মাল্টি-আর্ক আয়ন প্লাজমা পিভিডি লেপ মাস্টারিংঃ গ্যাস সেটিংস, রং এবং সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া

উন্নত সারফেস ইঞ্জিনিয়ারিং এর গতিশীল ক্ষেত্রে,মাল্টি-আর্ক আইওন প্লাজমা পিভিডি (ফিজিক্যাল বাষ্প ডিপোজিশন) ভ্যাকুয়াম লেপ প্রযুক্তি একটি গেম চেঞ্জার হিসাবে আবির্ভূত হয়েছে যা ব্যতিক্রমী কার্যকরী কর্মক্ষমতা এবং আকর্ষণীয় চাক্ষুষ আবেদন উভয়ই সরবরাহ করেচারটি মূল গ্যাস √ আর্গন (Ar), নাইট্রোজেন (N2), অ্যাসিটিলিন (C2H2), এবং অক্সিজেন (O2) √ সুনির্দিষ্ট পরামিতি নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে।এই প্রক্রিয়াটি একটি বৈচিত্র্যময় বর্ণালী তৈরি করে যখন সাবস্ট্র্যাটের স্থায়িত্ব বাড়ায়, জারা প্রতিরোধের, এবং পরিধান প্রতিরোধের। এই ব্যাপক গাইড সম্পূর্ণ প্রাক চিকিত্সা ওয়ার্কফ্লো, লেপ পরামিতি অপ্টিমাইজেশান, এবং রঙ কাস্টমাইজেশন কৌশল বিবরণ,প্রস্তুতকারকদের জন্য তৈরি, প্রকৌশলী, এবং শিল্প পেশাদাররা কার্যকর অন্তর্দৃষ্টি খুঁজছেন।

I. সমালোচনামূলক প্রাক চিকিত্সাঃ উচ্চমানের লেপগুলির ভিত্তি

PVD লেপের সাফল্যের জন্য প্রাক চিকিত্সা অপরিহার্য ঊর্ধ্বতন দূষণকারী বা ত্রুটিগুলি সরাসরি আঠালো, অভিন্নতা এবং দীর্ঘমেয়াদী কর্মক্ষমতাকে হ্রাস করে।পুরো প্রক্রিয়াটি চারটি ধারাবাহিক ধাপ নিয়ে গঠিত।, গুণমান নিয়ন্ত্রণের ধাপঃ

1আল্ট্রাসোনিক ও রাসায়নিক পরিষ্কার

•লক্ষ্য: তেল, গ্রীস, অক্সাইড এবং কণার অমেধ্যগুলি স্তর পৃষ্ঠ থেকে সরিয়ে ফেলুন।

•প্রক্রিয়া:

◦জৈব দূষণকারী পদার্থকে ভেঙে ফেলার জন্য ওয়ার্কপিসগুলিকে ৫-১০% ক্ষারীয় পরিষ্কারের দ্রবণে (পিএইচ ১০-১২) ১৫-২০ মিনিটের জন্য অতিস্বনক পরিষ্কারের জন্য ডুবিয়ে দিন (ফ্রিকোয়েন্সি ৪০ কেএইচজেড) ।

◦অবশিষ্টাংশ অপসারণের জন্য ডি-ইয়োনিজড পানি দিয়ে ভালভাবে ধুয়ে ফেলুন, তারপরে গভীর ডিগ্রিসিংয়ের জন্য আইসোপ্রোপিল অ্যালকোহলে 10 মিনিটের আল্ট্রাসোনিক পরিষ্কার করুন।

◦একটি ক্ষুদ্র ঘন অক্সাইড স্তর গঠনের জন্য 5 মিনিটের জন্য একটি পাতলা নাইট্রিক অ্যাসিড (পিএইচ 2-4) দ্রবণে ধাতব স্তরগুলি (যেমন ইস্পাত, অ্যালুমিনিয়াম, টাইটানিয়াম) প্যাসিভেট করুন, পরবর্তী সংযুক্তি উন্নত করুন।

•গুণমান যাচাই: যোগাযোগের কোণ পরিমাপ করুন ০° থেকে ৩০° পর্যন্ত মান গ্রহণযোগ্য, যা লেপের আঠালো জন্য সর্বোত্তম পৃষ্ঠের ভিজাযোগ্যতা নির্দেশ করে।

2ভ্যাকুয়াম চেম্বার ইভাকুয়েশন

•পর্যায়ক্রমিক পাম্পিং প্রোটোকল:

◦রুক্ষ পাম্পিংঃ 15 মিনিটের মধ্যে বায়ুমণ্ডলীয় থেকে 1 × 10 -1 Pa (1 mTorr) চাপ হ্রাস করার জন্য একটি যান্ত্রিক পাম্প ব্যবহার করুন, বাল্ক বায়ু অপসারণ।

◦উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিংঃ 1 × 10−3 Pa (10−6 Torr) এর একটি বেস চাপ অর্জনের জন্য একটি প্রসার পাম্প বা টার্বোমোলিকুলার পাম্প স্থাপন করুন, অবশিষ্ট বায়ু, আর্দ্রতা এবং উদ্বায়ী দূষণকারীগুলি নির্মূল করুন।

