انتخاب هدف پوشش خلاء: ابعاد، خلوص، رنگ ها و فیلم های کاربردی توضیح داده شده است

در حوزه تکنولوژی تثبیت بخار فیزیکی (PVD) ، ماده هدف به عنوان "بنیاد مواد اولیه" برای تشکیل فیلم عمل می کند و به طور مستقیم ظاهر، عملکرد، عملکرد و عملکرد پوشش را تعیین می کند.و دوامچه برای پوشش های تزئینی، محافظت های کاربردی، یا کاربردهای پیشرفته، انتخاب هدف مناسب نیاز به توجه دقیق به ابعاد، خلوص، نوع مواد،و سازگاری با ماشین های پوشش خلاءاین مقاله عوامل کلیدی در تطبیق هدف را با بینش از شیوه های صنعت و نوآوری های Lion King Vacuum Technology، ارائه دهنده قابل اعتماد راه حل های PVD، آشکار می کند.

I. اطلاعات ابعاد حیاتی برای تطابق هدف

سازگاری ابعادی بین هدف و ماشین پوشش خلاء برای اسپوتینگ پایدار و رسوب یکنواخت فیلم قابل مذاکره نیست. سه پارامتر اصلی نیاز به توجه اصلی دارند:

1اندازه و شکل هدف

اهداف طراحی شده اند تا متناسب با پیکربندی های خاص ماشین باشد، با دو نوع رایج که در استفاده صنعتی غالب هستند. اهداف مسطح، معمولا در آزمایشگاه یا تولید دسته کوچک استفاده می شود.دارای قطر استاندارد از 100mm تا 150mm، در حالی که اهداف چرخش در مقیاس صنعتی (برای پوشش حجم بالا) به طول 1 ′′ 2 متر می رسد.Lion King Vacuum Technology توصیه می کند قبل از خرید، مشخصات دارنده هدف ماشین را تایید کنید، از جمله حداکثر ظرفیت بارگیری و ابعاد نصببه عنوان مثال ، ماشین های پوشش سری LK-2000 آنها برای اهداف مسطح 120 میلی متر و اهداف چرخان 1.5 متر بهینه شده اند ، که یکپارچگی بی نقص و حداقل از دست دادن اسپتر را تضمین می کند.

2ضخامت و تراکم

ضخامت هدف به طور مستقیم بر عمر خدمت و کارایی اسپوتینگ تاثیر می گذارد. اکثر اهداف فلزی دارای ضخامت 3 ≈ 10 میلی متر هستند.در حالی که اهداف سرامیکی (به طور طبیعی شکننده) نیاز به طرح های ضخیم تر (815mm) برای جلوگیری از ترک در هنگام اسپوتر قدرت بالاچگالی نیز به همان اندازه مهم است: اهداف کم چگالی باعث خارج شدن ذرات نابرابر می شوند، که منجر به ضخامت فیلم ناسازگار می شود.هدف های Lion King Vacuum Technology از فرایندهای دقیق فشار گرم و سینتر شدن استفاده می کنند، دستیابی به سطوح چگالی بالاتر از 99.5٪ برای فلزات و 98٪ برای سرامیک، اطمینان از عملکرد استقرار است.

3سازگاری صفحه پشتیبان

اهداف فلزی (به عنوان مثال، آلومینیوم، مس) اغلب نیاز به یک صفحه پشتیبان (معمولا از مس یا آلیاژ آلومینیوم ساخته شده) برای افزایش رسانایی حرارتی و پشتیبانی مکانیکی دارند.اندازه هدف باید با ابعاد صفحه پشتی مطابقت داشته باشد. ضخامت صفحه پشتی مشترک 1020 میلی متر است.، با سوراخ های بولت تراز به نگهدارنده هدف ماشین. شیر پادشاه واکوم تکنولوژی ارائه خدمات حفاری صفحه پشتی سفارشی،تضمین هماهنگی کامل با ماشین های پوشش و کاهش اشتباهات نصب برای مشتریان.

