세라믹 머그에 대한 진공 코팅의 작동 원칙과 공정 흐름

전형적인 증상:코팅 후 테이프 테스트 도중 필름 층이 큰 조각으로 떨어지거나, 매일 부딪히거나 부딪히면 큰 부위가 벗겨집니다. 주요 원인

• 세라믹 표면은 철저히 청소되지 않았으며, 기름 얼룩과 먼지와 같은 불순물을 남겼다.
• 플라즈마 활성화 처리가 없으면 기판의 표면 에너지가 낮아서 필름 층이 붙는 것이 어렵습니다.
• 퇴적 된 전환 층이 없으며 세라믹과 기능성 필름 층 사이의 결합 "교"가 부족합니다.
• 코팅 후 냉각 속도가 너무 빠르면 코팅 층 내부에 상당한 스트레스가 발생하여 균열과 껍질을 벗겨집니다.

타겟화된 해결책

• 초음파 청소 시간을 15-20분으로 늘려비이온화 된 물로 씻어내고 오븐에서 80 ~ 100도에서 컵을 건조하여 표면 불순물을 철저히 제거하십시오..
• 플라즈마 활성화 시간을 5~10분으로 늘리고 이온 폭격력을 적절히 높여그리고 고에너지 이온 에칭을 통해 세라믹의 표면 거칠성을 높여 표면 활동을 향상시킵니다..
• 티타늄과 크롬과 같은 금속 전환층의 퇴적 과정을 추가하고 50 ~ 100nm에서 전환층의 두께를 제어합니다.필름과 기판 사이의 접착력을 강화하기 위해 화학 결합을 사용하십시오..
• 단계적 냉각 과정이 채택됩니다. 코팅이 완료되면 진공 환경에서 자연적으로 방온으로 냉각됩니다.그리고 그 다음 무활성 가스는 압력을 완화하고 오븐에서 제거하기 위해 구멍에 삽입됩니다, 온도 차이 스트레스를 피합니다.

전형적인 증상:같은 팩 의 컵 의 색 깊이 는 다양 하며, 각 컵 의 표면 에 빛깔 이 있는 점 이나 줄무늬 가 있으며, 빛깔 이 크게 다르다. 주요 원인

• 작업 조각 프레임의 불규칙한 자기 회전 및 회전 속도는 컵 몸의 다양한 부분에서 필름 층의 퇴적 속도에서 상당한 차이를 초래합니다.
• 진공 챔버의 진공 정도가 변동하고, 가스 분자는 표적 물질 원자의 퇴적 과정에 간섭하여 필름 층의 균일성에 영향을 미칩니다.
• 산화 또는 대상 재료의 표면에 "노들"의 출현은 불안정한 스프터링 / 증발 속도 및 불규칙한 구성 및 필름 층의 두께로 이어집니다.
• 컵 바디의 클램핑 위치는 적절하지 않으며 컵 입, 손잡이 및 다른 부분에 장애가 있으며 코팅의 그림자 영역을 형성합니다.

타겟화된 해결책

• 작업 조각 래크의 회전 속도 매개 변수를 캘리브레이션합니다.10~20r/min의 자기 회전 속도와 5~10r/min의 회전 속도를 조절하여 컵 바디의 모든 부분이 균일하게 접힌 것을 보장합니다..
• 진공 시스템의 밀폐 성능을 확인하고 노후 밀폐 고리를 교체하십시오. 코팅하기 전에 공기를 철저히 배설하십시오.진공 정도가 안정된 후에만 코팅 프로세스를 시작 하 고 프로세스 동안 진공 정도의 변동을 피하기 위해.
• 표면 옥시드 층을 제거하기 위해 사용 전에 목표 물질을 3 ~ 5 분 동안 미리 스프러치하십시오.대상 재료의 표면에 있는 "덩어리"를 정기적으로 깨끗이 하고, 심각하게 쓰인 대상 재료를 적시에 교체 한다.
• 컵 바디의 클램핑 방법을 최적화하고, 고정 장치의 각도를 조정하고, 컵 입과 손잡이가 코팅 경로를 차단하는 것을 피하고, 컵 바디가 죽은 코너 없이 코팅되는 것을 보장합니다.

