วิธีทำให้สีทอง สีดำ และสีโรสโกลด์คงที่ในการเคลือบ PVD

เรียนรู้วิธีทำให้สีทอง สีดำ และสีโรสโกลด์ PVD คงที่ด้วยระบบไฮบริดแบบมัลติอาร์คไอออน + แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง ค้นพบสูตรแก๊สเป้าหมาย โซลูชันการควบคุมกระบวนการ และประโยชน์ของเครื่องจักรไฮบริดเพื่อความสม่ำเสมอของสีและความเสถียรของชุดงาน

H1: วิธีทำให้สีทอง สีดำ และสีโรสโกลด์คงที่ในการเคลือบ PVD

ความสม่ำเสมอของสีเป็นหนึ่งในประเด็นที่สร้างความเจ็บปวดสูงสุดสำหรับผู้ผลิตการเคลือบ PVD แบบตกแต่ง จากการสำรวจอุตสาหกรรมในปี 2025 พบว่า 68% ของข้อร้องเรียนของลูกค้าเกิดจากการเปลี่ยนแปลงของสีในแต่ละชุดงาน—แม้แต่การเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยในความอบอุ่นของสีทองหรือความเข้มของสีดำก็อาจนำไปสู่การปฏิเสธคำสั่งซื้อได้

ลูกค้าต้องการความสม่ำเสมอที่ไม่เปลี่ยนแปลงในการผลิตทุกครั้ง:

• ความเงางามของสีทองที่สม่ำเสมอ (ไม่เป็นสีทองเหลืองหรือสีซีดเกินไป)
• สีดำเข้มที่ไม่ซีดจาง (ไม่มีสีน้ำตาล)
• สีโรสโกลด์ที่เข้มข้น (เฉดสีชมพูทองที่สมดุล)
• สีรุ้งที่แม่นยำ (ความก้าวหน้าของสีที่สม่ำเสมอ)

คู่มือนี้อธิบายว่า ระบบ PVD แบบไฮบริด (มัลติอาร์คไอออน + แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง) แก้ปัญหาความไม่เสถียรของสีได้อย่างไร พร้อมข้อมูลที่นำไปปฏิบัติได้จริงและสูตรวัสดุ

H2: ทำไมความสม่ำเสมอของสีจึงเป็นความท้าทายที่ยิ่งใหญ่ที่สุดของ PVD

สี PVD แบบตกแต่งเป็นความสมดุลที่ละเอียดอ่อนขององค์ประกอบของฟิล์ม ความหนา และโครงสร้าง—ถูกรบกวนได้ง่ายจาก 7 ปัจจัยสำคัญ:

• ความไม่เสถียรของอัตราส่วนแก๊ส: การเปลี่ยนแปลง 5% ใน N₂/Ar สามารถเปลี่ยน TiN gold จาก "เหมือน 24K" เป็น "โทนสีทองแดง" .
• ความผันผวนของอุณหภูมิ: อุณหภูมิของพื้นผิว ±20°C เปลี่ยนแปลงความเป็นผลึกของฟิล์ม ทำให้สีโรสโกลด์เปลี่ยนเป็นสีส้ม .
• การสึกหรอของเป้าหมาย: การกัดกร่อน 10% ของเป้าหมาย Cr ลดความอิ่มตัวของสีโรสโกลด์ลง 15% .
• ปัญหาการหมุนของอุปกรณ์: การหมุนที่ไม่สม่ำเสมอทำให้เกิดความแตกต่างของความหนา 10-15% ทำให้เกิดแถบสี .
• การเสื่อมสภาพของปั๊ม: การรั่วไหลของสุญญากาศ (สูงกว่า 5×10⁻³ Pa) ทำให้เกิดออกซิเจน ทำให้การเคลือบสีดำหมองคล้ำ .
• การปนเปื้อนในห้อง: Ti ที่เหลือจากการทำงานของสีทองทำให้การเคลือบสีดำในภายหลังเป็นสีเทา .
• ความแปรปรวนของผู้ปฏิบัติงาน: การปรับสูตรด้วยตนเองเพิ่ม ΔE (ความแตกต่างของสี) 2.3 เท่า

PVD แบบกระบวนการเดียวแบบดั้งเดิมทำให้อาการเหล่านี้แย่ลง: การชุบไอออนอาร์คให้การยึดเกาะที่แข็งแรงแต่ฟิล์มที่ไม่สม่ำเสมอ ในขณะที่แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอแต่การยึดเกาะที่อ่อนแอ วิธีแก้ปัญหา? เทคโนโลยีไฮบริด

H2: ทำไมเครื่องจักรไฮบริดแบบมัลติอาร์คไอออน + แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งจึงขาดไม่ได้

ระบบ PVD แบบไฮบริดรวมจุดแข็งของสองเทคโนโลยีเพื่อแก้ไขการประนีประนอม "การยึดเกาะเทียบกับความสม่ำเสมอ" นี่คือวิทยาศาสตร์:

