Equipaggiamento per il rivestimento ionico a microonde a multi-arco

Il nucleo tecnico dell'apparecchiatura di rivestimento ionico multi-arco a microonde si trova nella "scarica multi-arco collaborativa al plasma a microonde", che ha le seguenti caratteristiche uniche:

• Doppia sinergia di sorgente plasmatica, doppio aumento della velocità e dell'attività di ionizzazioneL'apparecchiatura integra un "obiettivo catodico multi-arco" e una "fonte di plasma a microonde" (comunemente una fonte a microonde a 2,45 GHz)..In questo caso, la velocità di ionizzazione del plasma può raggiungere oltre il 90%.la concentrazione di particelle attive (atomi, ioni, radicali liberi) è aumentato significativamente, fornendo una base per la crescita densa dello strato di pellicola.
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• L'ambiente di crescita dello strato di pellicola è controllabile e la struttura e le prestazioni sono regolamentate con precisione.Regolando parametri quali potenza a microonde, corrente multi-arco, grado di vuoto e tensione di bias, la densità del plasma, l'energia ionica e la percentuale di particelle attive possono essere controllate con precisione.Ciò consente l'ottimizzazione mirata della struttura dello strato del film (come le strutture nanocristalline, amorfe e composite a più strati) e le prestazioni (durezza, robustezza,e coefficiente di attrito), soddisfacendo le esigenze personalizzate di diversi scenari.
• Basse temperature e elevata efficienza in equilibrio, adatte a substrati sensibili al caloreIl plasma a microonde presenta "alta attività a basse temperature",consentire un rivestimento efficiente nell'intervallo di basse temperature di 100-400°C (la temperatura per il rivestimento tradizionale a più archi è per lo più 150-500°C)Inoltre, può ridurre l'energia necessaria per l'evaporazione del materiale bersaglio mediante l'assistenza a microonde, prevenendo la deformazione,riduzione della durezza o deterioramento della microstruttura del substrato a causa di alte temperatureÈ compatibile con pezzi sensibili al calore quali acciaio ad alta velocità, leghe di precisione e materiali polimerici.
• Lo strato di pellicola presenta pochi difetti e un'ottima qualità superficialeL'effetto di "pulizia e attivazione" del plasma a microonde può rimuovere efficacemente lo strato di microossido e i contaminanti sulla superficie dei pezzi da lavorare, while suppressing the "Macroparticle" defects that are prone to occur during multi-arc discharge (reducing the deposition of macroparticles through the confinement and bombardment effects of microwave plasma)Lo strato di pellicola finito è denso e privo di pori, con un'elevata finitura superficiale (Ra ≤ 0,05 μm) e non è necessario alcun trattamento di lucidatura successivo.
• Ampia adattabilità, compatibile con pezzi di lavoro complessi e sistemi di pellicola a più stratiEreditando il design del materiale multi-target del rivestimento ionico multi-arco (2-8 bersagli catodici), può essere abbinato a bersagli singoli in metallo, bersagli in lega o bersagli compositi,e combinato con la funzione di dissociazione di gas assistita da microonde Può preparare sistemi di pellicole multistrato come pellicole mono strato (TiN), CrN), pellicole a più strati (TiN/TiAlN), pellicole composite (TiAlN/DLC) e pellicole a gradiente (Ti→TiN→TiAlN).rivestimento uniforme di pezzi di lavorazione a forma complessa quali piani, superfici curve, buchi profondi e piccole parti possono essere raggiunti.

Rispetto alle tradizionali apparecchiature per il rivestimento multi-arco, le apparecchiature per lo sputtering magnetronico, ecc.,le apparecchiature di rivestimento ionico a microonde multi-arco presentano notevoli miglioramenti delle prestazioni e vantaggi applicativi:

• Le prestazioni complessive dello strato di pellicola hanno raggiunto un miglioramento rapido
• Durezza e robustezza più equilibrate:La durezza dello strato di pellicola può raggiungere HV2500-4500 (ad esempio, la durezza del film TiAlN assistito da microonde è di circa 3500-4000HV),che è superiore del 20% al 30% a quello dei tradizionali strati di pellicola multi-arco, e la durezza è migliore (durezza alla frattura KIC≥4,5 MPa · m1/2), evitando il problema della durezza e della fragilità.
• Forza di legame più forte:Gli ioni attivati dal microonde formano un "legame composito metallurgico-chimico" più stabile con la superficie del pezzo da lavorare.che è superiore del 30%-50% a quello del tradizionale strato di pellicola multi-arco, ed è meno probabile che si manifestino fenomeni di scorrimento e frantumazione.
• Resistenza ambientale superiore:The dense film layer structure and the uniform oxide layer formed with microwave assistance (such as the Al₂O₃ transition layer) significantly enhance its corrosion resistance (neutral salt spray test ≥1000 hours) and high-temperature resistance (TiAlN film can stably operate at 800-1000℃, 200°C più elevato rispetto ai tradizionali film multi-arco).
• Rivestimento a bassa temperatura, che amplia la gamma di applicazioni dei substrati:La temperatura minima di rivestimento può essere ridotta a meno di 100°C, risolvendo così il "problema di adattamento" della tecnologia PVD tradizionale per i substrati sensibili al calore come i materiali polimerici,componenti elettronici di precisioneAd esempio, può essere direttamente rivestito su ingranaggi di plastica, involucri di chip semiconduttori e stampi a parete sottile senza influire sulle prestazioni originali del substrato.
• Basso tasso di difetti e elevato tasso di qualificazione del prodotto:L'effetto inibitore del plasma a microonde sulle grandi particelle riduce il tasso di difetto dello strato di pellicola a meno dello 0,1% (il tasso di difetto degli strati tradizionali di pellicola multiarco è di circa l'1%-3%),che è particolarmente adatto a prodotti di fascia alta con requisiti rigorosi di qualità superficiale (come gli strumenti di taglio di precisione, parti per l'aviazione, componenti elettronici), migliorando significativamente il tasso di qualificazione della produzione.
• bilanciamento dell'efficienza e dell'efficienza dei costi:Ritenere l'elevata velocità di deposizione del rivestimento ionico multi-arco (0,1-1,2 μm/min), che è 3-5 volte più veloce dello sputtering magnetronico, e non è necessario sacrificare l'efficienza nella produzione di massa.E intanto..., l'eccellente prestazione dello strato di pellicola prolunga la durata del pezzo da 3 a 15 volte (ad esempio la durata dei stampi di precisione è aumentata da 5 a 8 volte),riduce i costi di sostituzione e manutenzione, ha un notevole vantaggio in termini di costi e prestazioni nell'uso a lungo termine.
• Verde e rispettoso dell'ambiente, conforme agli standard di produzione di fascia alta:L'intero processo si svolge in un ambiente a vuoto elevato, senza bisogno di elettroliti acidi e alcalini o di agenti chimici.senza scarico di acque reflueInoltre, il riscaldamento a microonde ha un'elevata efficienza (con un tasso di utilizzo dell'elettricità di ≥ 60%), risparmiando dal 15% al 25% di energia rispetto alle apparecchiature tradizionali multi-arco,che soddisfa i requisiti di produzione ecologica di settori come la nuova energia e la produzione di alta gamma.

Le apparecchiature di rivestimento ionico a microonde multi-arco, con i suoi principali vantaggi di "alte prestazioni, bassa temperatura e basso difetto", sono diventate un'attrezzatura di rivestimento chiave nel campo industriale di fascia alta.Le applicazioni tipiche includono::