| チャンバー材質 | ステンレス鋼(SUS304) |
| メインポンプオプション | ドライポンプまたはロータリーポンプ、ターボ分子ポンプ(TMP)、クライオポンプ、拡散ポンプ |
| 到達真空度 | 空の状態、クリーニング時 1.07*10⁻⁴ Pa/24h 未満 |
| リークレート | Heリーク検出器使用時 1.33*10⁻⁷ Pa・L/sec 未満 |
| 巻き取り速度 | 0.01~6.00 m/min |
| ターゲット材料 | 金属:Al、Cr、Ni、Mo、Au;酸化物:ITO、SiO₂、TiO₂ |
| 基板適合性 | フィルム(PET、PI、PC)、金属ストリップ、フレキシブルガラス、プラスチック、テキスタイル |
| 密着性 | 100%(テープテスト) |
| 膜厚均一性 | 有効面積内で±5%未満 |
| 制御システム | HMI制御(PLC+PCベース)、手動/自動/半自動選択、データフィードバック&リアルタイム表示 |