1. ข้อได้เปรียบหลักที่เสริมกัน

• การชุบไอออนมัลติอาร์ค: สร้างพลาสมาไอออไนเซชันสูง (อัตราไอออไนเซชัน 80-90%) ซึ่งจะกัดพื้นผิวและสะสมชั้นฐานที่ยึดติดกันทางโลหะวิทยาแน่นหนา สิ่งนี้ช่วยปรับปรุงการยึดเกาะ 300% เมื่อเทียบกับกระบวนการสปัตเตอร์ริ่งเท่านั้น ซึ่งมีความสำคัญสำหรับการใช้งานที่สึกหรอง่าย เช่น เครื่องประดับและฮาร์ดแวร์ .
• แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง: ใช้สนามแม่เหล็กเพื่อกักเก็บพลาสมา สะสมชั้นสีที่เรียบเป็นพิเศษ (Ra < 0.5 nm) พร้อมความสม่ำเสมอในระดับอะตอม ฟิล์มที่ถูกสปัตเตอร์ลด ΔE เหลือ 2.5 .

2. การเพิ่มประสิทธิภาพที่ได้รับการสนับสนุนจากข้อมูล

การศึกษา AGC Plasma ปี 2025 เปรียบเทียบกระบวนการไฮบริดกับกระบวนการเดียวสำหรับการเคลือบแบบตกแต่ง:

 

ตัวชี้วัด	Arc-Only	Sputtering-Only	ระบบไฮบริด
สี ΔE (Batch-to-Batch)	2.8	1.5	0.8
การยึดเกาะ (การทดสอบแบบ Cross-Cut)	5B	3B	5B
ความสม่ำเสมอของฟิล์ม (%)	82	96	98

*แหล่งที่มา: AGC Plasma, "นวัตกรรมในอุปกรณ์ PVD พื้นที่ขนาดใหญ่" 2025 *

H2: คุณสมบัติหลักของเครื่องจักร PVD แบบไฮบริด

ระบบไฮบริดสมัยใหม่ผสานรวมวิศวกรรมขั้นสูงเพื่อเพิ่มความเสถียรของสี:

1. การซิงโครไนซ์แบบ Dual-Source

• แคโทดอาร์คและสปัตเตอร์อิสระ: เป้าหมายอาร์ค (Ti, Cr) สะสมชั้นการยึดเกาะ เป้าหมายสปัตเตอร์ (TiAl, Zr, CrTi) สร้างชั้นสี
• การควบคุมพลังงานแบบพัลส์: ปรับกระแสอาร์ค (50-150A) และกำลังสปัตเตอร์ (1-5kW) แบบเรียลไทม์เพื่อชดเชยการสึกหรอของเป้าหมาย .

2. การตรวจสอบกระบวนการที่แม่นยำ

• สเปกโตรโฟโตมิเตอร์แบบอินไลน์: วัดสี ΔE ระหว่างการสะสม ทำให้เกิดการปรับการไหลของแก๊สภายใน 0.1 sccm
• อาร์เรย์เทอร์โมคัปเปิล + ไพโรมิเตอร์อินฟราเรด: รักษาอุณหภูมิของพื้นผิวที่ 70-120°C (เทียบกับ 200-300°C สำหรับ PVD แบบดั้งเดิม) เข้ากันได้กับพื้นผิวพลาสติกและโลหะผสม .

3. การสะสมที่ปราศจากสารปนเปื้อน

• ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล: ทำแรงดันพื้นฐานให้ได้ <1×10⁻⁴ Pa กำจัดสิ่งรบกวนจากออกซิเจน/ความชื้น .
• การทำความสะอาดพลาสมาหลังการทำงาน: กำจัดวัสดุเคลือบที่เหลือด้วยการระดมยิงไอออน Ar ลดการปนเปื้อนข้าม .

4. ความยืดหยุ่นแบบโมดูลาร์

• สลับเป้าหมาย (TiAl, Zr, CrTi) และโมดูลแก๊ส (N₂, C₂H₂, CH₄) เพื่อการปรับแต่งสีโดยไม่ต้องกำหนดค่าระบบใหม่ทั้งหมด .

H2: สูตรเป้าหมาย + แก๊สเฉพาะสี (พร้อมข้อมูลการวิจัย)

สีที่เสถียรขึ้นอยู่กับการผสมผสานวัสดุที่แม่นยำ ด้านล่างนี้คือสูตรที่ได้รับการพิสูจน์แล้วในอุตสาหกรรมซึ่งได้รับการตรวจสอบโดยการทดสอบ SEM และสเปกโตรโฟโตเมตรี:

1. การเคลือบสีทอง: ระบบ TiAlN & ZrN

PVD สีทองอาศัยฟิล์มที่ใช้ไนไตรด์ โดยมีอัตราส่วน N₂ เป็นตัวกำหนดความอบอุ่น:

 

ประเภทเป้าหมาย	องค์ประกอบของแก๊ส	พารามิเตอร์กระบวนการ	ลักษณะสี
โลหะผสม Ti-Al (50:50)	N₂/(Ar+N₂) = 33-50%	ไบแอส: -80V; อุณหภูมิ: 100°C	สีเหลืองทองสว่าง (ΔE <0.9)
โลหะผสม Ti-Al (50:50)	N₂/(Ar+N₂) = 83%	ไบแอส: -100V; อุณหภูมิ: 120°C	สีทองโบราณเข้ม (ความแข็ง: 21.5 GPa)
ZrN (ความบริสุทธิ์ 99.5%)	N₂/Ar = 40:60	ไบแอส: -90V; อุณหภูมิ: 90°C	สีทองแชมเปญอ่อน (ความต้านทานการกัดกร่อน: สเปรย์เกลือ 1000 ชม.)

