Vakum Kaplama Makineleri İçin Çalışma Koşullarının Ayrıntılı Açıklaması

Vakum kaplama teknolojisi, yarı iletkenler ve otomotiv bileşenleri gibi çeşitli endüstrilerde yaygın olarak uygulanmaktadır.Vakum kaplama makinesi, temel ekipman olarak, istikrarlı çalışma için bir dizi özel koşul gerektirir.Bu makale, çalışma koşullarını altı temel boyutta kapsamlı bir şekilde analiz ediyor., endüstri uzmanları için pratik referanslar sağlar.

Vakum kaplama makinesinin çalışma ortamı için katı gereksinimleri vardır.Nem ve temizlik, ekipmanların istikrarını ve kaplamanın kalitesini doğrudan etkiler.Düzgün bir çalışma ortamının kurulması, ekipmanların düzgün çalışması için önkoşuldur.

Sıcaklık istikrarı çok önemli bir çevresel parametredir.ve aşırı yüksek veya dalgalanma sıcaklıkları vakum kontrolünü ve süreç istikrarını etkileyebilirOptimal çalışma ortamı sıcaklığı 10 ila 30 °C ve çekirdek çalışma alanı 20 ila 25 °C'dir ve sıcaklık dalgalanmaları ± 2 °C'yi geçmez.

Gerçek üretim sırasında, ekipman makine odasında iyi havalandırma sağlamak için doğrudan güneş ışığından ve ısıtma sisteminin havalandırma deliklerinden uzak tutulmalıdır.Sıcaklık sabit sıcaklıklı bir klima ile kontrol edilebilirYüksek güçlü ekipmanların bileşenlerin yaşlanmasını ve performansın bozulmasını önlemek için özel bir soğutma cihazı ile donatılması gerekir.

Yüksek nem, vakum sisteminin mühürlenmesinde bir düşüşe, film katman kalitesine hasara ve elektrik bileşenlerinin korozyona neden olabilir.Çalışma ortamının göreceli nemliliği %70'in altında kontrol edilmelidir.% 40 ila % 60 arası en uygun aralık.

Yüksek nemli bölgelerde veya mevsimlerde bir nemlendirici takılmalıdır. Düzenli olarak mühürleme halkalarının kuruluğunu kontrol edin ve özel yağlama yağı uygulayın.Nemli havanın odaya girmesini önlemek için yağmurlu günlerde veya yüksek nemli koşullarda kabin kapısını açmaktan kaçının..

Toz, yağ lekeleri ve havadaki diğer kirlilikler, film katmanındaki iğne delikleri ve azalan yapışkanlık gibi sorunlara neden olabilir ve hatta ürün hurdaya dönüşmesine yol açabilir.Aygıt, temizlik seviyesi 10'dan fazla olan bir temiz odada kurulmalıdır.,000, ve ana operasyon alanı 10.000 temizlik standardını karşılamalıdır.

Bilgisayar odası hava arıtma sistemi ile donatılmalı ve filtrelerin düzenli olarak değiştirilmesi gerekir.Toz üretebilen eşyalar ekipmanın etrafında yığılmamalıdır.Bilgisayar odası ve ekipman yüzeyleri düzenli olarak temizlenmelidir.

Moleküler pompalar ve vakum ölçerleri gibi çekirdek bileşenleri titreşimlere duyarlıdır.Ekipman minimum titreşimli bir alanda kurulmalıdır.Yer, güçlü titreşimlere sahip ekipmanlara bitişik yerleştirilmemesi için titreşim önlemleri için tedavi edilmelidir.

Aynı zamanda, güçlü elektromanyetik müdahalelerden kaçınmak gerekir. Bilgisayar odası yüksek voltajlı hatlar gibi radyasyon kaynaklarından uzak olmalıdır.İşlem parametrelerinin kaybını önlemek için ekipmanın elektrik devreleri korunmalı ve topraklanmalıdır..

