সিরামিক মগের জন্য ভ্যাকুয়াম কোটিং-এর কার্যকারিতা এবং প্রক্রিয়া প্রবাহ

সাধারণ লক্ষণঃফিল্ম স্তরটি লেপ দেওয়ার পরে টেপ পরীক্ষার সময় বড় বড় টুকরো হয়ে যায়, অথবা দৈনন্দিন ধাক্কা এবং ধাক্কা দেওয়ার পরে বড় বড় অঞ্চলগুলি ছিঁড়ে যায়।

• সিরামিক পৃষ্ঠটি পুরোপুরি পরিষ্কার করা হয়নি, যা তেলের দাগ এবং ধুলোর মতো অমেধ্য রেখে যায়।
• প্লাজমা অ্যাক্টিভেশন চিকিত্সা ছাড়া, স্তরটির পৃষ্ঠ শক্তি কম, যা ফিল্ম স্তরকে সংহত করা কঠিন করে তোলে।
• কোন জমা হওয়া রূপান্তর স্তর নেই, এবং সিরামিক এবং কার্যকরী ফিল্ম স্তরের মধ্যে একটি সংযোগ "সেতু" এর অভাব রয়েছে।
• যদি লেপ দেওয়ার পরে শীতল হারের হার খুব দ্রুত হয়, তবে লেপ স্তরের অভ্যন্তরে উল্লেখযোগ্য চাপ তৈরি হবে, যার ফলে ফাটল এবং খোসা ফাটল হবে।

লক্ষ্যবস্তু সমাধান

• আল্ট্রাসোনিক পরিষ্কারের সময় বাড়িয়ে ১৫ থেকে ২০ মিনিটে করুন।ডি-ইওনিজড পানি দিয়ে ধুয়ে ফেলুন এবং তারপর 80 থেকে 100 ডিগ্রি সেলসিয়াসে একটি চুলায় কাপটি শুকিয়ে ফেলুন যাতে পৃষ্ঠের অমেধ্যগুলি পুরোপুরি সরানো যায়.
• প্লাজমা সক্রিয়করণের সময় ৫ থেকে ১০ মিনিটে বাড়ান, যথাযথভাবে আয়ন বোমা হামলার ক্ষমতা বাড়ান,এবং উচ্চ-শক্তি আয়ন ইটচিংয়ের মাধ্যমে সিরামিকের পৃষ্ঠের রুক্ষতা বৃদ্ধি করে পৃষ্ঠের কার্যকারিতা বাড়াতে.
• টাইটানিয়াম এবং ক্রোমিয়ামের মতো ধাতব রূপান্তর স্তরগুলির জমাট প্রক্রিয়া যুক্ত করুন এবং 50 থেকে 100nm এ রূপান্তর স্তরের বেধ নিয়ন্ত্রণ করুন।ফিল্ম এবং স্তর মধ্যে আঠালো উন্নত করার জন্য রাসায়নিক বন্ধন ব্যবহার করুন.
• ধাপে ধাপে ঠান্ডা করার প্রক্রিয়াটি গ্রহণ করা হয়। লেপটি সম্পন্ন হওয়ার পরে, এটি একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে স্বাভাবিকভাবে ঘরের তাপমাত্রায় ঠান্ডা হয়,এবং তারপর চাপ কমাতে এবং চুল্লি থেকে এটি অপসারণের জন্য অভ্যন্তরীণ গ্যাসে প্রবেশ করা হয়, তাপমাত্রা পার্থক্য চাপ এড়ানো।

সাধারণ লক্ষণঃএকই ব্যাচের মগগুলির রঙের গভীরতা পরিবর্তিত হয়, অথবা পৃথক মগগুলির পৃষ্ঠে হালকা দাগ বা রেখা রয়েছে, গ্লসিনেসে উল্লেখযোগ্য পার্থক্য রয়েছে। প্রধান কারণগুলি

• ওয়ার্কপিস ফ্রেমের অসামান্য স্ব-ঘূর্ণন এবং বিপ্লব গতির ফলে কাপের দেহের বিভিন্ন অংশে ফিল্ম স্তরটির অবসরের হারের উল্লেখযোগ্য পার্থক্য হয়।
• ভ্যাকুয়াম চেম্বারে ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি পরিবর্তিত হয়, এবং গ্যাস অণুগুলি লক্ষ্য উপাদান পরমাণুগুলির জমা প্রক্রিয়াতে হস্তক্ষেপ করে, ফিল্ম স্তরের অভিন্নতাকে প্রভাবিত করে।
• অক্সাইডেশন বা লক্ষ্য উপাদান পৃষ্ঠের উপর "নডুলস" এর চেহারা অস্থির স্পটারিং / বাষ্পীভবন হার এবং ফিল্ম স্তর অসম গঠন এবং বেধের দিকে পরিচালিত করে।
• কাপের শরীরের ক্ল্যাম্পিং অবস্থানটি অনুপযুক্ত, এবং কাপের মুখ, হ্যান্ডেল এবং অন্যান্য অংশে বাধা রয়েছে, লেপের ছায়াময় অঞ্চল গঠন করে।