•পর্যবেক্ষণের সরঞ্জাম: রিয়েল-টাইম চাপ ট্র্যাকিং এবং বৈধকরণের জন্য পিরানি গেজ (১০-৩ থেকে ১০-১ পা চাপের পরিসীমা) এবং আয়োনাইজেশন গেজ (১০-৬ থেকে ১০-৩ পা) ব্যবহার করুন।

3. গরম করা এবং বেকিং

•পরামিতি: ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি ৮০-১৫০°সি তে গরম করুন এবং তাপমাত্রা ৩০-৬০ মিনিট ধরে বজায় রাখুন।

•উদ্দেশ্য: সাবস্ট্র্যাট পৃষ্ঠ এবং চেম্বারের অভ্যন্তর থেকে অ্যাডসোর্বড ওয়াটার বাষ্প এবং উদ্বায়ী জৈব পদার্থ অপসারণ করুন, pore গঠন, delamination, বা লেপ অবনতি প্রতিরোধ করুন।

4. আইওন বোমা হামলা পরিষ্কার (প্লাজমা ইটচিং)

•সেটআপ: ওয়ার্কপিস হোল্ডারে -৫০০-১০০০ ভোল্টের একটি নেতিবাচক প্রবণতা প্রয়োগ করুন; ৫০-১০০ এসসিএম এর প্রবাহের হারে আর্গন (আর) গ্যাস প্রয়োগ করুন।

•প্রক্রিয়া: ১০-১৫ মিনিটের জন্য চেম্বারের চাপ ১×১০-১ পাতে বজায় রাখুন, যাতে উচ্চ-শক্তিযুক্ত আরিয়নগুলি সাবস্ট্র্যাটের পৃষ্ঠকে বোমা মারতে পারে।

•মূল উপকারিতা: বাইরের অক্সাইড স্তর এবং অ্যাডসর্বেটেড দূষণকারীগুলি সরিয়ে দেয়, মাইক্রোস্কেলে পৃষ্ঠের রুক্ষতা বৃদ্ধি করে এবং অ-ইটসযুক্ত সাবস্ট্র্যাটের তুলনায় লেপ আঠালোটি 30% এরও বেশি বৃদ্ধি করে।

II. কোর লেপ প্রক্রিয়াঃ গ্যাস সেটিংস এবং পরামিতি অপ্টিমাইজেশান

পিভিডি রঙের কাস্টমাইজেশন এবং পারফরম্যান্স টিউনিংয়ের বহুমুখিতা গ্যাস অনুপাত, চেম্বার চাপ, তাপমাত্রা এবং বৈদ্যুতিক পরামিতিগুলির সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণে রয়েছে।নীচে প্রতিটি গ্যাসের বিস্তারিত বিবরণ দেওয়া হল, অপ্টিমাইজড সেটিংস, এবং প্রক্রিয়া গতিশীলতাঃ

1গ্যাস ফাংশন এবং বেসলাইন পরামিতি

2. সমালোচনামূলক প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ পরামিতি

•কাজের চাপ: ০.১-০.৯ পা (১×১০-১ থেকে ৯×১০-১ পা) ০ নিম্ন চাপ উচ্চতর আয়ন শক্তি সরবরাহ করে (ঘনত্ব উন্নত করে); উচ্চ চাপ জটিল জ্যামিতি জুড়ে লেপ অভিন্নতা উন্নত করে।

•অবসানের তাপমাত্রা: ১৫০-২৫০ ডিগ্রি সেলসিয়াস ০ লেপ মানের ভারসাম্য এবং সাবস্ট্র্যাট অখণ্ডতা (তাপ সংবেদনশীল উপকরণ বিকৃতি এড়ায়) ।

•আর্ক কারেন্ট: ১০০-১৫০ এ ০ লক্ষ্যমাত্রার বাষ্পীভবনের হার নিয়ন্ত্রণ করে; উচ্চতর স্রোত জমাট বাঁধার গতি বাড়ায় কিন্তু ত্রুটি প্রতিরোধের জন্য সাবধানে চাপ সামঞ্জস্য প্রয়োজন।

•Substrate Bias (অবক্ষয় পর্ব): -১০০-৫০০ ভোল্ট ∙ উচ্চতর বিচ্যুতি ঘনতর লেপ তৈরি করে তবে অবশিষ্ট চাপ সৃষ্টি করতে পারে; কম বিচ্যুতি পাতলা ফিল্মগুলির নমনীয়তা উন্নত করে।

•লেপ বেধ: ০.৫-৫ মাইক্রোমিটার ০.৫ মাইক্রোমিটার পুরু ফিল্মগুলি রঙ এবং স্থায়িত্বকে জোরদার করে; পাতলা ফিল্মগুলি (০.৫-১ মাইক্রোমিটার) আলংকারিক অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য সূক্ষ্মতা সরবরাহ করে।

III. রঙ কাস্টমাইজেশনঃ গ্যাস সমন্বয় এবং প্রমাণিত সেটিংস

পিভিডি-র প্রাণবন্ত, ধারাবাহিক রঙ তৈরির ক্ষমতা লক্ষ্য উপাদান এবং গ্যাস অনুপাতের সমন্বয় থেকে উদ্ভূত। নীচে জনপ্রিয় রঙগুলির জন্য শিল্প-প্রমাণিত কনফিগারেশন রয়েছে,তাদের মূল অ্যাপ্লিকেশন সহ: