Cam kaplama için optik elektron ışın tipi Buharlama PVD Vakum Kaplama Makinesi

Ambalaj ve teslimat

Paketleme Detayları

CICEL Paslanmaz Çelik Bariyer Çoklu Ark İyon PVD Vakum Kaplama Makinesi için plastik film örtüsü ve ahşap kutu yüksek küp ihracat standart ambalaj konteyneri

Sevk limanı

Guangdong

Satış Birimleri

Tek ürün

Tek paket boyutu

80X25X25 cm

Tek brüt ağırlık

10.000 KG

Ambalaj örnekleri

Aslan KralElektron Işınlı Optik Kaplama Makinesi

Teknolojiye Genel Bakış

Elektron Işınlı Optik Kaplama Makinesi, hassas optik imalat alanında temel bir ekipmandır. Yüksek erime noktalı optik malzemeleri eritmek, buharlaştırmak ve iyonlaştırmak için yüksek enerjili elektron ışınları kullanır, daha sonra buharlaşan malzemeleri ultra ince, düzgün ve yüksek performanslı optik filmler oluşturmak için alt tabakaların yüzeyine biriktirir. Bu filmler, optik, elektronik, havacılık ve uzay ve yarı iletkenler gibi endüstrilerdeki cihazlar için gerekli olan yansıma önleyici filmler, yüksek yansıma filmleri, filtre filmleri ve polarizasyon filmleri gibi optik bileşenlerde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Çalışma Prensibi

Vakum Ortamı Yaratma

Tüm kaplama işlemi yüksek vakumlu bir odada gerçekleştirilir. Bu ortam iki kritik amaca hizmet eder:

Buharlaşan malzemenin havayla reaksiyona girmesini veya gaz molekülleri tarafından dağılmasını engelleyerek film saflığını sağlar.

Buharlaşan atomlar/moleküller ile gaz molekülleri arasındaki çarpışmayı azaltarak, buharın alt tabakaya sorunsuz bir şekilde ulaşmasını ve yoğun bir film oluşturmasını sağlar.

Elektron Işın Üretimi ve Hızlandırma

Bir elektron tabancası, termiyonik emisyon yoluyla elektron üretir. Elektronlar daha sonra yüksek kinetik enerji elde etmek için yüksek voltajlı bir elektrik alanı tarafından hızlandırılır.

Hedef Malzeme Isıtma ve Buharlaşma

Yüksek enerjili elektron ışını, bir manyetik mercek tarafından odaklanır ve hedef malzemenin yüzeyine yönlendirilir. Elektronların kinetik enerjisi, hedefle çarpışma üzerine termal enerjiye dönüştürülerek, malzemeyi hızla buharlaşma sıcaklığına kadar ısıtır (alümina gibi 2000°C'nin üzerindeki erime noktalarına sahip malzemeler için bile. Daha sonra malzeme, atomlardan, moleküllerden veya iyonlardan oluşan yüksek yoğunluklu bir buhara buharlaşır.

Buhar Biriktirme ve Film Oluşumu

Buharlaşan malzeme parçacıkları vakum odasında düz bir çizgide hareket eder ve dönen alt tabakanın yüzeyine birikir. Parçacıklar biriktikçe, belirli bir yapıya ve optik özelliklere sahip ince bir film oluştururlar.

Yerinde İzleme ve Kontrol

Kaplama işlemi sırasında, film kalınlığını ve kırılma indeksini gerçek zamanlı olarak izlemek için bir kuvars kristal mikrobalansı veya optik izleme sistemi kullanılır. Sistem, film tasarım gereksinimlerini karşıladığından emin olmak için elektron ışını gücü, alt tabaka sıcaklığı ve biriktirme hızı gibi parametreleri ayarlayan kontrol ünitesine veri geri bildirimi sağlar.

Temel Avantajlar

Yüksek Erime Noktalı Malzemeler İçin Yüksek Buharlaşma Verimliliği

Elektron ışınları doğrudan hedefi ısıtır, erime noktası > 3000°C olan malzemelerin buharlaşmasını sağlar.

Yüksek Film Saflığı

Vakum ortamı ve temassız ısıtma, filmdeki safsızlıkları en aza indirir.

Hassas Kalınlık Kontrolü

Yerinde izleme sistemleri ve ayarlanabilir elektron ışını gücü, film kalınlığı kontrol doğruluğunu ±0,1 nm'ye kadar sağlar ve çok katmanlı optik filmlerin gereksinimlerini karşılar.

Geniş Malzeme Uyumluluğu

Oksitler, florürler, metaller ve hatta seramiklerle uyumlu olup, uygulama aralıklarını genişletir.

Yüksek Biriktirme Hızı

Biriktirme hızları 1–10 nm/s'ye ulaşabilir ve büyük partili optik bileşenler için üretim verimliliğini artırır.

Uygulanan Endüstriler

Optik İletişim

Işık iletimi sırasında düşük sinyal kaybı sağlayarak optik fiberler ve optik kuplörler için ince filmlerin kaplanması.

Tüketici Elektroniği

Akıllı telefon/dizüstü bilgisayar ekranları için yansıma önleyici (AR) filmler. Kamera modülleri için kızılötesi (IR) kesme filtreleri.

Havacılık ve Savunma

Uydu optik teleskopları için yüksek yansıma filmleri. Uçak ön camları için buzlanma ve buğu önleyici optik filmler.

Yarı İletken ve Optoelektronik

Mikroçipler için dielektrik filmler. Işık yayan diyotlar için ince film kaplamalar.