লক্ষ্যবস্তু সমাধান

• ওয়ার্কপিস র্যাকের ঘূর্ণন গতির পরামিতিগুলি ক্যালিব্রেট করুন।ক্যাপের শরীরের সকল অংশ সমানভাবে প্ল্যাট করা হয় তা নিশ্চিত করার জন্য স্ব-ঘূর্ণন গতি 10 থেকে 20r/min এবং ঘূর্ণন গতি 5 থেকে 10r/min নিয়ন্ত্রণ করা.
• ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের সিলিং পারফরম্যান্স পরীক্ষা করুন এবং বয়স্ক সিলিং রিংগুলি প্রতিস্থাপন করুন। লেপ দেওয়ার আগে, ভালভাবে বায়ু খালি করুন।শুধুমাত্র প্রক্রিয়া চলাকালীন ভ্যাকুয়াম ডিগ্রীতে ওঠানামা এড়াতে ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী স্থিতিশীল পরে লেপ প্রক্রিয়া শুরু.
• ব্যবহারের আগে 3 থেকে 5 মিনিটের জন্য টার্গেট উপাদানটি প্রাক-স্পট করুন যাতে পৃষ্ঠের অক্সাইড স্তরটি সরানো যায়।লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠের "গুল্ম" নিয়মিত পরিষ্কার করুন এবং সময়মত গুরুতরভাবে পরা লক্ষ্যবস্তু প্রতিস্থাপন করুন.
• কাপের দেহের ক্ল্যাম্পিং পদ্ধতিটি অনুকূল করুন, ফিক্সচারটির কোণটি সামঞ্জস্য করুন, কাপের মুখ এবং হ্যান্ডেলটি লেপ পথকে ব্লক করা এড়িয়ে চলুন এবং নিশ্চিত করুন যে কাপের দেহটি মৃত কোণগুলি ছাড়াই লেপযুক্ত।

সাধারণ লক্ষণঃফিল্ম স্তরের পৃষ্ঠের উপর সূক্ষ্ম গর্ত বা গর্তগুলি বিতরণ করা হয় এবং আলোতে দেখা গেলে ত্রুটিগুলি বিশেষত স্পষ্ট হয়। প্রধান কারণ

• ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট অমেধ্য কণাগুলি লেপ প্রক্রিয়া চলাকালীন কাপের পৃষ্ঠের উপর পড়ে, পিনহোল গঠন করে।
• সিরামিক সাবস্ট্র্যাটের নিজের মধ্যে গর্ত এবং ফাটলগুলির মতো ত্রুটি রয়েছে এবং লেপ দেওয়ার পরে, এই ত্রুটিগুলি সরাসরি গর্ত হিসাবে প্রকাশ করে।
• ভ্যাকুয়াম তেল পাম্প থেকে তেল বিপরীত বাষ্পীভবন হয়, এবং তেল কুয়াশা গহ্বরে প্রবেশ করে, ফিল্ম স্তরকে দূষিত করে এবং গর্ত গঠন করে।

লক্ষ্যবস্তু সমাধান

• ভ্যাকুয়াম চেম্বারের অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলি নিয়মিতভাবে একটি ফোঁটা মুক্ত কাপড় দিয়ে মুছুন। আবরণ করার আগে, অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলিতে শোষিত জলীয় বাষ্প এবং অমেধ্যগুলি অপসারণের জন্য চেম্বার বেকিং প্রোগ্রামটি শুরু করুন।প্রয়োজনে গহ্বরের ভিতরে ধুলো-প্রতিরোধী ফিল্টার স্থাপন করুন.
• সিরামিক বেস উপাদানগুলির গুণমান কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করুন এবং গর্ত এবং ফাটল মুক্ত কাপের দেহগুলি নির্বাচন করুন।গ্লাসিং চিকিত্সা প্রথম পৃষ্ঠের pores পূরণ করা যেতে পারে, এবং তারপর লেপ প্রয়োগ করা যেতে পারে।
• বিশেষভাবে আণবিক পাম্পের জন্য ডিজাইন করা ভ্যাকুয়াম তেলটি প্রতিস্থাপন করুন এবং তেল পাম্পের রিটার্ন ভালভটি স্বাভাবিক কিনা তা পরীক্ষা করুন।একটি তেল কুয়াশা সংগ্রাহক ইনস্টল করুন ভ্যাকুয়াম তেল বিপরীত-বাষ্পীভবন থেকে গহ্বর এবং ফিল্ম স্তর দূষিত প্রতিরোধ.

