| 진공 챔버 | Ф700×H1000mm | Ф1000×H1200mm | Ф1200×H1200mm | Ф1400×H1200mm | Ф1600×H1200mm | Ф1800×H1300mm |
|---|---|
| 응용 분야 | 시계 산업, 3C 산업, 위생 설비 산업, 쥬얼리 산업, 시계 부품, 휴대폰 부품, 안경테, 의류, 장식 조명, 위생 도기, 하드웨어 수트케이스, 유리, 세라믹 및 플라스틱 |
| 코팅 필름 | Ti-Gold, 로즈 골드, 샴페인 골드, 일본 골드, 밝은 실버, 레인보우, 쥬얼리 블루, 로즈 레드, 블랙 |
| 진공 시스템 | 유지 펌프 + 기계 펌프 + 루츠 펌프 + 확산 펌프 또는 분자 펌프 (요구 사항에 따라 맞춤) |
| 전원 공급 장치 | DC 전원, MF 전원, 펄스 전원 (바이어스 전원, 아크 전원) |
| 최종 진공 | 1.0-6.0×10⁻⁴Pa, 무부하 냉각 |
| 아크 소스 | 챔버 크기에 따라 4-18 세트 (200A-300A) |
| 바이어스 전원 | 챔버 크기에 따라 20KW-60KW |
| 회전 시스템 | 주파수 제어 기능이 있는 다축 플래너터리 (조절 가능) |
| 베이킹 온도 | 상온 ~ 300℃-450℃-600℃ (PID 온도 제어) |
| 가스 시스템 | 자동 가스 추가 시스템 (Ar, N₂, O₂, C₂H₂)을 갖춘 3-4 방향 작동 가스 흐름 제어 |
| 냉각 방식 | 산업용 냉각탑, 냉각기 또는 극저온 시스템을 이용한 수냉 순환 |
| 제어 시스템 | 수동, 반자동, 자동, 터치 스크린 작동, PLC 또는 컴퓨터 제어 |