2025-09-24
물리 증기 증착 기술은 진공 환경에서 고체 물질을 기체 원자, 분자 또는 이온으로 변환하여 기질 표면에 이용하여 기능 코팅을 형성함으로써 재료 표면 변형 분야에서 핵심 기둥 역할을합니다. 진공 코팅 기계는이 공정에서 중심적인 역할을하여 코팅 작업에서 효율성과 안정성을 보장합니다. 진공 코팅 머신의 진화는 진공 기술 탐색과 함께 19 세기 후반으로 거슬러 올라갑니다. 간단한 증발에서 복잡한 스퍼터링에 이르기까지 현재 현대 산업에서는 없어야합니다.
현재 PVD 진공 코팅 기계의 기술 시스템은 단일 프로세스에서 "기본 기술 최적화 + 다중 기술 통합 + 장비 반복 업그레이드"의 3 차원 프레임 워크로 발전했지만 공구 및 곰팡이 제조, 기계식 처리 및 정밀 기기와 같은 핵심 산업 부문에 널리 적용됩니다. 이 분야에서 진공 코팅 머신의 응용 분야는 제품 수명을 연장 할뿐만 아니라 유지 보수 비용을 줄여 산업 업그레이드를 주도합니다. 진공 코팅 머신의 시장 규모는 급격히 증가하고 있으며 2023 년에 2033 년까지 수백억 달러를 초과하여 2030 년까지 두 배가 될 것으로 예상됩니다. 진공 코팅 머신의 채택은 유해한 화학 물질을 피하고 지속 가능한 개발과 일치하는 친환경적 특성에 의해 향상됩니다.
진공 코팅 머신의 코어는 진공 환경 제어에 있으며, 일반적으로 10^-5 pa 이상의 진공 수준을 달성하기 위해 자기 서스펜션 분자 펌프와 같은 고 진공 펌프를 사용합니다. 이를 통해 진공 코팅 기계가 저온에서 작동하여 기질 변형을 방지 할 수 있습니다. 진공 코팅 머신의 전력 시스템은 DC에서 펄스 전력으로 진화하여 코팅 효율을 향상시킵니다.
PVD 진공 코팅 머신의 기초 기술 시스템은 원칙과 구조의 차이로 인해 다중 ARC 코팅 및 마그네트론 스퍼터링 코팅을 중심으로합니다. 멀티 아르 이온 진공 코팅 기술은 "간단한 작동 및 강한 코팅 접착력"에 의해 구별되는 경우, 핵심 장비 구조는 이온 증발 소스를 구동하기 위해 용접 기계 전원 공급 장치 만 필요합니다. 아크 점화 바늘과 증발 소스 사이의 간단한 접촉 소싱을 통해, 가스 스팟을 유발하기위한 증발점을 유발하고, 촬영을 형성하고, 금속 표적을 형성하고, 금속 표적을 형성합니다. 형성. 이 기술의 핵심 장점에는 높은 목표 활용 속도, 금속 이온화 속도가 80%이상이어서 코팅과 기판 사이의 매우 강한 접착력을 보장하는 한, 코팅 착색 안정성은 특히 묶음의 배치 일관성으로 균일 한 황금색 노란색을 안정적으로 생성 할 수있는 주석 층을 제조 할 수 있습니다. 진공 코팅 기계는 진공 코팅 머신의 이온 소스 설계와 함께 다중 ARC 응용 분야에서 코팅 효율을 향상시켜 고 에너지 이온 폭격을 허용하여 필름 접착력을 향상시킵니다.
그러나 멀티 ARC 코팅은 코팅 두께가 0.3에 도달하기 때문에 저온 코팅에 전통적인 DC 전력을 사용할 때와 같은 명백한 한계가 있습니다.μM 및 증착 속도는 반사성 임계 값에 접근하고, 필름 형성 난이도가 급격히 증가하고 표면은 탁도가 나타납니다. 또한 금속 용융 및 증발 동안 형성된 증착 입자는 더 크며, 코팅 밀도가 낮고 마그네트론 스퍼터링에 비해 내마모성이 30% -40% 약한 내마모성을 초래하여 고재 마찰 시나리오에 적합하지 않습니다. 진공 코팅 머신은 진공 코팅 머신의 보조 냉각 시스템이 입자 문제를 완화함으로써 이러한 단점을 해결하기위한 최적화가 필요합니다. 실제로 진공 코팅 기계는 종종 사전 청소 단계를 결합하여 전반적인 성능을 향상시킵니다.