II. انتخاب خلوص: پایه و اساس کیفیت پوشش

خلوص هدف به غلظت عنصر اصلی اشاره دارد، با ناخالصی ها (به عنوان مثال آهن، کروم، اکسیژن) که به طور مستقیم بر عملکرد فیلم تاثیر می گذارد.الزامات خلوص به طور قابل توجهی با کاربرد متفاوت است:

1پوشش های تزئینی (5N5N5 طهارت)

برای کاربردهای تزئینی مانند جواهرات، سخت افزاری، یا پوشش خودرو، اهداف با 99.999٪ (5N) تا 99.999٪ (5N5) خلوص کافی است.ناخالصی ها در این محدوده به ندرت بر یکنواخت رنگ یا مقاومت بنیادی در برابر خوردگی تأثیر می گذارندبه عنوان مثال، اهداف مس (5N خلوص) تولید تن های طلایی گرم، در حالی که اهداف تیتانیوم (5N5) ایجاد پوشش های آبی یا طلایی در هنگام ترکیب با نیتروژن یا اکسیژن.شیر پادشاه وکیوم تکنولوژی تامین کننده 5N درجه هدف های تزئینی متناسب با LK-1500 خود را پوشش تزئینی خط، متعادل سازی هزینه-کارایی و کیفیت زیبایی.

2پوشش های کاربردی و الکترونیک (6N + خلوص)

زمینه های فن آوری بالا مانند نیمه هادی ها، سلول های خورشیدی و بسته بندی الکترونیکی نیاز به اهداف بسیار خالص (99.9999٪ یا 6N و بالاتر) دارند.حتی ناخالصی های سطح ppm می توانند رسانایی مدار را مختل کنند. اهداف تانتالوم و مس برای فرآیندهای تراشه 3nm نیاز به 6N+ دارند.برای پوشش ضد تابش و درجه حرارت بالا، اهداف آلیاژ مولیبدن-باریوم (MoBa20) (6N خالص) محافظت از تابش و ثبات حرارتی استثنایی را ارائه می دهند.مناسب برای کاربردهای هوافضا و هسته ای هدف های عملکردی درجه 6N Lion King Vacuum Technology از آزمون های سختگیرانه ICP-MS برای اطمینان از سطح ناخالصی زیر 1ppm، و برآورده کردن استانداردهای سختگیرانه مشتریان الکترونیک و هوافضا برخوردار است.

3کنترل ترکیب هدف آلیاژ

هدف های آلیاژ (به عنوان مثال، TiAl، CuNi) نیاز به کنترل دقیق نسبت عناصر برای دستیابی به خواص مورد نظر دارند. آلیاژ TiAl با 50:50 Ti:Al ratio پوشش های خاکستری بنفش با مقاومت درجه حرارت بالا را تولید می کند، در حالی که CuNi (70:30) فیلم های رنگ برنجی با مقاومت بسیار عالی در برابر خوردگی را تولید می کند. تکنولوژی شیر پادشاه خلاء از ذوب کردن محرک خلاء برای اطمینان از توزیع یکنواخت عناصر در اهداف آلیاژ استفاده می کند.,با انحراف ترکیب در حدود ± 0.1٪، برای عملکرد ثابت فیلم حیاتی است.

III. پوشش رنگ: مواد هدف در مقابل رنگ پوشش

رنگ روکش های PVD عمدتاً توسط مواد مورد نظر و جو اسپتر (به عنوان مثال نیتروژن، اکسیژن) تعیین می شود. در زیر یک راهنمای عملی برای الزامات رنگ رایج ارائه شده است:

تیم فنی Lion King Vacuum Technology به مشتریان در انتخاب اهداف و تنظیم پارامترهای جو کمک می کندبا استفاده از ماشین پوشش چند اتمسفر LK-3000 خود برای دستیابی به رنگ های سفارشی با تنظیم دقیق نسبت نیتروژن-اکسیژن با اهداف تیتانیوم.

فیلم های کاربردی: انتخاب هدف برای خواص خاص

پوشش های کاربردی (ضد اثر انگشت، ضد اشعه، مقاوم در برابر لباس) برای ارائه عملکرد مورد نظر به مواد هدف تخصصی تکیه می کنند:

1پوشش ضد اثر انگشت

فیلم های ضد اثر انگشت، روغن و آب را دفع می کنند، که معمولاً در صفحه نمایش تلفن های هوشمند و لوازم آشپزخانه استفاده می شود.F) اهداف یا اهداف اکسید سیلیکون (SiO2) با افزودنی های هیدروفوبک ایده آل هستند. سيريز هدف ضد اثر انگشت Lion King Vacuum Technology، همراه با سيستم پلاسما افزايش شده PVD، فيلم هايي با زاويه تماس با آب بالاتر از 110 درجه تولید مي کندتضمین مقاومت طولانی مدت در برابر لکه.

