Συνολική Ανάλυση του Βασικού Τεχνολογικού Συστήματος και της Εξελικτικής Ανάπτυξης της Μηχανής Επίστρωσης PVD

Ολοκληρωμένη ανάλυση του βασικού τεχνολογικού συστήματος και της εξελικτικής ανάπτυξης της μηχανής επίχρισσης PVD

Επισκόπηση της τεχνολογίας της μηχανής επικάλυψης με κενό και πλαίσιο εφαρμογής της μηχανής επικάλυψης με κενό

Η τεχνολογία φυσικής απορρόφησης ατμών χρησιμεύει ως βασικός πυλώνας στον τομέα της τροποποίησης της επιφάνειας υλικών, με τη μετατροπή στερεών υλικών σε αέρια άτομα, μόρια,ή ιόντα σε κενό περιβάλλον και την κατάθεση τους στην επιφάνεια του υποστρώματος για να σχηματίσουν λειτουργικές επικάλυψεις, βελτιώνει σημαντικά τις βασικές ιδιότητες, όπως την αντοχή στην φθορά, την αντοχή στη διάβρωση, τη σκληρότητα και την διακοσμητική ελκυστικότητα.διασφάλιση της αποτελεσματικότητας και της σταθερότητας στις εργασίες επικάλυψηςΗ εξέλιξη του μηχανήματος επικαλύψεως κενού χρονολογείται από τα τέλη του 19ου αιώνα με την εξερεύνηση της τεχνολογίας κενού, προχωρώντας από την απλή εξατμίλωση σε σύνθετη ψεκασμό,Είναι πλέον απαραίτητο στη σύγχρονη βιομηχανία..

While currently the technology system of PVD vacuum coating machines has evolved from single processes to a three-dimensional framework of "basic technology optimization + multi-technology integration + equipment iterative upgrades, " ευρέως εφαρμόζεται σε βασικούς βιομηχανικούς τομείς όπως η κατασκευή εργαλείων και καλούπιων, η μηχανική επεξεργασία και τα όργανα ακριβείας.Οι εφαρμογές της μηχανής επικαλύψεως με κενό σε αυτούς τους τομείς όχι μόνο παρατείνουν τη διάρκεια ζωής του προϊόντος αλλά μειώνουν επίσης το κόστος συντήρησηςΤο μέγεθος της αγοράς της μηχανής επικαλύψεως κενού αυξάνεται ραγδαία, με τους παγκόσμιους αριθμούς να ξεπερνούν τις δεκάδες δισεκατομμύρια δολάρια το 2023, προβλέπεται να διπλασιαστεί μέχρι το 2030.Η υιοθέτηση της μηχανής επικαλύψεως κενού ενισχύεται από την φιλική προς το περιβάλλον φύση της, την αποφυγή των επιβλαβών χημικών ουσιών και την ευθυγράμμιση με τη βιώσιμη ανάπτυξη.

Ο πυρήνας της μηχανής επικαλύψεως κενού έγκειται στον έλεγχο του περιβάλλοντος κενού, χρησιμοποιώντας συνήθως αντλίες υψηλού κενού όπως μαγνητικές αντλίες μοριακής αναστολής για την επίτευξη επιπέδων κενού 10^-5 Pa ή καλύτερων.Αυτό επιτρέπει στο μηχάνημα επικαλύψεως κενού να λειτουργεί σε χαμηλές θερμοκρασίεςΤα συστήματα ισχύος της μηχανής επικαλύψεως κενού είναι ζωτικής σημασίας, εξελίσσονται από ισχύ συνεχούς μετάδοσης σε ισχύ παλμού, βελτιώνοντας την αποτελεσματικότητα της επικαλύψεως.

Βασικό τεχνολογικό σύστημα μηχανής επικαλύψεως με κενό: Συμπληρωματικά πλεονεκτήματα μηχανής επικαλύψεως με κενό με πολλαπλό τόξο και μαγνητόστρωμα

Το βασικό τεχνολογικό σύστημα των μηχανών επικαλύψεως κενού PVD επικεντρώνεται στην πολυπυκνή επίστρωση και την επίστρωση ψεκασμού μαγνητρονίων,οι οποίες λόγω των διαφορών στις αρχές και στις δομές αποτελούν συμπληρωματικά πλεονεκτήματα απόδοσης και όρια εφαρμογήςΗ τεχνολογία επικαλύψεως με κενό ιόντων πολλαπλών τόξων διακρίνεται από την απλή λειτουργία και την ισχυρή προσκόλληση της επικαλύψεως." με την κεντρική δομή του εξοπλισμού που απαιτεί μόνο μια ηλεκτρική πηγή μηχανής συγκόλλησης για να οδηγήσει την πηγή εξάτμισης ιόντων, μέσω σύντομης διακοπής επαφής μεταξύ της βελόνας ανάφλεξης τόξου και της πηγής εξατμίωσης για την ενεργοποίηση εκκένωσης αερίων,ένα κινούμενο σημείο τόξου σχηματίζει μια συνεχή λιωμένη δεξαμενή στην επιφάνεια της πηγής εξάτμισηςΤα βασικά πλεονεκτήματα αυτής της τεχνολογίας περιλαμβάνουν υψηλό ποσοστό αξιοποίησης στόχου, ποσοστό ιονισμού ιόντων μετάλλου έως και πάνω από 80%,διασφάλιση εξαιρετικά ισχυρής προσκόλλησης μεταξύ της επικάλυψης και του υποστρώματος, εν τω μεταξύ, η σταθερότητα χρωματισμού της επικάλυψης είναι εξαιρετική, ιδιαίτερα στην προετοιμασία στρωμάτων TiN όπου μπορεί σταθερά να παράγει ομοιόμορφο χρυσό κίτρινο με απαράμιλλη συνέπεια παρτίδας.Το μηχάνημα επικαλύψεως κενού βελτιώνει την απόδοση της επικαλύψεως σε εφαρμογές πολλαπλών τόξων, με το σχεδιασμό της πηγής ιόντων της μηχανής επικαλύψεως κενού που επιτρέπει βομβαρδισμό ιόντων υψηλής ενέργειας για τη βελτίωση της προσκόλλησης του φιλμ.

Ωστόσο, η επικάλυψη με πολλαπλό τόξο έχει προφανείς περιορισμούς, όπως όταν χρησιμοποιείται παραδοσιακή ισχύς συνεχούς ρεύματος για επικάλυψη χαμηλής θερμοκρασίας, καθώς το πάχος της επικάλυψης φτάνει το 0.3μΗ επιφάνεια είναι επιρρεπής σε θολούμενο ύφασμα και η ταχύτητα αποθέσεως πλησιάζει το όριο της ανακλαστικότητας.Επιπλέον, τα σωματίδια αποθέματος που σχηματίζονται κατά τη διάρκεια του λιώματος και της εξατμίσεως των μετάλλων είναι μεγαλύτερα, οδηγώντας σε χαμηλότερη πυκνότητα επικάλυψης και 30%-40% ασθενέστερη αντοχή στην φθορά σε σύγκριση με την ψεκασμό με μαγνητόρον, καθιστώντας το ακατάλληλο για σενάρια τριβής υψηλού φορτίου.Η μηχανή επίχρισμα κενού απαιτεί βελτιστοποιήσεις για την αντιμετώπιση αυτών των ελλείψεωνΗ μηχανή επικαλύψεως κενού στην πράξη συχνά συνδυάζει βήματα προκαθαρισμού για τη βελτίωση της συνολικής απόδοσης.

Από την άλλη πλευρά, η επικάλυψη ψεκασμού μαγνητρών χρησιμοποιεί μαγνητικά πεδία σε κενό περιβάλλον για να περιορίσει την κίνηση των ηλεκτρονίων,βελτίωση της αποτελεσματικότητας ιονισμού από σύγκρουση μεταξύ ηλεκτρονίων και εργασιακών αερίων όπως το άργον, το προερχόμενο πλάσμα βομβαρδίζει την επιφάνεια στόχου, εκτοπίζοντας τα άτομα στόχου για να αποθηκευτούν στο υπόστρωμα για να σχηματίσουν φιλμ.Δυσσωρευτικό διάλυμα, και σημαντικά υψηλότερη αντοχή στην φθορά σε σύγκριση με την επικάλυψη πολλαπλών τόξων, επιπλέον η υψηλή ομοιομορφία στην περιοχή επικάλυψης επιτρέπει συνεπή επικάλυψη σε τεράστια εργασιακά κομμάτια,κατάλληλο για τις ανάγκες μαζικής παραγωγήςΩστόσο, η τεχνολογία ψεκασμού με μαγνητρόνια έχει τα μειονεκτήματά της, συμπεριλαμβανομένης της ασθενέστερης προσκόλλησης μεταξύ της επικάλυψης και του υποστρώματος, η οποία απαιτεί προεπεξεργασία για την ενίσχυση της επιφανειακής δραστηριότητας του υποστρώματος.και χαμηλότερο ρυθμό ιονισμού των ιόντων μετάλλων με ανεπαρκή σταθερότητα χρώσης, γεγονός που οδηγεί σε διαφορές χρώματος παρτίδας κατά την παρασκευή πολύχρωμων επιχρισμών όπως το TiN, καθιστώντας δύσκολη την εκπλήρωση σεναρίων που απαιτούν τόσο υψηλής ποιότητας διακοσμητικές όσο και λειτουργικές ιδιότητες.Η ενσωματωμένη σχεδίαση της μηχανής επικαλύψεως κενού στο σπυττάρισμα μαγνητρονίων βοηθά στην επίλυση αυτών των προβλημάτωνΗ μηχανή επικαλύψεως κενού αναβαθμίζει την ισχύ της, όπως ισχύ μεσαίας συχνότητας,μειώνει την δηλητηρίαση του στόχου, βελτιώνοντας τη σταθερότητα της μηχανής επικαλύψεως υπό κενό.