한편, 마그네트론 스퍼터링 코팅은 진공 환경에서 자기장을 이용하여 전자 운동을 제한하여 전자와 아르곤과 같은 작동 가스 사이의 충돌 이온화 효율을 향상시켜 표면을 표면을 폭격하여 기질에 대한 원자를 기판으로 탈퇴시킨다. 핵심 장점은 미세 증착 입자, 최대 95%이상의 코팅 밀도 및 다중 ARC 코팅과 비교하여 상당히 우수한 내마모성, 코팅 영역의 균일 성이 상당히 높은 균일 성을 통해 대규모 공동 작업 피스에서 일관된 코팅을 가능하게하며, 대량 생산 요구에 적합합니다. 그럼에도 불구하고, 마그네트론 스퍼터링 기술은 코팅과 기판 사이의 약한 접착력을 포함한 단점을 가지고 있으며, 기질 표면 활성을 향상시키기 위해 전처리가 필요하며 불충분 한 착색 안정성을 갖는 낮은 금속 이온화 속도가 필요하며, TIN과 같은 화려한 코팅을 제조하는 데 배치 색상 차이를 초래하여 시나리오를 충족시키기가 어려워 고유의 특성을 필요로합니다. Magnetron Sputtering에서 진공 코팅 머신의 통합 설계는 진공 코팅 머신의 불균형 자기장 최적화 이온화 속도로 이러한 문제를 해결하는 데 도움이됩니다. 진공 코팅 머신의 전력 업그레이드 (예 : 중간 주파수 전력)는 대상 중독을 줄여 진공 코팅 기계의 안정성을 향상시킵니다.
진공 코팅 머신의 역사는 20 세기 초반 스퍼터링 발견으로 거슬러 올라가 첨단 장비 담당자가되기 위해 수년에 걸쳐 진화합니다. 반도체 산업의 진공 코팅 기계는 특히 나노 스케일 정밀 코팅을 제공합니다. 진공 코팅 머신의 유지 보수는 중요합니다. 일반 챔버 청소는 장비 수명을 연장합니다.
Multi-ARC 및 Magnetron Sputtering Technologies의 각각의 한계를 해결하기 위해 업계는 "다중 기술 통합"솔루션을 개척하여 프로세스 시너지를 통해 보완적인 이점을 달성하여보다 포괄적 인 코팅 성능 시스템을 구축했습니다. 현재의 주류 복합 공정은 "3 단계"코팅 로직을 채택하며, 높은 이온화 속도를 활용하는 다중 ARC베이스 레이어 스테이지와 다중 ARC 코팅의 강한 접착력을 포함하여 기판 표면 상에 50-100nm 전이층을 퇴적하여 후속 코팅의 결합 강도를 크게 향상시키고,이를 방지합니다. 그 다음 마그네트론 두꺼운 단계가 마그네트론 스퍼터링 모드로 전환하여 균일하고 효율적인 증착을 위해 코팅 두께를 1-5로 증가시킵니다.μM 마그네트론 기술의 고밀도를 사용하여 코팅에 대한 탁월한 내마모성과 충격 저항성을 부여합니다. 그리고 마지막으로 코팅 표면에 10-30nm 기능 색상 레이어를 증착하기 위해 멀티 아크 컬러 고정 스테이지를 다시 활성화하여 멀티 아크 기술의 안정적인 색상 이점을 활용하여 배치 색상 편차를 제어합니다.δE <1.0, 고급 도구, 금형 및 장식 부품의 외관 일관성 요구 사항을 충족합니다. 진공 코팅 기계는 진공 코팅 머신의 멀티 타겟 시스템을 통해 원활한 공정 전환을 가능하게하는이 복합 공정을 구현하는 데 필수적입니다. 진공 코팅 머신의 자동화는 생산 효율을 높이기 위해 추가로 제어합니다.
이 복합 공정에 의해 제조 된 코팅은 50n 이상의 접착력을 달성하며, 단일 마그네트론 스퍼터링 코팅과 비교하여 20% 개선 된 내마모성을 달성하면서 색 안정성을 유지하여 고급 절단 도구 및 정밀 금형에 선호되는 솔루션입니다. 진공 코팅 머신의 다기능 통합은 항공 우주의 진공 코팅 머신이 잠재력을 보여 주면서 산업 혁신을 더욱 유발합니다. Tialn과 같은 진공 코팅 머신의 코팅은 1000 개가 넘는 온도를 견딜 수 있습니다.℃.
1980 년대 중반에서 초기부터 업계는 PVD 기술 통합의 초기 탐색을 시작하여 핫 캐소드 전자 건 증발 이온 도금 장비와 뜨거운 캐소드 아크 마그네트론 플라즈마 코팅 기계를 연속적으로 도입하여 주석 코팅 도구에서 획기적인 응용을 달성했습니다. 그중에서도 뜨거운 캐소드 전자 총 증발 이온 도금 장비는 전자 건을 사용하여 이온화 효율을 향상시켜 3-5의 준비를 가능하게하는 전자 건을 사용하여 공작물 가열 및 탈기를 위해 탄탈 룸 와이어와 결합 된 구리 도가니에서 대상을 가열하고 녹입니다.μ2000-2500HV의 경도와 탁월한 내마모성을 가진 두꺼운 주석 코팅은 제거를 위해 전문 분쇄 장비가 필요합니다. 그러나 이러한 장비는 주석 코팅 및 순수한 금속 필름에만 적합하여 다중 요소 복합 코팅을 안정적으로 준비 할 수 없으므로 고속 절단 도구 및 다양한 곰팡이의 복잡한 요구를 충족시키기가 어렵 기 때문에 궁극적으로 단일 주석 코팅 응용 프로그램에 제한하기가 어렵습니다. 이 초기 탐색은 이러한 장치의 진공 코팅 기계 드로잉 레슨과 함께 현대 진공 코팅 기계 개발의 기초를 마련했습니다. 진공 코팅 머신의 현재 복합 기술은 초기 한계를 해결합니다.
CRN 코팅과 같은 의료 기기의 진공 코팅 기계는 항균 및 부식성을 제공합니다. 진공 코팅 머신의 환경 장점은 EU 도달 규정을 준수하는 저 폐기물 배출에 있습니다. 독일 및 일본 브랜드를 포함한 진공 코팅 머신의 글로벌 공급 업체는 기술 이전을 촉진합니다.
21 세기에 PVD 코팅 기술 반복의 초점은 마그네트론 스퍼터링 기술을 최적화하여 핵심 구성 요소 및 프로세스 매개 변수의 혁신을 통해 "단일 기능"에서 "다기능 적응"으로 전환하여 대규모 산업 애플리케이션을 달성했습니다. 핵심 기술 혁신에는 전통적인 한계를 극복하기위한 4 가지 획기적인 혁신이 포함되며, 먼저 자기장 시스템 최적화는 전통적인 균형 잡힌 자기장을 대체하기 위해 불균형 자기장을 채택하여 혈장의 자기 제한을 향상시켜 표적 원자 이온화 속도를 30% 이상 60% 이상 증가시켜 코팅 서류 유적지를 크게 강화시킵니다. 두 번째는 전원 공급 기술 업그레이드 기존 DC 전력을 50kHz 중간 주파수 전력으로 대체하여 DC 전력에서 공통적 인 "대상 중독"문제를 해결하는 동시에 DC 바이어스 대신 펄스 전력을 사용하여 정확한 증착 속도 제어를 달성하여 과도한 내부 응력을 피하기 위해 크래킹을 유도합니다. 진공 코팅 머신은 진공 코팅 머신의 펄스 바이어스 기술로 필름 균일 성을 향상시켜 이러한 업그레이드로부터 크게 이익을 얻습니다. 진공 코팅 머신의 보조 양극은 혈장 분포를 추가로 최적화합니다.
