機能説明:
1. 垂直フロントドアのデザインを採用し、最高のドアスピンドルと回転システムにより、TIN、TIO2などの最も便利な操作性と美しい層を提供します。
2. SUS304ステンレス鋼材を採用し、隠れた冷却水ジャケット、優れた研磨と美しい外観。
3. 新開発のマルチアークイオン源を複数セット搭載し、イオンのスパッタリングを毎回均一で純粋かつ堅牢にします。4. 先進的なマルチウェイ吸気システムを採用し、ガス流量を精密に制御し、複合膜コーティングのニーズに対応します。
5. 単極パルスバイアス電源を搭載し、荷電粒子のエネルギーを大幅に向上させ、優れた膜密着性と仕上がりを実現します。新開発のインテリジェントPLCプログラムとHMIにより、コーティング操作がより迅速かつ容易になります。技術構成
1. チャンバー構造:垂直フロントドア構造、リア真空システム、真空チャンバーの材質は高品質SUS304ステンレス鋼を採用。2. アーク源:機械のサイズに応じて、複数のマルチアーク電源を搭載。
3. マルチアークターゲット:標準構成として、複数のチタンまたはステンレス鋼ターゲットを搭載。
4. 回転システム:遊星回転と公転、周波数制御。
5. 真空システム:拡散ポンプ(分子ポンプはオプション)+ルーツポンプ+メカニカルポンプ+ロータリーベーンポンプ(クライオポンプはオプション)。
6. ガス制御:マルチウェイセブンスタールマスフローコントローラー。
7. バイアス電源:シングルステージパルスバイアス電源。
8. 加熱システム:室温から350℃までの制御可能で調整可能なシステム(PID温度制御)。
9. 制御モード:手動操作+半自動+自動統合スクリーンHMI+PLC。
アプリケーション
1. 真空マルチアークイオンコーティング機は、金属、セラミック、その他の材料基板の表面に膜をコーティングできます。ステンレス鋼のディスプレイラック、ハンドル、配管金具などのコーティングに広く使用されており、従来の電気メッキに代わる最良の選択肢です。
2. 主なコーティング膜:金、銀、窒化チタン、炭化チタン、窒化ジルコニウム、チタンアルミニウム、窒化クロムなどの機能性金属膜のイオン。イオンコーティング機でコーティングされた製品は、硬度、耐摩耗性、耐食性を向上させ、より美しく見えます。