Η ιστορία της μηχανής επικαλύψεως κενού χρονολογείται από τις ανακαλύψεις του 20ου αιώνα, εξελισσόμενη με τα χρόνια για να γίνει ένας αντιπρόσωπος υψηλής τεχνολογίας εξοπλισμού.Η μηχανή επικαλύψεως με κενό στην βιομηχανία ημιαγωγών είναι ιδιαίτερα σημαντικήΗ συντήρηση της μηχανής επικαλύψεως με κενό είναι ζωτικής σημασίας· ο τακτικός καθαρισμός του θαλάμου παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.

Μηχανή επικαλύψεως κενού Τεχνολογική ολοκλήρωση καινοτομία: σύνθετες διαδικασίες και πρώιμες εξερευνήσεις Μηχανή επικαλύψεως κενού

Για την αντιμετώπιση των αντίστοιχων περιορισμών των τεχνολογιών πολλαπλών τόξων και των τεχνολογιών ψεκασμού μαγνητρονίων, η βιομηχανία είναι πρωτοπόρος στις λύσεις "πολυτεχνολογικής ολοκλήρωσης",επίτευξη συμπληρωματικών πλεονεκτημάτων μέσω συνέργειας διαδικασιών για την οικοδόμηση ενός πιο ολοκληρωμένου συστήματος επιδόσεων επίστρωσηςΗ σημερινή συνήθης διαδικασία σύνθετων υλών υιοθετεί μια λογική επίστρωσης "τριών σταδίων", η οποία ταιριάζει με ακρίβεια στις ανάγκες απόδοσης σε διαφορετικά στάδια.συμπεριλαμβανομένου του σταδίου της πολυ-arc βασικής στρώσης που αξιοποιεί τον υψηλό ρυθμό ιονισμού και την ισχυρή προσκόλληση της πολυ-arc επικάλυψης για να αποθέσει ένα στρώμα μετάβασης 50-100nm στην επιφάνεια του υποστρώματος, αυξάνοντας σημαντικά την αντοχή προσκόλλησης των επόμενων επικάλυψεων στο υπόστρωμα και αποτρέποντας την αποστρώση κατά τη χρήση.Ακολουθεί το στάδιο πάχυνσης με μαγνητρόνιο, μετάβαση στη λειτουργία ψεκασμού με μαγνητρόνιο για ομοιόμορφη και αποτελεσματική εναπόθεση για αύξηση του πάχους της επικάλυψης σε 1-5μΗ μέθοδος αυτή χρησιμοποιεί την υψηλή πυκνότητα της τεχνολογίας των μαγνητρονίων για να προσφέρει στην επικάλυψη εξαιρετική αντοχή στην φθορά και την αντοχή σε χτυπήματα.Και τελικά το στάδιο σταθεροποίησης χρώματος πολλαπλού τόξου που επιτρέπει ξανά την επικάλυψη πολλαπλού τόξου για την κατάθεση ενός λειτουργικού στρώματος χρώματος 10-30nm στην επιφάνεια της επικάλυψης, αξιοποιώντας το σταθερό πλεονέκτημα χρωματισμού της τεχνολογίας πολλαπλών τόξων για τον έλεγχο της απόκλισης χρώματος των παρτίδων εντόςΔΕ < 1.0Το μηχάνημα επικαλύψεως κενού είναι απαραίτητο για την εφαρμογή αυτής της σύνθετης διαδικασίας,με τα συστήματα πολλαπλών στόχων της μηχανής επικαλύψεως κενού που επιτρέπουν την απρόσκοπτη εναλλαγή διαδικασιώνΟι έλεγχοι αυτοματισμού της μηχανής επικαλύψεως κενού αυξάνουν περαιτέρω την αποδοτικότητα της παραγωγής.

