그것은 유리, 금속, 플라스틱 및 세라믹 패널 및 디지털 제품, 시계, 하드웨어 등의 부품의 표면에 널리 적용됩니다.표면 단단성을 높이기 위해 AF 및 AS를 코팅하는 장식 및 기능적 필름, 부드러움, 마모 저항성, 화학 저항성 및 청소 용이성
| 크기 | Φ1600x H1900mm |
| 구조 | 전체 상자 배열을 가진 수직 단일 문 구조 |
| 펌프 속도 | 대기압 2.0×10-3Pa≤30분 |
| 최후 진공도 | 80.0×10-5Pa |
| 장착 시스템 | 고정 시스템 하단의 중심은 행성 공공 자율 회전 고정 샤프트 회전 |
| 배기 시스템 | 낮은 진공 펌프 세트 + 높은 진공 펌프 세트 + 폴리콜드 |
| 진공 제어 시스템 | 진공 조절기, 피닌 및 피라니 진공 측정기 |
| 코팅 시스템 | DC 또는 MF 마그네트론 스프터링 소스 + 플라즈마 소스 + 임피던스 증발 소스 |
| 인플레이션 시스템 | MFC |
| 필름 두께 제어 시스템 | 크리스탈 제어 |
| 제어 시스템 | PLC+ 터치 스크린 |
| 광 필름 용도 | AF, 하드 필름, 단순한 장식 필름, HR 필름 등 |
| 참고: | 사용자 정의 |
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