Сенсорная панель и оптическое покрытие:
Применяется для стекла и гибкой подложки, используемой для дисплеев, сенсорных панелей, оптических покрытий и ключевых деталей и процессов OGS.
Удовлетворяет требованиям мобильного телефона, планшета, ноутбука и телевизора большой площади.
Антибликовое покрытие (AR-покрытие): 2AR, 4AR, 6AR.
Сопоставление индексов+ITO(IMITO)
Пленка SiO2+ITO
Пленка Мо/Ал/Мо
фильм ИТО
Солнечная батарея
Поставлено 3GW a-si PVD
CIGS: Mo, CuGa, In, AZO, ZnO.
a-Si/u-Si: Al, ZO, Ag, NiCr
ПОПАДАНИЕ: ITO,Ag, Cu
Общая спецификация
Материал камеры:нержавеющая сталь (SUS304)
Главный насос:Сухой насос или роторный насос, турбомолекулярный насос (ТМП), криогенный насос, диффузионный насос и т. д.
Предельное давление:менее 1,07*10-4 Па/24 часа при пустом состоянии, очистка
Скорость утечки:менее 1,33*10-7 Па, л/сек с детектором утечки He
Скорость намотки:0,01~6,00 м/мин
Цель:Металл: Al, Cr, Ni, Mo, Au и т. д.
Окись:ITO, SiO2, TiO2 и т. д.
Субстрат:Пленка (ПЭТ, ПИ, ПК), металлическая полоса, гибкое стекло, пластик, текстиль и т. д.
Адгезия:100% (тест ленты)
Однородность толщины менее +-5% в эффективной площади
Система управления:Управление через ЧМИ (на базе ПЛК+ПК), функция выбора (ручной/автоматический/полуавтоматический), обратная связь по данным и функция отображения в реальном времени.

- Субстраты: Справляется с гибкими рулонными материалами, включая:
- Полимеры: ПЭТ, ПП, ПВХ, ПЭН (толщина: 8–100 мкм)
- Металлы: алюминиевая фольга, медная фольга (толщина: 5–50 мкм).
- Композиты: ленты из полимера, армированного углеродным волокном (CFRP), ткани из стекловолокна.
- Материалы покрытия: Поддерживает металлы (Al, Ag, Cu, Au), оксиды металлов (SiO₂, TiO₂, ITO), нитриды (SiNₓ, TiN) и органические пленки (полимерные барьеры посредством PECVD) — удовлетворяют функциональные потребности от проводимости до коррозионной стойкости.
- Металлы: Ал(барьерные пленки, светоотражающие покрытия),Аг(прозрачные проводящие пленки, RFID-антенны),Cu(гибкие схемы)
- Оксиды металлов: SiO₂(антибликовые пленки, влагобарьеры),ТиО₂(оптические фильтры, самоочищающиеся покрытия),ИТО обеспечивает высокую проводимость (10–50 Ом/кв.) и прозрачность (>85%).(электроды сенсорного экрана)
- Соединения: SiNₓ повышает эффективность солнечных батарей за счет уменьшения рекомбинации электронов(пассивирующие слои солнечных элементов),ТиН(декоративные металлические пленки),Al₂O₃(коррозионные барьеры)
Цвета с покрытием
Цвет пленок R2R с вакуумным покрытием определяетсясостав материала покрытияитолщина пленки(посредством световых интерференционных эффектов). Ниже приведены наиболее распространенные цветовые категории с техническими подробностями:
1Металлические Цвета
- Материалы: пленка алюминия (Al) (толщина: 50–100 нм) или пленка серебра (Ag) (20–50 нм).
- Особенности: Высокая отражательная способность (>85% для видимого света), яркий металлический блеск. Al экономически эффективен; Ag обеспечивает более высокую отражательную способность (используется в высокотехнологичных устройствах, таких как светодиодные отражатели).
- Область применения: упаковка пищевых продуктов (металлическая ПЭТ-пленка), декоративные этикетки, внутренняя отделка автомобилей.
- Материалы: нитрид титана (TiN, 50–80 нм) или пленки сплавов (Al-Cu, Al-Zn).
- Особенности: Пленки TiN имеют золотистый цвет (за счет межзонных переходов в материале); Сплавы Al-Cu придают бронзовый оттенок (содержание Cu: 5–15%).
- Применение: Декоративная фурнитура (дверные ручки, корпуса часов), электронные разъемы (медная позолоченная фольга для защиты от коррозии).
- Материалы: Пленка из чистой меди (Cu) (30–60 нм).
- Особенности: Естественный красноватый металлический цвет, высокая электропроводность. Подвержен окислению (требуется защитное покрытие, например SiO₂).
- Применение: Гибкие печатные платы (ПЭТ с медным покрытием), декоративные изделия.
2Прозрачный/полупрозрачный
- Прозрачный (бесцветный):
- Материалы: SiO₂ (50–200 нм), Al₂O₃ (30–100 нм), ITO (100–200 нм).
- Особенности: Высокая светопроницаемость (>85% для видимого света); SiO₂/Al₂O₃ действуют как барьер для влаги; ITO сочетает в себе прозрачность и проводимость.
- Область применения: стекло для сенсорных экранов (покрытия ITO), упаковка пищевых продуктов (прозрачные барьерные пленки), крышки солнечных батарей (антибликовое покрытие SiO₂).
- Тонированный (синий/зеленый):
- Материалы: пленки оксидов металлов контролируемой толщины (например, многослойные TiO₂-SiO₂, 100–300 нм).
- Особенности: Цвет возникает в результате интерференции света: более тонкие пленки (100–150 нм) кажутся синими; более толстые пленки (200–300 нм) кажутся зелеными.
- Область применения: Оптические фильтры (объективы фотоаппаратов), архитектурное стекло (теплоотражающие тонированные пленки).
3Цвета специального эффекта
- Материалы: Многослойные пленки (например, SiO₂-TiO2-SiO₂, толщина каждого слоя 50–100 нм).
- Особенности: Интерференция света в разных слоях создает эффект смещения радуги (цвет зависит от угла).
- Область применения: упаковка косметики, защитные этикетки (защита от подделок), декоративный текстиль.
- Материалы: Металлические пленки (Al/Ag) с микрошероховатой поверхностью (достигаемой текстурированием подложки или травлением после осаждения).
- Характеристики: Матовый металлик (уровень блеска: 10–30 GU) с уменьшенным отражением, позволяющим избежать бликов.
- Применение: автомобильные приборные панели, задние крышки смартфонов (матовое серебро).
2.Применение вакуумных лакировочных машин R2R
Машины для вакуумного нанесения покрытия R2R широко используются в отраслях, требующих гибких, высокопроизводительных тонких пленок. Ниже приведены ключевые отрасли с конкретными вариантами использования и техническими требованиями:
2.1Упаковочная промышленность
- Продукты: Металлизированные пленки ПЭТ/ПП (для упаковки пищевых продуктов), барьерные пленки, декоративные упаковочные пленки.
- Ключевые требования: Скорость проникновения кислорода (OTR) <1 куб.см/(м²·день), скорость проникновения паров влаги (MVTR) <0,1 г/(м²·день) (для продления срока годности).
- Пример: В гибких пакетах для пищевых продуктов (например, кофе, закусок) используются металлизированные алюминием ПЭТ-пленки (слой алюминия 50 нм) для блокирования кислорода и света, что продлевает срок годности продукта с 3 месяцев до 12+ месяцев. Машины R2R производят эти пленки со скоростью 15–20 м/мин.
2.2Электронная промышленность
- Продукты: Гибкие печатные платы (ПЭТ/PEN с медным покрытием), прозрачные проводящие пленки (ITO/PEDOT:PSS), RFID-антенны (пленки с покрытием Al/Ag).
- Ключевые требования: Высокая проводимость (медные пленки: <5 Ом/кв. м), гибкость пленки (более 10 000 циклов изгиба без растрескивания), низкий процент дефектов.
- Пример: В складных дисплеях смартфонов используются ПЭТ-пленки, покрытые Ag нанопроволокой (наносимые методом магнетронного распыления R2R) — эти пленки сохраняют проводимость 90% после 100 000 циклов складывания (радиус: 1 мм).
2.3Возобновляемая энергетика
- Продукты: Пленки солнечных элементов (пассивационные слои SiNₓ, антибликовые пленки SiO₂), газодиффузионные слои топливных элементов (ГДЛ с Pt-покрытием), токосъемники литий-ионных аккумуляторов (алюминиевая/медная фольга с антикоррозионным покрытием).
- Ключевые требования: Высокий коэффициент пропускания света (пленки SiO₂: >95% для 400–800 нм), коррозионная стойкость (фольга аккумулятора: <0,1 мм/год в электролите).