Vakum ortamı vakum kaplamanın çekirdeğidir.Vakum sisteminin performansı ve vakum derecesi kontrolünün doğruluğu, kaplamanın uygulanabilirliğini ve kaplama katmanının kalitesini doğrudan belirler.Çalışma koşulları esas olarak vakum derecesi, pompalama hızı, mühürleme performansı ve bileşen durumu etrafında döner.

Farklı kaplama işlemlerinin vakum derecesi için farklı gereksinimleri vardır ve bunlar üç seviyeye ayrılır: düşük, orta ve yüksek.

Düşük vakum kaplama (örneğin buharlaşma kaplamanın erken aşamasında) hava ve nem atmak için kullanılan 1*10−1 ila 1*10−3 Pa gerektirir.orta vakum kaplama (bazı magnetron püskürtme gibi) 1 * 10-3 1 * 10-5 Pa gerektirir, kaplama katmanının saflığının orta derecede gerekli olduğu senaryolar için uygundur; yüksek vakum kaplama (elektron ışını buharlaşması gibi) 1 * 10-5 Pa'dan fazla gerektirir,yüksek kaliteli ürünlerin kaplama için kullanılan.

Vakum seviyesi, malzemelere ve süreçlere göre makul bir şekilde ayarlanmalıdır. Örneğin, reaktif magnetron püskürtmesinde, dinamik olarak 0,1 ila 5 Pa aralığında ayarlanmalıdır.Ekipmanın çalışması sırasında, vakum seviyesinin dalgalanması ayarlanmış değerin% 10'unu geçmemelidir; aksi takdirde, sorun giderme için makine kapatılmalıdır.

Pompalama hızı, odanın hedef vakum seviyesine ulaşması ve istikrarını belirler.Yetersiz pompalama hızı üretim döngüsünü uzatacak ve film katmanının kalitesini etkileyecektir.

Vakum sistemi "kötü pompalama + ince pompalama" modunu benimsiyor: Kırık pompalama mekanik bir pompa tarafından işleniyor,Belirtilen süre içinde atmosferik basınçtan basıncı 1*10−1 Pa'ya düşürmesi gereken; ince pompalama bir moleküler pompa vb. tarafından yapılır ve 30 ila 60 dakika içinde belirlenmiş vakum seviyesine ulaşmalıdır.

İşlem sırasında, it is necessary to regularly check the vacuum pump's air-pumping performance and promptly identify and solve problems such as aging oil quality and blocked pipelines to ensure the normal operation of the system.

Sıfırlama performansı, sabit vakum seviyesinin sağlanması için anahtardır. Sızıntı vakum standardına uymamaya neden olur ve kaplama işlemini etkiler.Vakum odaları ve boru hatları gibi bileşenlerin mühürleme performansları, standartlara sıkı sıkıya uymalıdır..

Ekipmanın çalışmaya başlamadan önce, mühürleme performansı, helyum kütle spektrometri sızıntı tespit yöntemi veya basınç artış hızı yöntemi ile test edilmelidir.Basınç artış hızı 5*10−2 Pa/min'den fazla ise, sızıntı noktaları belirlenmelidir.

Sıfırlama halkalarının ve vakum valflerinin düzenli olarak kontrol edilmesi, odaların ve boru hatlarının temizlenmesi ve sıfırlama yüzeylerinin tıkanmasının önlenmesi gerekir.

Vakum pompaları ve vakum ölçerleri gibi çekirdek bileşenlerin çalışma koşulları, sistemin performansını doğrudan etkiler.

Mekanik yağ pompası her 200 saatte bir değiştirilmelidir. Yeni yağ NAS 6 derecesine filtre edilmelidir. Moleküler pompa rulmanları her 5000 saatte bir yağla yağlanmalıdır.Dönüş direnci sınırını aştığında yağ değiştirilmelidir.Vakum ölçüm cihazı, %1'den fazla olmayan bir hata ile düzenli olarak kalibre edilmelidir.Bozukluklar nedeniyle sızıntı veya yetersiz vakum çekimi önlemek için vakum valflerinin çalışma esnekliği kontrol edilmelidir..