กระบวนการที่ดีที่สุด: Arc (ชั้นฐาน Ti) + แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (ชั้นสี TiAlN/ZrN)

2. การเคลือบสีโรสโกลด์: CrTi-Carbon Nitride

เฉดสีชมพูของโรสโกลด์มาจากโลหะผสมโครเมียม-ไทเทเนียมที่ทำปฏิกิริยากับ C₂H₂:

• เป้าหมาย: โลหะผสม Cr-Ti (70:30)
• ส่วนผสมของแก๊ส: N₂ (10 sccm) + C₂H₂ (50-150 sccm) + Ar (200 sccm)
• การควบคุมที่สำคัญ: อัตราการไหลของ C₂H₂—50 sccm = สีชมพูอ่อน; 150 sccm = สีชมพูเข้ม (ΔE <1.0 ในแต่ละชุดงาน) .
• กระบวนการ: แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (ไม่จำเป็นต้องใช้อาร์คสำหรับการใช้งานที่ไม่สึกหรอ)

3. การเคลือบสีดำ: ไทเทเนียม/เซอร์โคเนียม/โครเมียมคาร์ไบด์

PVD สีดำต้องใช้ฟิล์มคาร์บอนสูงเพื่อให้ได้ความมืดที่สม่ำเสมอ:

 

ประเภทเป้าหมาย	องค์ประกอบของแก๊ส	ข้อมูลความเสถียรของสี
Ti (99.9%)	C₂H₂/Ar = 1:10	ΔE <0.7 หลังจากการสัมผัส UV 5000 ชม.
Zr (99.5%)	C₂H₂/Ar = 1:8	ไม่มีการเปลี่ยนสีน้ำตาล (ความแข็ง: 31 GPa)
Cr (99.9%)	CH₄/Ar = 1:12	ผิวสีดำด้าน (การยึดเกาะ: 5B)

กระบวนการที่ดีที่สุด: แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง (อาร์คเป็นตัวเลือกสำหรับชิ้นส่วนที่สึกหรอสูง)

H2: 7 กลยุทธ์ขั้นสูงเพื่อความเสถียรของสี

การสร้างขึ้นจากการควบคุมกระบวนการพื้นฐาน เทคนิคเหล่านี้ช่วยขจัดความแตกต่างของสีได้ 95%:

1. มาตรฐานการปรับสภาพเป้าหมาย

เบรกอินเป้าหมายใหม่ด้วยการพรีสปัตเตอร์ริ่ง 30 นาที (Ar เท่านั้น) เพื่อรักษาเสถียรภาพของอัตราการกัดกร่อน—ลด ΔE ลง 40% .

2. ล็อคการสอบเทียบการไหลของแก๊ส

ใช้ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) ที่สอบเทียบรายเดือนเพื่อรักษาอัตราส่วนแก๊สภายใน ±0.5% .

3. ปรับการหมุนของอุปกรณ์ให้เหมาะสม

ใช้อุปกรณ์ติดตั้งแบบแพลนเน็ตที่มีการปฏิวัติ 5 รอบต่อนาที + การหมุน 10 รอบต่อนาทีเพื่อความสม่ำเสมอในการครอบคลุม 98% .

4. ตรวจสอบการดริฟท์แรงดันไบแอส

ความผันผวน >5V เพิ่มรูพรุนของฟิล์ม—ติดตั้งตัวควบคุมแรงดันไฟฟ้าที่มีความแม่นยำ ±1V .

5. ใช้การทำความเย็นแบบคาดการณ์ล่วงหน้า

ตัวยึดพื้นผิวระบายความร้อนด้วยน้ำพร้อมการควบคุม PID ป้องกันอุณหภูมิพุ่งสูงขึ้น (>±5°C) ซึ่งทำให้สีโรสโกลด์เปลี่ยนเป็นสีส้ม .

6. แปลงการจัดการสูตรเป็นดิจิทัล

ล็อคสูตรในระบบ PLC ต้องได้รับการอนุมัติจากผู้ดูแลระบบสำหรับการปรับเปลี่ยน—ลดข้อผิดพลาดที่เกิดจากผู้ปฏิบัติงานลง 75% .

7. ตรวจสอบความถูกต้องด้วยการทดสอบ ΔE

ใช้มาตรฐาน ASTM D2244: ปฏิเสธชุดงานที่มี ΔE >1.2 (มองเห็นได้ด้วยตาที่ไม่ได้รับการฝึกฝน) .