راهنمای کاملی برای عملکرد تجهیزات پوشش کندوپاش مگنترون

در سال های اخیر، با توسعه سریع تلفن های تاشو، دستگاه های پوشیدنی انعطاف پذیر، صفحه نمایش شفاف در ماشین و پانل های خورشیدی سبک،تقاضا برای پوشش های کاربردی بر روی بستر فیلم انعطاف پذیر منفجر شده استچگونه به طور مساوی و کارآمد لایه های رسانا، محافظ یا اپتیکال عملکردی را بر روی فیلم های پلاستیکی نرم مانند PET و PI قرار می دهد، به یک مسئله کلیدی در صنعت تبدیل شده است.پوشش رول به رول با اسپتر کردن مغناطیس دقیقاً تکنولوژی کلیدی برای پاسخگویی به این نیاز است.

1.اصول فنی: هنگامی که "پست کردن مغناطیس" با "فرایندهای پیچ و تاب" روبرو می شود

  اسپتر کردن مغناطیس شامل پر کردن یک اتاق با خلاء بالا با گاز آرگون است که توسط یک میدان الکتریکی با ولتاژ بالا برای تشکیل یون های آرگون یونیزه می شود.این یون ها سپس با سرعت بالا به مواد هدف برخورد می کنند.، باعث می شود که اتم های هدف به بیرون "پاشیده" شوند و روی بستر قرار بگیرند تا یک فیلم نازک ایجاد کنند.به طور قابل توجهی افزایش کارایی یونیزاسیون و به طور قابل توجهی افزایش نرخ پوشش.

فرآیند رول تا رول شامل پیچیدن صدها یا حتی هزاران متر فیلم انعطاف پذیر روی یک اسپیل باز کردن است، سپس به طور مداوم تکمیل کردن باز کردن، پوشش،و در داخل یک اتاق خلاء باز میگردد که به طور کارآمد مانند یک "سپر پرینتر" کار می کند." هنگامی که ترکیب می شود، اسپتر کردن ماگنترون، چگالی و چسبندگی فیلم را تضمین می کند، در حالی که فرآیند رول به رول باعث کارایی تولید مداوم بسیار بالا می شود.

این تجهیزات معمولاً شامل یک اتاق خلاء، یک سیستم خلاء، یک سیستم پیچ و تاب، یک سیستم هدف اسپوتر و یک سیستم کنترل خودکار است.مواد پوشش می توانند زیربناهای انعطاف پذیر مانند PET و پارچه های غیر بافته را پوشش دهند، و انواع فیلم هایی که می توانند ساخته شوند شامل فیلم های آلیاژ مغناطیسی نرم، فیلم های فلزی، فیلم های رسانا، فیلم های آلیاژ و فیلم های دی الکتریک است.

2.روش های عملیاتی استاندارد: از آماده سازی تا تولید

  عامل ابتدا پارامترهای فرآیند پوشش را از طریق رابط انسان-ماشین، از جمله نوع مواد پوشش، ضخامت فیلم هدف، سرعت پیچ و تنظیمات خلاء وارد می کند.در عین حالیک بازرسی دقیق از تجهیزات مورد نیاز است: اطمینان حاصل کنید که تمام قطعات آسیب دیده و امن هستند، سطح روغن پمپ خلاء و مهر لوله را بررسی کنید.اطمینان از تمیز بودن و خالی بودن قطرات پیچ و تاب، دستگاه های تنظیم تنش در تنظیمات اولیه خود هستند، و تأیید کنید که مواد تبخیر کافی وجود دارد.

سیستم کنترل به طور خودکار پمپ خلاء را برای ایجاد یک محیط خلاء بر اساس پارامترهای تنظیم شده راه اندازی می کند. یک روش عملیاتی معمولی این است:مواد بار → درب اتاق خلاء را ببندید → پمپ مکانیکی را روشن کنید تا خلاء خشن را پمپ کنید → پمپ پخش را روشن کنید تا به خلاء پایه برسدبرای کاربردهای پیشرفته مانند فیلم های نوری با خلوص بالا، سطح خلاء باید به 10-4 Pa یا حتی بالاتر برسد.

در طول فرآیند پوشش، سنسورها پارامترهای مانند سطح خلاء، ضخامت فیلم و تنش پیچ در زمان واقعی را کنترل می کنند و بازخورد را به سیستم کنترل ارسال می کنند.سیستم به طور خودکار تنظیم قدرت پمپ خلاء بر اساس الگوریتم های پیش تنظیم شده برای حفظ خلاء پایدار، قدرت اسپوتر را برای کنترل سرعت پوشش تنظیم می کند و سرعت موتور پیچ و تنظیم کننده تنش را برای اطمینان از عملکرد صاف بستر تغییر می دهد.عملکرد کالیبراسیون خودکار تجهیزات می تواند به طور دوره ای برنامه کالیبراسیون ضخامت فیلم را اجرا کند، مقایسه اندازه گیری های واقعی با نمونه های استاندارد فیلم و به طور خودکار اصلاح پارامترها مانند قدرت اسپتر برای حذف اشتباهات ضخامت فیلم.اگر سیستم نظارت در زمان واقعی هر گونه ناهنجاری را تشخیص دهد، بلافاصله یک هشدار را فعال می کند و به طور خودکار عملیات را متوقف می کند.

پس از انجام پوشش، تجهیزات به طور خودکار سیستم های مربوطه را متوقف می کند، از طریق خنک سازی و تهویه مطبوع می رود، و سپس گزارش داده های تولید را تولید می کند.این گزارش پارامترهای مختلف و شاخص های کیفیت از فرآیند پوشش را ثبت می کند، ارائه پشتیبانی داده برای ردیابی کیفیت محصول و بهینه سازی فرآیند.

3.چالش های فنی اصلی و مشکلات عملیاتی

 کنترل تنش: فیلم های نازک فقط چند ده میکروم ضخیم در سرعت های بالا بین رول ها حرکت می کنند. اگر تنش بیش از حد بالا باشد، فیلم می تواند کشش، تغییر شکل یا حتی شکسته شود؛ اگر آن را بسیار پایین باشد،ممکن است چروک یا ناهموار شودتجهیزات مدرن از موتورهای چندگانه با کنترل سرو حلقه بسته همراه با سنسورهای تنش با دقت بالا برای حفظ تعادل تنش در سطح میلی متری در سراسر باز کردن، پردازش،و بخش های بازپردازی شده.

مدیریت گرما: بمباران پلاسما باعث تولید گرما شدید می شود، در حالی که فیلم PET فقط می تواند کمی بیش از 100 درجه را تحمل کند." و فیلم باید به طور نزدیک به سطح طبل برای پوشش چسبدبهره وری انتقال گرما مستقیماً میزان حداکثر رسوب را تعیین می کند.

نظارت آنلاین: از آنجایی که تولید مستمر نمی تواند برای بازرسی متوقف شود،ما به "سنتینال های بدون چشمک زدن" مانند مانیتورهای انتقال نوری و آشکارسازان مقاومت مربع آنلاین برای نظارت بر کیفیت در زمان واقعی متکی هستیم.