVD.

I. Критическая информация о измерениях для соответствия целей

Размерная совместимость между целью и вакуумной машиной покрытия не подлежит обсуждению для стабильного распыления и равномерного отложения пленки.

1. Размер и форма цели

Цели предназначены для конкретных конфигураций машин, причем два распространенных типа доминируют в промышленном использовании.имеют стандартный диаметр от 100 до 150 мм, в то время как вращающиеся цели промышленного масштаба (для большого объема покрытия) достигают 1 ‰ 2 метров в длину.Lion King Vacuum Technology рекомендует подтвердить спецификации для целевого держателя машины, включая максимальную грузоподъемность и размеры установки, перед закупкойНапример, их покрывающие машины серии LK-2000 оптимизированы для 120 мм плоских целей и 1,5 м вращающихся целей, обеспечивая бесшовную интеграцию и минимальную потерю распыливания.

2Толщина и плотность

Толщина цели напрямую влияет на срок службы и эффективность распыливания.в то время как керамические цели (по своей природе хрупкие) требуют более толстых конструкций (815 мм), чтобы предотвратить трещины во время высокопроизводительного распыливанияПлотность не менее важна: объекты с низкой плотностью вызывают неравномерное выброс частиц, что приводит к непоследовательной толщине пленки.Цели компании Lion King Vacuum Technology подвергаются высокоточным процессам горячего прессования и спекания, достигая плотности более 99,5% для металлов и 98% для керамики, обеспечивая стабильную производительность распыливания.

3. Совместимость пластинки опоры

Металлические цели (например, алюминий, медь) часто требуют поддерживающей пластины (обычно из меди или алюминиевого сплава) для повышения теплопроводности и механической поддержки.Размер цели должен соответствовать размеру подпорной пластины. Общие толщины подпорной пластины составляют 10-20 мм.Lion King Vacuum Technology предоставляет персонализированные услуги по бурению подпорных плит.обеспечивая идеальное выравнивание с их машинами покрытия и уменьшая ошибки установки для клиентов.

II. Выбор чистоты: основа качества покрытия

Целевая чистота относится к концентрации первичного элемента, причем примеси (например, железо, хром, кислород) напрямую влияют на производительность пленки.Требования к чистоте значительно различаются в зависимости от применения:

1. Декоративные покрытия (5N5N5 Чистота)

Для декоративных применений, таких как ювелирные изделия, оборудование или автомобильная отделка, достаточно целей с чистотой от 99,999% (5N) до 99,9995% (5N5).Нечистоты в этом диапазоне редко влияют на однородность цвета или базовую коррозионную стойкостьНапример, медные цели (5N чистоты) создают теплые золотистые тона, в то время как титановые цели (5N5) создают яркие голубые или золотые покрытия при сочетании с азотом или кислородом.Lion King Vacuum Technology поставляет декоративные цели класса 5N, специально разработанные для их линии декоративного покрытия LK-1500, сбалансированной экономической эффективности и эстетического качества.

2Функциональные и электронные покрытия (6N+ чистота)

Высокотехнологичные области, такие как полупроводники, солнечные батареи и электронная упаковка, требуют ультравысокочистых целей (99,9999% или 6N и выше).Даже примеси на уровне ppm могут нарушать проводимость цепи ¦танталь и медные цели для 3нм процессов чипа требуют чистоты 6N + Для антирадиационных и высокотемпературных покрытий цели из сплава молибдена-бария (MoBa20) (6N чистоты) обеспечивают исключительную радиационную защиту и тепловую стабильность.идеально подходит для аэрокосмических и ядерных применений Функциональные цели Lion King Vacuum Technology6N проходят строгие испытания ICP-MS, чтобы обеспечить уровень примеси ниже 1ppm, отвечая строгим стандартам электронных и аэрокосмических клиентов.

3Контроль состава цели сплава

Цели сплавов (например, TiAl, CuNi) требуют точного контроля соотношений элементов для достижения желаемых свойств.Al ratio производит серо-фиолетовые покрытия с превосходной высокотемпературной стойкостью, в то время как CuNi (70:30) дает латунные пленки с отличной коррозионной стойкостью.,с отклонением состава в пределах ± 0,1%, критически важным для постоянной производительности пленки.

III. Цветовое покрытие: целевой материал против цвета покрытия

Цвет ПВД-покрытий в первую очередь определяется целевым материалом и атмосферой распыливания (например, азотом, кислородом).