2پوشش های ضد تابش

برای محافظت از دستگاه های الکترونیکی از اشعه ایکس یا اشعه گاما، اهداف آلیاژ مولیبدنوم-باریوم (MoBa20) ترجیح داده می شود.در حالی که مولیبدن ثبات ساختاری را در دمای بالاتر از 1000 درجه سانتیگراد فراهم می کند.برای لوازم الکترونیکی مصرف کننده (به عنوان مثال، نمایشگاه تجهیزات پزشکی) ، اهداف اکسید قلع (SnO2) با داروی اندیوم محافظت از تشعشعات سبک را ارائه می دهند.شیر پادشاه واکوم تکنولوژی اهداف MoBa20 را برای خط پوشش LK-4000 با عملکرد بالا عرضه می کند، به طور گسترده ای در صنعت هوافضا و دستگاه های پزشکی استفاده می شود.

3پوشش های مقاوم در برابر فرسایش و خوردگی

هدف های تیتانیوم نیترید (TiN) (که با پاشاندن Ti در نیتروژن تشکیل می شوند) فیلم های سخت و طلایی را با سختی 2000 + HV ایجاد می کنند، ایده آل برای برش ابزار و قطعات مکانیکی.برای مقاومت شدید در برابر خوردگیهدفهای سرامیکی زرکونیوم اکسید (ZrO2) فیلم های متراکم و بی اثر را تولید می کنند که در برابر مواد شیمیایی خشن مقاومت می کنند.هدف های مقاوم در برابر فرسایش شرکت شیر کنگ واکوم تکنولوژی برای سیستم های پرتاب قدرت بالا بهینه شده اند، دستیابی به چسبندگی فیلم بیش از 50N/cm2 (بر اساس استانداردهای ASTM D3359).

4پوشش های کم E (کم انتشار)

پوشش های شیشه ای کم E انتقال گرما را کاهش می دهد، با استفاده از اهداف نقره (Ag) به عنوان لایه اصلی عملکردی ✓ نقره ✓ بازتاب پذیری مادون قرمز بالا از تابش حرارتی جلوگیری می کند.هدف های نقره ای با طهارت بالا توسط Lion King Vacuum Technology.999٪ خلوص) اکسیداسیون را در طول اسپتر کردن به حداقل می رساند و عملکرد Low-E طولانی مدت را برای شیشه معماری تضمین می کند.

V. ملاحظات کلیدی برای سازگاری هدف و ماشین

فراتر از ابعاد و مواد، انتخاب هدف باید با پارامترهای فنی دستگاه پوشش خلاء هماهنگ شود:

•سازگاری برق: اهداف فلزی با قدرت DC (1 ¥ 10 کیلو وات) کار می کنند، در حالی که اهداف سرامیکی برای غلبه بر عایق نیاز به قدرت RF (0.5 ¥ 5 کیلو وات) دارند. اهداف Lion King Vacuum Technology با محدوده قدرت توصیه شده برچسب گذاری شده اند.اطمینان از سازگاری با سیستم های برق ترکیبی DC/RF.

•الزامات خنک کننده: اسپتر کردن با قدرت بالا باعث تولید گرما قابل توجهی می شود هدف های چرخشی (با کانال های خنک کننده داخلی) برای تولید مستمر برای جلوگیری از ذوب هدف ترجیح داده می شوند.هدف های چرخشی شیر پادشاه واکوم تکنولوژی دارای طراحی خنک کننده بهینه شده هستند، کاهش دمای سطح با 30٪ در مقایسه با اهداف استاندارد.

•سفارشی سازی: برای کاربردهای منحصر به فرد (به عنوان مثال، رنگ های سفارشی، فیلم های کاربردی تخصصی)شیر پادشاه واکوم تکنولوژی ارائه توسعه هدف سفارشی از فرمول مواد به طراحی ابعاد تضمین ادغام یکپارچه با ماشین های پوشش و پاسخگویی به نیازهای خاص مشتری.

نتیجه گیری

انتخاب هدف مناسب برای ماشین های پوشش خلاء یک فرآیند سیستماتیک است که ابعاد، خلوص، نوع مواد و سازگاری ماشین را متعادل می کند.اجزای الکترونیکی، یا کاربردهای محیط های شدید، درک این عوامل کلیدی کیفیت پوشش و بهره وری تولید را تضمین می کند.تخصص Lion King Vacuum Technology در ادغام هدف-ماشین از محصولات استاندارد گرفته تا راه حل های سفارشی به تولید کنندگان امکان می دهد تا پتانسیل کامل فناوری PVD را باز کنندبا همکاری با تامین کنندگان قابل اعتماد و استفاده از بینش های فنی، شرکت ها می توانند پوشش های ثابت و با عملکرد بالا را که نیازهای بازارهای متنوع امروز را برآورده می کنند، به دست آورند.

(نوتی: مطالب بخشی از مستند ممکن است توسطال生成)