সাধারণ লক্ষণঃপেন্সিল কঠোরতা পরীক্ষার ফলাফল 3H এর চেয়ে কম, বা দৈনিক মুছে ফেলার পরে ফিল্ম স্তর পৃষ্ঠের উপর সুস্পষ্ট scratches প্রদর্শিত হয়। প্রধান কারণ

• ফিল্ম স্তরটি খুব পাতলা, সাধারণত 0.3μm এর কম, যা বাহ্যিক ঘর্ষণ প্রতিরোধ করা কঠিন করে তোলে।
• ম্যাগনেট্রন স্পটারিং শক্তি খুব কম, লক্ষ্য উপাদান পরমাণুর স্পটারিং শক্তি অপর্যাপ্ত, এবং ফিল্ম স্তর ঘনত্ব দরিদ্র।
• প্রতিক্রিয়া গ্যাসের অনুপযুক্ত অনুপাত যৌগিক ফিল্ম স্তর (যেমন টাইটানিয়াম নাইট্রাইড) এর কম স্ফটিকত্ব এবং পরিধান প্রতিরোধের হ্রাসের দিকে পরিচালিত করে।

লক্ষ্যবস্তু সমাধান

• লেপের জমা হওয়ার সময় বাড়ানো এবং ফিল্ম স্তরটির বেধ 0.5 থেকে 1μm এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা যাতে ফিল্ম স্তরটির পর্যাপ্ত পরিধান-প্রতিরোধী ভিত্তি থাকে তা নিশ্চিত করা যায়।
• লক্ষ্যমাত্রার উপাদান অনুযায়ী পারমাণবিক স্পটারিং শক্তি বৃদ্ধি এবং ফিল্ম স্তর ঘনত্ব এবং কঠোরতা উন্নত করতে স্পটারিং শক্তি 200-400W এ সামঞ্জস্য করুন।
• প্রক্রিয়া পরীক্ষার মাধ্যমে, যৌগিক ফিল্ম স্তরটির স্ফটিকত্ব বাড়াতে এবং এর পরিধান প্রতিরোধের উন্নতি করতে প্রতিক্রিয়া গ্যাসের (যেমন নাইট্রোজেন এবং অক্সিজেন) প্রবাহের হার অনুপাত অনুকূল করা হয়েছিল।

সাধারণ লক্ষণঃলেপ দেওয়ার পরে অল্প সময়ের মধ্যে হলুদ বা কালো হয়ে যায়, অথবা লেপ স্তরের চকচকেতা অন্ধকার হয়ে যায় এবং ধাতব টেক্সচারটি কিছু সময়ের জন্য সঞ্চয় করার পরে হারিয়ে যায়। প্রধান কারণ

• যখন আবরণ পরে চাপ ছাড়ানোর সময় বায়ু খুব দ্রুত প্রবেশ করা হয়, উচ্চ তাপমাত্রা ফিল্ম স্তর বায়ু সঙ্গে যোগাযোগ আসে এবং একটি অক্সিডেশন প্রতিক্রিয়া সম্মুখীন।
• অ্যান্টি-অক্সিডেশন প্রতিরক্ষামূলক ফিল্মের উপরের স্তরটি জমা হয় না এবং ফিল্ম স্তরটি সরাসরি বায়ুর সংস্পর্শে আসে, যা অক্সিডেশন এবং জারাতে প্রবণ।
• সমাপ্ত পণ্যের সঞ্চয়স্থানের পরিবেশ আর্দ্র এবং ফিল্ম স্তরের পৃষ্ঠে ইলেক্ট্রোকেমিক্যাল ক্ষয় ঘটে।

লক্ষ্যবস্তু সমাধান

• যখন চাপসঞ্চালন করা হয়, তখন কক্ষটি স্থানান্তর করার জন্য প্রথমে আর্গন এবং নাইট্রোজেনের মতো নিষ্ক্রিয় গ্যাসগুলি প্রবেশ করা উচিত। একবার কাপের তাপমাত্রা 50 ডিগ্রি সেলসিয়াসের নিচে নেমে গেলে,উচ্চ তাপমাত্রায় অক্সিডেশন রোধ করার জন্য ধীরে ধীরে বায়ু প্রবেশ করা উচিত.
• বায়ু এবং জলীয় বাষ্পের দ্বারা অন্তর্নিহিত ফিল্ম স্তরের ক্ষয়কে বিচ্ছিন্ন করতে 50-100nm SiO2 অ্যান্টিঅক্সিডেন্ট স্তরটি কার্যকরী ফিল্ম স্তরের পৃষ্ঠের উপর জমা হয়।
• শুকনো এবং ভাল বায়ুচলাচল পরিবেশে সমাপ্ত কাপগুলি সংরক্ষণ করুন, জল, অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় দ্রবণগুলির মতো ক্ষয়কারী পদার্থের সাথে সরাসরি যোগাযোগ এড়িয়ে চলুন।আর্দ্রতা প্রতিরোধের জন্য ডেসিকেন্টস যোগ করা যেতে পারে.