Οι επικαλύψεις που παρασκευάζονται με αυτή τη σύνθετη διαδικασία επιτυγχάνουν προσκόλληση άνω των 50N, με 20% βελτιωμένη αντοχή στην φθορά σε σύγκριση με τις επικαλύψεις μονομαγνητρονίου ψεκασμού, διατηρώντας παράλληλα τη σταθερότητα του χρώματος.καθιστώντας την προτιμώμενη λύση για εργαλεία κοπής υψηλής ποιότητας και καλούπια ακριβείαςΗ πολυλειτουργική ολοκλήρωση της μηχανής επίχρισής κενού οδηγεί περαιτέρω στην καινοτομία της βιομηχανίας, με τη μηχανή επίχρισσης κενού στον αεροδιαστημικό τομέα να παρουσιάζει τις δυνατότητές της.Οι επικαλύψεις του μηχανήματος επικαλύψεως κενού όπως το TiAlN αντέχουν σε θερμοκρασίες άνω των 1000°C.

Ήδη από τα μέσα έως τα τέλη της δεκαετίας του 1980, η βιομηχανία άρχισε τις αρχικές έρευνες για την ολοκλήρωση της τεχνολογίας PVD,με τη διαδοχική εισαγωγή εξοπλισμού εξάτμισης ιόντων με θερμόκαθοδικό ηλεκτρονικό όπλο και μηχανών επικάλυψης με πλάσμα μαγνητρονίων με θερμόκαθοδικό τόξοΜεταξύ αυτών, ο εξοπλισμός εξάτμισης ιόντων με θερμό καθετό ηλεκτρονικού όπλου θερμαίνει και λιώνει τον στόχο σε χάλκινο χωνευτήρα.με περιεκτικότητα σε υγρασία άνω των 50 ppm,, χρησιμοποιώντας ένα όπλο ηλεκτρονίων για την αύξηση της αποτελεσματικότητας ιονισμού, επιτρέποντας την προετοιμασία 3-5μm παχιάς επικάλυψης TiN με σκληρότητα 2000-2500HV και εξαιρετική αντοχή στην φθορά, απαιτώντας ακόμη και επαγγελματικό εξοπλισμό άλεσης για την αφαίρεση.Ωστόσο, ο εξοπλισμός αυτός έχει σημαντικούς περιορισμούς, καθώς είναι κατάλληλος μόνο για επικάλυψη TiN και καθαρές ταινίες μετάλλου., αδυνατεί να παρασκευάσει σταθερά πολυελαστικές σύνθετες επενδύσεις, καθιστώντας δύσκολη την κάλυψη των πολύπλοκων αναγκών των εργαλείων κοπής υψηλής ταχύτητας και των ποικίλων καλούπιων,τελικά περιορίζοντάς το σε εφαρμογές ενιαίας επικάλυψης TiNΑυτές οι πρώτες εξερευνήσεις έθεσαν τα θεμέλια για τη σύγχρονη ανάπτυξη μηχανών επίχρισσης κενού, με τη μηχανή επίχρισσης κενού να αντλεί μαθήματα από αυτές τις συσκευές.Οι σημερινές τεχνολογίες σύνθετων υλικών της μηχανής επικαλύψεως κενού επιλύουν τα πρώτα όρια.

Η μηχανή επίχρισής κενού σε ιατρικά προϊόντα, όπως οι επικαλύψεις CrN, παρέχει ανθεκτικότητα σε αντιβακτηρίδια και διάβρωση.συμμόρφωση με τους κανονισμούς REACH της ΕΕΟι παγκόσμιοι προμηθευτές της μηχανής επίχρισής κενού, μεταξύ των οποίων γερμανικές και ιαπωνικές μάρκες, προωθούν τη μεταφορά τεχνολογίας.