Техническая группа "Львиного короля вакуумных технологий" помогает клиентам в выборе целей и настройке параметров атмосферы, например,используя свою многоатмосферную машину покрытия LK-3000 для получения индивидуальных цветов путем тонкой настройки соотношений азот-кислород с титановыми целями.

IV. Функциональные пленки: выбор целей для определенных свойств

Функциональные покрытия (противоотпечатки пальцев, антирадиационные, износостойкие) используют специализированные целевые материалы для достижения желаемой производительности:

1Антиотпечатные покрытия

Противоотпечатки отталкивают масло и воду, обычно используемые на экранах смартфонов и кухонных приборов.F) цели или цели оксида кремния (SiO2) с гидрофобными добавками идеально подходят, они образуют пленку с низкой поверхностной энергией, которая сопротивляется адгезии отпечатков пальцев.Серия целей против отпечатков пальцев Lion King Vacuum Technology, в сочетании с их системой PVD с повышенной плазмой, производит пленки с углом контакта с водой выше 110°,обеспечение длительной стойкости к пятнам.

2. Противоизлучательные покрытия

Для защиты электронных устройств от рентгеновского или гамма-излучения предпочтительнее использовать цели из сплава молибден-барий (MoBa20).в то время как молибден обеспечивает структурную стабильность при температурах более 1000°C Для потребительской электроники (например, дисплеев медицинского оборудования) цели с оксидом олова (SnO2) с допингом индия обеспечивают легкую защиту от излучения.Lion King Vacuum Technology поставляет цели MoBa20 для своей высокопроизводительной линии покрытия LK-4000, широко используется в аэрокосмической и медицинской промышленности.

3- износостойкие и коррозионностойкие покрытия

Цели из нитрида титана (TiN) (образуются путем распыливания тианита в азоте) создают твердые, золотистые пленки с твердостью более 2000 HV, идеально подходящие для резки инструментов и механических частей.Для высокой коррозионной стойкости, цирконовый оксид (ZrO2) керамические цели производят плотные, инертные пленки, которые выдерживают суровые химические вещества.Противоположные цели Львиного Короля Вакуум Технологии оптимизированы для их мощных систем распыливания, достигающий адгезии пленки, превышающей 50N/cm2 (по стандартам ASTM D3359).

4Покрытия с низкой E (низкой эмиссивностью)

Стеклянные покрытия с низким содержанием E уменьшают теплопередачу, используя серебряные (Ag) цели в качестве основного функционального слоя.Цели серебра высокой чистоты от компании Lion King Vacuum Technology (99.999% чистоты) минимизируют окисление во время распыливания, обеспечивая долгосрочную производительность с низким уровнем E для архитектурного стекла.

V. Ключевые соображения совместимости цели и машины

Помимо размеров и материала, выбор цели должен соответствовать техническим параметрам машины для вакуумного покрытия:

•Совместимость питания: Металлические цели работают с постоянным током (110 кВт), в то время как керамические цели требуют радиочастотного питания (0,5 5 кВт), чтобы преодолеть изоляцию.обеспечение совместимости с их гибридными системами питания постоянного тока/частотных частот.

•Требования к охлаждению: Высокопроизводительное распыливание генерирует значительное количество тепла; для непрерывного производства предпочтительнее использовать вращающиеся цели (с внутренними охлаждающими каналами), чтобы предотвратить таяние цели.В вращающихся мишенях "Львиного короля" есть оптимизированные конструкции охлаждения., снижая температуру поверхности на 30% по сравнению со стандартными целями.

•Конфигурация: для уникальных применений (например, индивидуальные цвета, специализированные функциональные пленки),Lion King Vacuum Technology предлагает индивидуальную целевую разработку от формулировки материала до размерного дизайна, обеспечивая бесшовную интеграцию с их машинами по покрытию и удовлетворение конкретных потребностей клиента.

Заключение

Выбор правильной цели для вакуумных покрытий является систематическим процессом, который балансирует размеры, чистоту, тип материала и совместимость машины.электронные компоненты, или применения в экстремальных условиях, понимание этих ключевых факторов обеспечивает оптимальное качество покрытия и эффективность производства.Опыт Lion King Vacuum Technology в области интеграции целей и машин от стандартизированных продуктов до индивидуальных решений позволяет производителям раскрыть весь потенциал технологии PVDСотрудничая с надежными поставщиками и используя технические знания, предприятия могут достичь последовательных высокопроизводительных покрытий, которые отвечают требованиям современных различных рынков.

(Замечание: Документальный материал может бытьА.Л.Рождение)