- Пример: В тонкопленочных солнечных панелях используется R2R PECVD для нанесения слоев SiNₓ (100–150 нм) на гибкие стеклянные подложки, что повышает эффективность элементов на 2–3% за счет уменьшения поверхностной рекомбинации.
2.4Оптическая и дисплейная промышленность
- Продукты: Антибликовые (AR) пленки (для очков, экранов), поляризационные пленки (для ЖК-дисплеев), светодиодные отражатели (пленки с Ag-покрытием).
- Ключевые требования: AR-пленки: отражательная способность <1% (видимый свет); поляризационные пленки: эффективность поляризации >99%.
- Пример: В экранах ноутбуков используются многослойные AR-пленки (SiO₂-TiO₂, нанесенные методом термического испарения R2R) — снижение бликов с 8% до <1%, повышение комфорта пользователя.
2,5Текстиль и функциональные материалы
- Продукты: Ткани с защитой от ультрафиолета (ткани с покрытием TiO₂), проводящие ткани (нетканые материалы с Ag-покрытием), самоочищающиеся ткани (хлопок с покрытием TiO₂).
- Ключевые требования: Устойчивость к стирке (более 50 стирок без отслоения пленки), гибкость (совместим с растяжением ткани).
- Пример: В верхней одежде используются пленки TiO₂ (20–30 нм), напыленные методом R2R, на полиэфирных тканях, которые блокируют 95 % УФ-излучения (280–320 нм), сохраняя при этом воздухопроницаемость.
3.Основные характеристики вакуумных лакировочных машин R2R
3.1Непрерывное высокоэффективное производство
- Непрерывная работа: В отличие от вакуумных машин периодического действия (которые требуют загрузки/выгрузки между партиями), системы R2R обеспечивают непрерывное производство 24 часа в сутки, 7 дней в неделю. Например, машина R2R шириной 1,3 м может производить 50 000 м металлизированной ПЭТ-пленки (используемой для упаковки пищевых продуктов) за 8-часовую смену, что в 3–5 раз эффективнее, чем периодические системы.
- Масштабируемая ширина сети: Промышленные модели поддерживают ширину полотна от 0,5 м (в лабораторных масштабах) до 2,5 м (крупноформатные приложения, такие как солнечные панели), адаптируясь как к потребностям исследований и разработок, так и к потребностям массового производства.
3.2Сверхвысокая однородность и качество пленки
- Точность размеров: Вакуумное осаждение сводит к минимуму влияние молекул воздуха, обеспечивая однородность толщины пленки ±1–3% (по сравнению с ±5–10% для атмосферного покрытия). Для прозрачных проводящих пленок (например, ITO) изменение сопротивления листа составляет <5% по всему полотну.
- Низкий уровень дефектов: Предварительная обработка в вакууме и контроль натяжения с обратной связью уменьшают дефекты пленки (дыры, царапины, пузыри) до <0,1 дефекта на м², что критически важно для электронных и оптических приложений.
3.3Широкая совместимость материалов
- Субстраты: Справляется с гибкими рулонными материалами, включая:
- Полимеры: ПЭТ, ПП, ПВХ, ПЭН (толщина: 8–100 мкм)
- Металлы: алюминиевая фольга, медная фольга (толщина: 5–50 мкм).
- Композиты: ленты из полимера, армированного углеродным волокном (CFRP), ткани из стекловолокна.
- Материалы покрытия: Поддерживает металлы (Al, Ag, Cu, Au), оксиды металлов (SiO₂, TiO₂, ITO), нитриды (SiNₓ, TiN) и органические пленки (полимерные барьеры посредством PECVD) — удовлетворяют функциональные потребности от проводимости до коррозионной стойкости.
3.4Энергетическая и экономическая эффективность
- Оптимизация вакуумной системы: Турбомолекулярные насосы (потребление энергии: 0,5–2 кВт) заменяют традиционные диффузионные насосы (5–10 кВт), сокращая энергопотребление на 60–70%. Рекуперация тепла из систем охлаждения еще больше снижает затраты на электроэнергию.
- Использование материалов: Магнетронное распыление обеспечивает использование целевого материала на 70–90% (по сравнению с 40–60% при термическом испарении), что снижает отходы сырья. Для дорогостоящих материалов (например, серебра) это означает экономию средств более чем на 30%.