셋째, 보조 애서 기술 애플리케이션은 진공 챔버에서 혈장 분포 균일 성을 최적화하기 위해 보조 양극을 추가하고, 코팅 두께 편차를 제어합니다.±5%, 정밀 도구 및 금형의 고정밀 코팅 수요에 적합합니다. 그리고 넷째, 장비가 서로 다른 재료 대상의 3-6 그룹의 동시 장착을 지원하여 각 대상에 대한 스퍼터링 전력 및 시간의 정밀한 제어를 통해 다중 요소 복합 코팅의 안정적인 준비를 달성하는 다중 표적 호환성 설계입니다. 진공 코팅 머신의 다중 표적 시스템은 산업화의 핵심입니다.
기술 혁신을 통해 Magnetron Sputtering PVD 진공 코팅 기계는 Tialn 코팅을 포함한 핵심 제품을 포함하여 다양한 고성능 코팅의 안정적인 질량 생산을 달성했습니다. Tialn 코팅을 포함한 핵심 제품은 최대 3000-3500HV의 경도로 우수한 고온 저항성을 제공하여 고속 스틸 및 카보이기 도구를 사용하여 고속 절단 시나리오에 적합합니다.℃주로 항공 우주, TIB에서 대기성 물질을 절단하는 데 사용됩니다₂최대 4000-4500HV의 경도로 코팅 및 비철 금속에 대한 다이 캐스팅 금형에 적용 가능한 뛰어난 화학적 차단 저항, DLC 코팅은 정밀성 베어링 및 자동 조합 엔진 성분에 널리 사용되는 높은 경도 및 인성을 결합한 낮은 경도 및 인성을 조합하는 낮은 경도 및 인성을 특징으로하는 DLC 코팅, CRN 코팅 조합 부식성 및 장식용 특성 및 의료용 특성을 조합합니다. 지역 레이아웃 측면에서 그러한 장비는 광동, 장부, 구이 저우, 후난 Zhuzhou가 주요 시장이되는 중국의 핵심 산업 지역에서 대규모 응용 프로그램을 형성했으며, 국내 장비 제조업체는 안정적인 생산을 달성했을뿐만 아니라 독일 PVD 및 일본어와 같은 국제 브랜드도 도입되었습니다. 코팅 시장 규모는 50 억 위안을 초과했습니다. 진공 코팅 머신의 산업화는 진공 코팅 기계 수출이 증가함에 따라 고급 현지화를 가지고 있습니다.
태양 전지 코팅과 같은 새로운 에너지의 진공 코팅 기계는 전환 효율을 향상시킵니다. 재활용 시스템을 통한 진공 코팅 머신의 에너지 최적화는 운영 비용을 줄입니다. 보호 덮개를 포함한 진공 코팅 머신의 안전 설계는 운영자 안전을 보장합니다.
현재 PVD 코팅 기술은 AI 알고리즘을 도입하면 코팅 프로세스 매개 변수의 적응 형 제어를 더욱 향상시키는 코팅 성능 안정성을 더욱 향상시킬 수 있도록 "고성능, 스마트 및 더 친환경적"방향으로 발전하고 있습니다. 진공 코팅 기계의 지능형 업그레이드는 진공 코팅 머신의 AI 시스템이 진공 및 온도를 실시간으로 모니터링함으로써 주요 추세가 될 것입니다.
반면에 저온 PVD 기술을 개발하면 대상 재활용 및 재사용, 에너지 소비 최적화 및 기타 측정 값을 통해 플라스틱 및 도자기와 같은 열에 민감한 재료의 응용을 확장합니다. 진공 코팅 머신의 녹색 개발은 탄소 중립 목표와 일치합니다.
향후 PVD 진공 코팅 머신은 도구 및 곰팡이 성능 향상을위한 핵심 지원 일뿐 만 아니라 새로운 에너지, 반도체 및 생체 의학과 같은 전략적 신흥 분야에서 핵심적인 역할을 할 것입니다. 반도체 칩의 진공 코팅 머신은 이하 5nm 공정을 지원합니다. 진공 코팅 머신의 생체 적합성 코팅은 이식 가능한 의료 기기에 사용됩니다. 진공 코팅 머신의 글로벌 시장은 2035 년까지 수억에이를 것으로 예상되며, 진공 코팅 기계 혁신은 계속해서 기술 혁명을 주도하고 있습니다.
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