Sabit güç kaynağı ve verimli soğutma sistemi, ekipmanların normal çalışmasının garantisi olarak, güç dalgalanmalarından ve aşırı ısınmalardan kaynaklanan arızaları önleyebilir.Ayrıca kaplama kalitesinin bozulması.

Güç sistemi ana güç kaynağı ve kontrol güç kaynağına ayrılmıştır.Kontrol güç kaynağı hassas bileşenlere güç sağlarkenİkisinin de katı şartlara uyması gerekiyor.

Ana güç kaynağı üç fazlı 380V, 50Hz alternatif akım kullanır, voltaj dalgalanması ±5% arasındadır. Frekans 49 ila 51Hz'dir. Kontrol güç kaynağı tek fazlı 220V kullanır,50Hz alternatif akım, gerilim dalgalanması ± 3% arasında. ekipman ayrı topraklanması gerekir, topraklama direnci 4Ω'dan fazla değildir.

Aniden elektrik kesintisi durumunda ekipmanların ve ürünlerin hasar görmesini önlemek için UPS acil durum güç kaynağı ile donatılması gerekir.Voltaj dalgalanmalarını önlemek için ayrı bir transformatör yapılandırılmalıdır..

Ekipmanın çalışması sırasında, çekirdek bileşenleri büyük miktarda ısı üretecektir. ısı hızlı bir şekilde dağıtılmaması bileşen performansının düşmesine ve deformasyonuna yol açacaktır..Soğutma sistemi ekipmanın gereksinimlerini karşılamalıdır.

Yüksek güçlü ekipmanlar su soğutma sistemi kullanırken, düşük güçlü ekipmanlar rüzgar soğutma sistemi kullanır.Çıkış suyunun sıcaklığı ≤ 35°C, su basıncı 0,2 ila 0,4 MPa'dır ve akış hızı ekipman gücüne göre ayarlanır.

Soğutma borusunun pürüzsüzlüğünü sağlamak, su tankından ölçek çıkarmak ve su pompasının durumunu denetlemek için günlük kontroller yapılmalıdır.İyi bir ısı dağılımı sağlamak için ısı alıcılarının üzerindeki toz düzenli olarak temizlenmelidir..

Kaplama malzemesinin, substratın ve yardımcı malzemelerin kalitesi ve özellikleri, film katmanın performansını ve görünümünü doğrudan belirler.ve çalışma koşullarına sıkı sıkıya uymalıdır..

Kaplama malzemelerinin saflığı ve şekli, süreç ve ürün gereksinimlerine uygun olmalıdır: Vakum buharlaştırma kaplama için, ≥ 99,99% saflığa sahip metaller veya alaşımlar seçilir.ve yüzeyde oksitlenmiş kirlilik yok.Magnetron püskürtme hedefleri için saflık% ≥ 99,9 ve yüzey düz ve uygun boyut.

Materyanın buhar basıncı ve erime noktası, vakum derecesi ve buharlaşma gücü ile eşleşmelidir.Elektron ışını buharlaşması kullanılabilir.Düşük erime noktası olan malzemeler için ise direnç ısıtma buharlaşması uygulanabilir.

Substrat, kaplama malzemesiyle uyumlu olmalı, temiz ve düz bir yüzeye sahip olmalı ve uygun boyutlara sahip olmalıdır, aksi takdirde kaplama katmanının yapışkanlığını ve tekdüzeliğini etkileyecektir.

Kaplama yapmadan önce substratın "mekanik temizlik + kimyasal temizlik + plazma temizliği" ön işleminden geçmesi gerekir.İç stresin serbest bırakılması için 150-200°C'ye kadar ısıtılmalıdırlar., ve plastik substratlar için, deformasyonu önlemek için ön ısıtma sıcaklığı ≤ 80°C olmalıdır.

Vakum pompası yağı, mühürleme halkaları ve işlem gazları gibi yardımcı malzemeler, ekipmanların çalışması için gereksinimleri karşılamalıdır.