전형적인 증상:필름 층 표면 에 미세 한 구멍 이 분포 하고 있으며, 빛 아래 에서 관찰 할 때 결함 은 특히 분명 하다. 주요 원인

• 진공 방의 잔류 불순물 입자는 코팅 과정에서 컵 표면에 떨어지며 핀홀을 형성합니다.
• 세라믹 기판 자체에는 구멍과 균열과 같은 결함이 있으며, 코팅 후, 이러한 결함은 직접적으로 구멍으로 나타납니다.
• 진공 오일 펌프에서 나오는 기름은 역 증발을 겪으며, 오일 안개는 구멍으로 들어가 필름 층을 오염시키고 구멍을 형성합니다.

타겟화된 해결책

• 진공 방의 안쪽 벽 을 찌지 않는 천 으로 정기적으로 닦는다. 덮기 전 에 방 에 있는 물 증기 와 안쪽 벽 에 흡수 된 불순물 을 제거 하기 위해 방 의 구식 프로그램 을 시작 한다.필요 한 경우, 구멍 안 에 먼지 방지 필터 를 설치 한다.
• 세라믹 기본 재료의 품질을 엄격히 통제하고 구멍과 균열이없는 컵체를 선택하십시오.유리 처리 표면 구멍을 채우기 위해 먼저 수행 할 수 있습니다., 그리고 그 후 코팅을 적용 할 수 있습니다.
• 분자 펌프에 특별히 설계된 진공 오일을 교체하고 오일 펌프 반환 밸브가 정상인지 확인하십시오.진공에 역 증발하여 필름 층을 오염시키지 않도록 오일 안개 수집기를 설치하십시오..

전형적인 증상:연필 단단성 테스트 결과는 3H 미만 또는 매일 지우는 후 필름 층 표면에 명백한 긁힘이 나타납니다. 주요 원인

• 필름 층은 너무 얇으며 일반적으로 0.3μm 미만이며 외부 마찰에 저항하기가 어렵습니다.
• 마그네트론 분출력은 너무 낮고, 대상 물질 원자의 분출 에너지는 충분하지 않으며, 필름 층의 밀도는 낮습니다.
• 반응 가스의 부적절한 비율은 화합물 필름 층의 낮은 결정성 (티타늄 질산 등) 과 마모 저항의 감소로 이어집니다.

타겟화된 해결책

• 코팅의 퇴적 시간을 연장하고 필름 층의 두께를 0.5~1μm 내에 제어하여 필름 층이 충분한 마모 저항 기반을 갖추도록 한다.
• 원자 스프터링 에너지를 증가시키고 필름 층의 밀도와 단단성을 향상시키기 위해 목표물의 재료에 따라 스프터링 전력을 200-400W로 조정하십시오.
• 공정 실험을 통해 반응 가스 (질소와 산소와 같은) 의 흐름 속도 비율은 복합 필름 층의 결정성을 향상시키고 마모 저항성을 향상시키기 위해 최적화되었습니다.

전형적인 증상:노란색화 나 흑색화 는 코팅 후 짧은 기간 내에 발생 하거나 코팅 층 의 반짝이는 빛 은 어두워지고 금속 성질 이 일정 기간 동안 보관 된 후 사라진다. 주요 원인

• 코팅 후 압력 완화 과정에서 공기가 너무 빨리 들어올 때, 고온 필름 층은 공기와 접촉하여 산화 반응이 발생합니다.
• 산화 방지 보호 필름의 상층 층은 퇴적되지 않으며, 필름 층은 산화와 진열에 취약한 공기에 직접 노출됩니다.
• 완제품의 저장 환경은 습하며 필름 층 표면에 전기 화학적 부식이 발생합니다.

타겟화된 해결책

• 압력 절감 시, 아르곤 및 질소 같은 무활성 가스가 먼저 방의 이동을 위해 도입되어야 합니다. 컵의 온도가 50°C 이하로 떨어지면,고온 산화를 방지하기 위해 공기를 천천히 넣어야 합니다..
• 50-100nm SiO2 항산화 계층이 공기 및 수증기에 의한 하위 필름 계층의 침식을 격리하기 위해 기능적 필름 계층의 표면에 퇴적됩니다.
• 완성 된 컵을 건조하고 통풍이 잘 되는 환경에서 보관하고 물, 산소 및 알칼리 용액과 같은 부식 물질과 직접 접촉을 피하십시오.수분을 방지하기 위해 건조제를 첨가할 수 있습니다..