Μηχανή επίχρισής κενού Τεχνολογικές επαναλαμβανόμενες αναβαθμίσεις: Καινοτομίες και Βιομηχάνιση Μηχανής επίχρισσης κενού με ψεκασμό μαγνητρών

Με την είσοδο στον 21ο αιώνα, το επίκεντρο των επαναλήψεων της τεχνολογίας επικάλυψης PVD μετατοπίστηκε στην βελτιστοποίηση της τεχνολογίας ψεκασμού μαγνητρονίων,η προώθηση του μετασχηματισμού της από "μονική λειτουργία" σε "πολυλειτουργική προσαρμογή" μέσω καινοτομιών στα βασικά στοιχεία και τις παραμέτρους της διαδικασίαςΟι βασικές τεχνολογικές καινοτομίες του περιλαμβάνουν τέσσερις πρωτοποριακές εξελίξεις για την υπέρβαση των παραδοσιακών περιορισμών,Πρώτον είναι η βελτιστοποίηση του συστήματος μαγνητικού πεδίου υιοθετώντας μη ισορροπημένα μαγνητικά πεδία για να αντικαταστήσουν τα παραδοσιακά ισορροπημένα, ενισχύοντας τον μαγνητικό περιορισμό του πλάσματος για να αυξήσει το ποσοστό ιονισμού του ατόμου-στόχου από 30% σε πάνω από 60%, ενισχύοντας σημαντικά την προσκόλληση του υποστρώματος-επιχρισμού.Δεύτερον είναι η αναβάθμιση της τεχνολογίας τροφοδοσίας που αντικαθιστά την παραδοσιακή ισχύ συνεχούς ρεύματος με ισχύ μέσης συχνότητας 50KHz για την επίλυση του προβλήματος "δηλητηρίασης στόχου" που είναι κοινό στην ισχύ συνεχούς ρεύματος., ενώ χρησιμοποιείται ισχύς παλμού αντί για παραμερισμό συνεχούς ρεύματος για να επιτευχθεί ακριβής έλεγχος του ρυθμού αποθέσεων, αποφεύγοντας την υπερβολική εσωτερική πίεση που οδηγεί σε ρωγμάτωση.Το μηχάνημα επίστρωσης κενού επωφελείται σημαντικά από αυτές τις αναβαθμίσειςΟι βοηθητικές άνοδοι της μηχανής κάλυψης κενού βελτιστοποιούν περαιτέρω την κατανομή του πλάσματος.

Τρίτον είναι η εφαρμογή της τεχνολογίας βοηθητικών ανόδων προσθέτοντας βοηθητικά ανόδους για τη βελτιστοποίηση της ομοιομορφίας κατανομής πλάσματος στον θάλαμο κενού, ελέγχοντας την απόκλιση πάχους της επικάλυψης εντός±5%, κατάλληλο για τις ανάγκες υψηλής ακρίβειας επίστρωσης σε εργαλεία και καλούπια υψηλής ακρίβειας.Και τέταρτο είναι το σχεδιασμό συμβατότητας πολλαπλών στόχων όπου ο εξοπλισμός υποστηρίζει ταυτόχρονη τοποθέτηση 3-6 ομάδων διαφορετικών στόχων υλικών, επιτυγχάνοντας σταθερή παρασκευή συνθετικών επικάλυψεων πολλαπλών στοιχείων μέσω ακριβούς ελέγχου της ισχύος ψεκασμού και του χρόνου για κάθε στόχο.Τα συστήματα πολλαπλών στόχων του μηχανήματος επικαλύψεως κενού είναι το κλειδί για την εκβιομηχάνιση.