Vakum pompası yağı belirli bir model ile seçilir ve mühürleme halkası yüksek sıcaklıklara ve vakumlara dayanıklı olan flüor kauçuktan yapılır; süreç gazının saflığı ≥ 99,999%,ve akış hızı yüksek hassasiyetli bir akışölçer tarafından kontrol edilir% ± 1'lik bir hata ile.

Ekipmanın çalışması, yüksek basınç, yüksek sıcaklık ve yüksek vakum gibi tehlikeli faktörleri içerir.Herhangi bir güvenlik kazasını önlemek için güvenlik koşullarına sıkı sıkıya uymak gerekir..

Buharlama kaynakları, püskürtme hedefleri vb. yüksek voltajlı güç kaynağı (30kV'ye kadar) gerektirir.ve yüksek voltajlı hatlar korunmalıİşleyiciler yalıtım koruyucu kıyafetler giymek zorundadır.

Çekirdek bileşenleri son derece yüksek sıcaklıklarda çalışır. Aletler yüksek sıcaklık koruyucu bir bariyerle donatılmalı ve operatörler ısıya dayanıklı koruyucu ekipman takmalıdır.Yanıcı veya patlayıcı maddelerin ekipmanın etrafında yığılması yasaktır ve yangın söndürme ekipmanları sağlanmalıdır.

Kabin kapısının basınçlandırılmadan önce açılması kolayca tehlikeye neden olabilir. Bu nedenle ekipman vakum basıncı alarm cihazıyla donatılmalıdır.Basıncın normale döndüğünü doğrulamak gerekir.Çalışma sırasında, mühürleme performansı düzenli olarak kontrol edilmelidir.

Ekipman acil durma düğmeleri, acil basınç indirme valfleri ve diğer cihazlarla donatılmalıdır.Bilgisayar odası yangın söndürme ekipmanlarıyla donatılmalıdır., ve operatörler acil durum işleme yöntemlerini bilmeliler.

Operatörlerin mesleki yeterliliği ve operasyonel standartlaşması, ekipmanların işleyişini, kaplama kalitesini ve güvenliğini doğrudan etkiler ve ilgili gereklilikleri karşılamalıdır.

Operatörler vakum kaplama ilkelerini, ekipmanın yapısını ve süreç akışını bilmeli, parametrelerin ayarlama yöntemlerini bilmeli,ve hataları teşhis etme ve ele alma yeteneğine sahipÇalışmaya başlamadan önce profesyonel eğitimden geçmeli ve değerlendirmeyi geçmelidirler.

İşleyiciler prosedürleri sıkı bir şekilde takip etmelidir: Alet çalıştırılmadan önce durumunu kontrol eder; çalışma sırasında parametreleri izler; ve herhangi bir anormallik durumunda makineyi derhal durdurur;İşlem tamamlandıktan sonra, düzenlemelere göre ekipmanları kapatın, temizleyin, operasyon detaylarını kaydedin ve bir arşiv kurun.

Operatörlerin güçlü bir güvenlik duygusu olması, koruyucu ekipman takması ve acil durum prosedürlerini bilmesi gerekir.Güvenlik operasyonlarını ve acil durumları ele alma yeteneklerini geliştirmek için düzenli olarak güvenlik eğitimine ve tatbikatlarına katılmalıdırlar..

Vakum kaplama makinesinin çalışma koşulları sistematik ve bütünsel. Altı temel koşul birbirine bağlı ve vazgeçilmez.Sadece bu koşullara sıkı sıkıya uyarak ekipman istikrarlı ve verimli çalışabilir, ve kaplama kalitesini ve üretim güvenliğini sağlamak.

Teknolojinin ilerlemesiyle birlikte, ekipmanların hassasiyeti ve karmaşıklığı arttı ve çalışma koşulları için gereksinimler daha katı hale geldi.Uygulayıcıların mesleki becerilerini geliştirmeleri gerekir, operasyonları standartlaştırmak, ekipman bakımını güçlendirmek, çalışma koşullarını optimize etmek ve vakum kaplama teknolojisinin geniş çapta kullanılmasını teşvik etmek.