Μέσα από τεχνολογικές καινοτομίες, οι μηχανές ψεκασμού PVD ψεκασμού με μαγνητρονίου έχουν επιτύχει σταθερή μαζική παραγωγή διαφόρων επικαλύψεων υψηλών επιδόσεων, with core products including TiAlN coating offering excellent high-temperature resistance with hardness up to 3000-3500HV suitable for high-speed cutting scenarios with high-speed steel and carbide tools, Επιχρισμός AlTiN που παρέχει ισχυρή αντοχή στην οξείδωση διατηρώντας σταθερές επιδόσεις στο 1100°Cπου χρησιμοποιείται κυρίως για την κοπή υλικών δύσκολης μηχανικής στο χώρο της αεροπορίας, TiB₂επικάλυψη με σκληρότητα έως 4000-4500HV και εξαιρετική αντοχή σε χημική διάβρωση που εφαρμόζεται σε καλούπια χύτευσης με έλαση για μη σιδηρούχα μέταλλα,Επιχρισμός DLC με χαμηλό συντελεστή τριβής που συνδυάζει υψηλή σκληρότητα και αντοχή, που χρησιμοποιείται ευρέως σε ρουλεμάντα ακριβείας και εξαρτήματα κινητήρων αυτοκινήτωνΗ επικάλυψη CrN συνδυάζει αντοχή στη διάβρωση και διακοσμητικές ιδιότητες που χρησιμοποιούνται συνήθως σε εξοπλισμό μπάνιου και ιατρικές συσκευές.Από την άποψη της περιφερειακής διάταξης τέτοιου είδους εξοπλισμός έχει σχηματίσει εφαρμογές μεγάλης κλίμακας στις κεντρικές βιομηχανικές περιοχές της Κίνας με την Guangdong, Jiangsu, Guizhou, και Hunan Zhuzhou γίνονται σημαντικές αγορές,όχι μόνο οι εγχώριοι κατασκευαστές εξοπλισμού έχουν επιτύχει σταθερή παραγωγή αλλά έχουν επίσης εισαχθεί διεθνείς μάρκες όπως οι γερμανικές PVD και Japanese Vacuum, με τη βιομηχανία να δείχνει μια δυναμική "φωτιά των λιβάδων", και το 2023 η εγχώρια κλίμακα της αγοράς επίστρωσης PVD εργαλείων και μούχλας ξεπέρασε τα 5 δισεκατομμύρια γιουάν.Η βιομηχανοποίηση της μηχανής επίστρωσης κενού έχει προχωρήσει στην τοπικοποίηση, με τις εξαγωγές μηχανών επικαλύψεως κενού να αυξάνονται.

Η μηχανή επικαλύψεως κενού σε νέες ενέργειες, όπως οι επικαλύψεις ηλιακών κυψελών, βελτιώνει την αποδοτικότητα μετατροπής.Σχεδιασμοί ασφαλείας της μηχανής επικαλύψεως υπό κενό, συμπεριλαμβανομένων των προστατευτικών καλύψεων, εξασφαλίζουν την ασφάλεια των χειριστών.

Μηχανή Εφοδιασμού με Κενό Μελλοντικές τάσεις ανάπτυξης: Προς υψηλότερη απόδοση και ευρύτερες εφαρμογές Μηχανή Εφοδιασμού με Κενό

Επί του παρόντος, η τεχνολογία επικάλυψης PVD εξελίσσεται προς τις κατευθύνσεις "υψηλότερης απόδοσης, πιο έξυπνης και πιο πράσινης",αφενός, η εισαγωγή αλγορίθμων τεχνητής νοημοσύνης επιτρέπει τον προσαρμοστικό έλεγχο των παραμέτρων της διαδικασίας επικάλυψης, ενισχύοντας περαιτέρω τη σταθερότητα των επιδόσεων της επικάλυψηςΗ ευφυής αναβάθμιση της μηχανής επικάλυψης κενού θα γίνει μια βασική τάση, με τα συστήματα τεχνητής νοημοσύνης της μηχανής επικάλυψης κενού να παρακολουθούν το κενό και τη θερμοκρασία σε πραγματικό χρόνο.

Από την άλλη πλευρά, η ανάπτυξη της τεχνολογίας PVD χαμηλής θερμοκρασίας επεκτείνει τις εφαρμογές της σε θερμοευαίσθητα υλικά όπως πλαστικά και κεραμικά, εν τω μεταξύ μέσω της στοχευμένης ανακύκλωσης και επαναχρησιμοποίησης,βελτιστοποίηση της κατανάλωσης ενέργειαςΗ πράσινη ανάπτυξη της μηχανής επικαλύψεως κενού ευθυγραμμίζεται με τους στόχους ουδετερότητας άνθρακα.

Στο μέλλον, η μηχανή επίχρισής κενού PVD δεν θα είναι μόνο ένα βασικό μέσο υποστήριξης για τη βελτίωση της απόδοσης εργαλείων και καλούπιων, αλλά θα διαδραματίσει επίσης βασικό ρόλο σε στρατηγικούς αναδυόμενους τομείς όπως η νέα ενέργεια,ημιαγωγούςΗ συσκευή επικαλύψεως κενού σε ημιαγωγικά τσιπ θα υποστηρίζει διαδικασίες κάτω των 5nm. Οι βιοσυμβατές επικαλύψεις της συσκευής επικαλύψεως κενού θα χρησιμοποιηθούν σε εμφυτεύσιμες ιατρικές συσκευές.Η παγκόσμια αγορά της μηχανής επικαλύψεως κενού προβλέπεται να φτάσει εκατοντάδες δισεκατομμύρια έως το 2035, με τις καινοτομίες των μηχανών επικαλύψεως κενού να συνεχίζουν να οδηγούν τεχνολογικές επαναστάσεις.